反射膜厚儀/測厚儀/F50系列

自動多點測量成像

Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤，樣品直徑標配200mm，可達450mm。(穩(wěn)定的樣品臺在我們的量產系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點數(shù)量的限制。內建數(shù)十種預定義的測繪圖案。

不同的F50型號儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標準的F50是受歡迎的產品。一般較短的波長(如F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可測樣品膜層：

基本上所有光滑的，非金屬的薄膜都可以測量。

可測樣品包括：

氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC

光刻膠 聚合物 聚亞酰胺

多晶硅 非晶硅 硅

額外的好處：

· 每臺系統(tǒng)內建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數(shù)百種

· 應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)

· 網上的 “手把手” 支持(需要連接互聯(lián)網)

· 硬件升級計劃