設備型號 |
JYZE1-1EH |
設備規(guī)格 |
1400℃-400×8008mm |
有效工作區(qū) |
400×800mm |
最高溫度 |
1350℃ |
溫度均勻性 |
±5℃ |
極限真空度 |
≤4×10 -1Pa(空載、干燥、潔凈) |
壓升率 |
≤0.67Pa/h |