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> 連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長設(shè)備
主要特點(diǎn)
該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間。
2、設(shè)備組成:加熱系統(tǒng),進(jìn)料系統(tǒng),出料系統(tǒng),氣體控制系統(tǒng),低真空系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng),電控操作系統(tǒng)。
(1)加熱系統(tǒng):
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。
額定功率
4KW
額定電壓
AC220V 50/60Hz
最高溫度
1200度
使用溫度
1100度
爐管尺寸
Φ60*420*2+Φ100*360mm
爐管旋轉(zhuǎn)速率
0~60r/min
爐體傾斜角度
0~35°
爐膛材料
氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型
K型熱電偶
控溫精度
±1℃
控溫方式
30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,
操作界面為10”液晶觸摸屏控制
加熱長度
200mm+200mm
恒溫長度
250mm
加熱元件
電阻絲
(2)進(jìn)料系統(tǒng):
送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜最大時,物料不會從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。
(3)出料系統(tǒng):
出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時可自動出料。
(4)氣體控制系統(tǒng):
該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨(dú)立控制,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。
連接頭類型
雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)
第一路: 200 SCCM
第二路: 500 SCCM
第三路量程可選
準(zhǔn)確度
±1.5%F.S
線性
±1%F.S
重復(fù)精度
±0.2%F.S
響應(yīng)時間
氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍
0.1~0.5 MPa
最大壓力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
顯示
4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度
5~45高純氣體
壓力真空表
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥
Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管
Φ6
(5)低真空系統(tǒng):
該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。
空氣相對濕度
≤85%
工作環(huán)境
5℃~40℃
工作電電壓
220V±10% 50~60HZ
功率
1KW
抽氣速率
10m3/h
極限真空
5X10-1Pa
工作壓力范圍
1.01325X105~1.33X10-2Pa
耐壓值
0.03MPa
容油量
1.1L
進(jìn)氣口口徑
KF25
排氣口口徑
KF25
噪音
50dB
連接方式
采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連
(6)爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng):
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運(yùn)行。
3.技術(shù)指標(biāo):
(1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;
(2)整個爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調(diào);
(3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體最大傾斜時,物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸之后可以手動加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。
(4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定,不會上下左右跳動;轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào),能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)長期運(yùn)轉(zhuǎn)(>24h)。