加熱系統(tǒng):
工作電壓:AC220V 單相
最大功率: 9KW
加熱區(qū)尺寸Φ200*250mm
最高工作溫度: 1700°C(<1hr)
連續(xù)工作溫度: 1600°C
控溫方式采用宇電高精度版本控溫控儀表,PID方式調(diào)節(jié)溫度,可程序控溫,用戶需要探索所長(zhǎng)晶體最合適的溫度梯度
在上部爐膛處開(kāi)有一個(gè)Φ25mm的斜觀察孔,用于在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中對(duì)籽晶和晶體液面進(jìn)行觀察。
溫控系統(tǒng): 采用1塊宇電高精度儀表,控溫精度可達(dá)±0.1℃
? 0.05 級(jí)精度的控制器,帶 150 段程序段,人工智能技術(shù)調(diào)節(jié)
? 配置1根B型熱電偶作為溫度檢測(cè)及反饋信號(hào)傳感器
籽晶桿固定件和坩堝
? 設(shè)備固定裝置預(yù)留好連接桿的固定裝置,可用于連接鉑金絲或者水冷提拉桿(鉑金絲選配)
? 標(biāo)配有1套水冷提拉桿,用于連接客戶生長(zhǎng)晶體所用的籽晶桿;
? 可選配Φ80*80mm的銥金坩堝;
伺服電機(jī)控制系統(tǒng):
(提拉速度更為均勻穩(wěn)定,改善單晶生長(zhǎng)質(zhì)量)
? 提拉速度:0.03-12mm/h
? 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.03-50r/min
? 可手動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)快速升降
? 提拉行程:400mm