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前端預(yù)熱雙溫區(qū)CVD設(shè)備

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規(guī)格/型號(hào)：BTF-1200C-II φ50mm

品牌：暫無(wú)

應(yīng)用領(lǐng)域：暫無(wú)

產(chǎn)地：安徽 - 合肥

廠家/供應(yīng)商：安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

咨詢電話:：暫無(wú)（請(qǐng)說(shuō)明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”）

更新時(shí)間：2021-12-08

級(jí)別：待認(rèn)證

前端預(yù)熱雙溫區(qū)CVD設(shè)備說(shuō)明介紹

主要技術(shù)指標(biāo)：
雙溫區(qū)開啟式真空管式爐BTF-1200C-II φ50mm

設(shè)備特點(diǎn)：
1200℃開啟式真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通氣體保護(hù)。其結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便，操作簡(jiǎn)捷，使用者可直接將密封腔體移出爐體，加快降溫過(guò)程，透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。法蘭采用卡箍快捷接頭，減去了取放料時(shí)的繁瑣操作，爐管工件橫穿與上下各6組進(jìn)口電阻絲的爐膛，溫場(chǎng)均勻，內(nèi)外溫差可控制在3度左右，氣動(dòng)彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度安全開啟。廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：
爐管尺寸：Φ50*1200mm
加熱元件：電阻絲
加熱區(qū)長(zhǎng)度：200+200mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：100+100mm
工作溫度≤1100℃
控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度:±1℃
推薦升溫速度：15℃/ min
爐門結(jié)構(gòu)：開啟式
工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
額定功率：3KW
外型尺寸：590×380×500 mm
密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭）端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。
預(yù)熱器BTF-400C
工作溫度：350℃
最高溫度：400℃
最快升溫速率：30℃/min
推薦升溫速率：10℃/min
控溫方式：智能化30段可編程控制
工作電壓：AC220 V
額定功率：800W
控溫精度：±1℃
加熱元件：電阻絲

兩路供氣系統(tǒng) GMF-2Z
供氣系統(tǒng)是一種可控制兩種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制。

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)： 500sccm、500sccm（量程可選）

H2、Ar、N2質(zhì)量流量計(jì)選用S49 32/MT系列，指標(biāo)如下：
準(zhǔn)確度：±1.5%
線性：±1.5%
重復(fù)精度：±0.2%
響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：(50 ～ 300) kPa(D)，(100～300)kPa(D)(10L/min)
最大壓力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
顯示：液晶屏顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6
壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥：Φ6
低真空機(jī)組 VAU-02
VAU-02是一套低真空機(jī)組，內(nèi)部安裝BSV-10機(jī)械泵1臺(tái)，電阻真空計(jì)1套，并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥，卡箍等連接部件。

技術(shù)參數(shù)：

工作環(huán)境：5℃～40℃
空氣相對(duì)濕度≤85%，
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽氣速率：10m3/h
極限真空：5X10-1Pa
工作壓力范圍為1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值為0.03MPa
容油量：1.1L
進(jìn)氣口口徑：KF25
排氣口口徑：KF25