KLA Alpha-step D-300/D-600型-臺(tái)階儀

探針式輪廓儀/臺(tái)階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的臺(tái)階高度測(cè)量與三維形貌測(cè)量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應(yīng)力的測(cè)量。 D-600配置200毫米自動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)與先進(jìn)的Keystone矯正的輔助光學(xué)系統(tǒng)。

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的二維與三維測(cè)量，以及翹曲度和薄膜應(yīng)力的測(cè)量。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大范圍測(cè)量與超微力測(cè)量于一體的功能。

探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無(wú)關(guān)。可調(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

臺(tái)階高度：幾納米至1200μm

低觸力：0.03至15mg

視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

緊湊尺寸：占地面積小

軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度

紋理：2D粗糙度和波紋度

形式：2D翹曲和形狀

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

SIMS：二次離子質(zhì)譜

LED：發(fā)光二極管

太陽(yáng)能

MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

汽車

醫(yī)療設(shè)備

規(guī)格參數(shù)

掃描探針壓力: 0.03-15mg

垂直分辨率: 0.38 ?

Z測(cè)量重復(fù)精度: 5.0 ? 或 0.1%

最大垂直測(cè)量范圍: 1200um

具有雙向掃描測(cè)量的功能,方便定位和掃描

最大采樣點(diǎn)數(shù)120,000

掃描長(zhǎng)度：55 mm/200mm(stitching);

掃描速度0.01-0.4mm/s

獨(dú)特的系統(tǒng)內(nèi)置避震設(shè)計(jì)

30多種分析參數(shù)

XY方向150mmX178mm自動(dòng)樣品運(yùn)動(dòng)臺(tái)

樣品臺(tái)尺寸200mm直徑，360度旋轉(zhuǎn),可調(diào)傾斜角度+/-2度

500萬(wàn)像素彩色攝像頭 配備Keystone視頻校正