雙工位區(qū)域除雜裝置說明介紹

簡(jiǎn)介 該區(qū)域熔融爐設(shè)計(jì)為金屬材料或半導(dǎo)體材料區(qū)域融化提純使用，爐體加熱區(qū)長(zhǎng)度100mm，高精度電機(jī)經(jīng)過PLC控制以緩慢平穩(wěn)的速度推進(jìn)，行進(jìn)速度可調(diào)，最高使用可達(dá)1100℃，設(shè)備采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，殼體表面溫度＜60℃，保溫材料為超細(xì)氧化鋁纖維，節(jié)能環(huán)保，溫場(chǎng)均勻性良好。 立式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可使樣品在區(qū)熔純化過程中處于垂直狀態(tài)。相較水平狀態(tài)，可避免重力影響。有利于金屬樣品處理。該設(shè)備設(shè)計(jì)為雙工位結(jié)構(gòu)，爐體可垂直或者水平工作狀態(tài)。兩臺(tái)區(qū)熔工位通過管道和真空系統(tǒng)相連。 技術(shù)參數(shù)

1、加熱方式：電阻加熱和感應(yīng)加熱

2、電源電壓：220V或380V 50Hz

3、區(qū)熔速度：10-100mm/h

4、區(qū)熔寬度：30-50mm

5、石英管長(zhǎng)度：1000mm

6、移動(dòng)距離：600mm

7、石英管外徑：40mm

8、加熱溫度區(qū)間：100-600℃

9、測(cè)溫方式：熱電偶（加熱區(qū)、冷卻區(qū)共3個(gè)熱電偶）

10、真空系統(tǒng)：

（1）前級(jí)泵為雙極旋片機(jī)械泵

（2）配備分子泵

（3）真空閥門，真空管道，結(jié)構(gòu)合理，運(yùn)行穩(wěn)定。

（4）真空計(jì)采用電離、電阻復(fù)合真空計(jì)

極限真空度：1*10-3Pa（冷態(tài)，潔凈，無坩堝保溫層）

11、冷卻區(qū)溫度：≤ 30℃

上一個(gè)： 高溫管式爐CVD系統(tǒng) 下一個(gè)： 有機(jī)合成電解槽