處理工藝:氮氧化物濃度較高的采用四級串聯(lián)高濃度酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉、硫化鈉進(jìn)行洗滌處理;氮氧化物濃度較低的采用兩級串聯(lián)酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉進(jìn)行洗滌處理。
主要特點(diǎn):凈化效率高,結(jié)構(gòu)緊湊,耐腐蝕,耐老化性能好,自動化控制,操作簡單,廣泛應(yīng)用于太陽能、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。
PECVD設(shè)備尾氣主要包含硅烷SiH及氨氣NH等。
處理工藝:不銹鋼燃燒筒一不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔氨氣洗滌塔+離心風(fēng)機(jī)。
主要特點(diǎn):硅烷去除率高, 氨氣及其他水溶性氣體凈化率高,占地面積小,耐腐蝕,便于維修。