近日，華遠裝備自主研發(fā)的首臺鈣鈦礦疊層PVD量產/中試設備(DSL701)順利搬入客戶現(xiàn)場，標志著華遠裝備在鈣鈦礦太陽能電池領域邁出了實質性的一步，進一步鞏固了其在新能源裝備領域的領先地位。

此次交付的鈣鈦礦疊層PVD中試線設備(PED)是華遠裝備針對異質結-鈣鈦礦疊層技術路線精心開發(fā)的一款臥式設備。該設備年產能高達250MW，能夠高效地完成鈣鈦礦層前(P面100nm TCO，N面30nm TCO+20nm NiOx)和后(N面100nm TCO)的兩道工序。通過集成RPD技術，并配備低損平面靶和超強磁場，該設備實現(xiàn)了低損、低溫濺射，從而最大限度地提升了芯片效率。

作為華遠裝備首臺集成了RPD+PVD技術的設備，DSL701的成功交付不僅展示了華遠在鈣鈦礦太陽能電池技術研發(fā)方面的深厚實力，更標志著其在異質結疊加鈣鈦礦領域取得了實質性的技術突破。這一里程碑式的成果為后續(xù)鈣鈦礦太陽能電池的產業(yè)化應用奠定了堅實的基礎，也為華遠裝備在新能源領域的發(fā)展注入了新的活力。