原位納米壓痕儀說明介紹

KLA NanoFlip產(chǎn)品：先進的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計，完全實現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，完美實現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動態(tài)力學(xué)測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

符合ISO14577的國際標(biāo)準(zhǔn)的壓痕測試

NanoFlip動態(tài)測試附件是由連續(xù)剛度專用技術(shù)的發(fā)明人研發(fā)的：動態(tài)力學(xué)測試原理為在準(zhǔn)靜態(tài)加載過程中，施加在壓頭上一個正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載荷、時間或者頻率的變化材料力學(xué)性能的變化。

NanoBlitz3D技術(shù)，提供每個壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度，大量的測試提高了統(tǒng)計的準(zhǔn)確性，自動生成楊氏模量、硬度和剛度Mapping圖，是研究非均相材料研究的重要方法。

硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

Nanoflip納米壓痕測量各種材料的硬度和模量，從超軟凝膠到硬涂層。

連續(xù)剛度測試（CSM）

連續(xù)剛度測量用于量化動態(tài)材料特性，如應(yīng)變率和頻率誘導(dǎo)效應(yīng)。NanoFlip納米壓頭提供從0.1Hz到1kHz的動態(tài)頻率，根據(jù)深度或頻率連續(xù)測量接觸剛度。

高速材料性能Mapping（3D/4D）

對于復(fù)合材料，不同區(qū)域的力學(xué)性能差異很大。NanoFlip在X軸和Y軸上提供21mm的樣品臺移動，在Z軸上提供25mm的樣品臺移動，允許在樣品區(qū)域上測試大范圍高度變化的樣品。地形和斷層掃描軟件可以快速生成多種測量機械性能的彩色譜圖。

納米動態(tài)力學(xué)分析

聚合物是非常復(fù)雜的材料。為了獲得聚合物的有用信息，應(yīng)在相關(guān)背景下對相關(guān)樣品進行機械性能測量。納米壓痕測試使這種測量變得更容易，因為樣品可以很小，并且制備所需要的量少。納米壓痕系統(tǒng)可以通過振蕩壓頭與材料接觸的方式來測量聚合物的復(fù)合模量和粘彈性性能。

定量劃痕磨損測試

Nanoflip可以對各種材料進行劃痕和磨損測試。涂層和薄膜要經(jīng)過許多加工過程，例如化學(xué)和機械拋光（CMP）和金屬絲粘合，以測試這些薄膜的強度和它們在基底上的粘附力。對于這些材料來說，在這些過程中抵抗塑性變形并保持完整而不起泡是非常重要的。

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