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> 真空氣氛管式爐
1510 CVD（G）系列高溫真空氣氛管式爐專門設(shè)計用于高溫CVD工藝。如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。 窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，優(yōu)質(zhì)硅鉬棒加熱，優(yōu)質(zhì)99剛玉管爐膛，氣體采用浮子流量計流量計控制。進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制，有效的實現(xiàn)溫度的控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
l 設(shè)備名稱：高溫真空氣氛管式爐
l 設(shè)備型號： CVD(G)-06/50/1
l 最高溫度： 1650℃
l 工作溫度： RT～1600℃
l 加熱區(qū)長度：500mm 恒溫區(qū)：300mm
l 爐管實際尺寸： Φ60（外徑）×1250mm （具體尺寸以設(shè)計圖紙為準(zhǔn)）
l 爐管材質(zhì)： 優(yōu)質(zhì)99剛玉管
l 爐膛材料： 氧化鋁、高鋁和硅酸鋁纖維制品
l 控制溫區(qū)個數(shù)： 1個，B分度熱偶
l 控溫精度：±1℃，日本進(jìn)口智能溫度控制儀，PID參數(shù)自整定超溫、欠偶、斷偶報警保護(hù)。
l 加熱元件： 優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒
l 氣體種類及流量范圍：氮氣：0.2～2L/min 氧氣 ：0.2～2L/min
l 真空系統(tǒng)：配備機(jī)械泵，冷態(tài)極限真空度15Pa
l 最大加熱功率： 10Kw
l 空爐保溫功率： 約4Kw
l 外形尺寸約為：1250×750×1650（L×W×H）
l 建議升溫速率： 3℃～5℃/min
l 輸入動力電源： 三相電源，50HZ ，380V±10%；12KW
l 爐體表面溫升： ≤35℃
CVD(G)-06/50/1高溫真空氣氛管式爐爐管總長約1.25米加熱區(qū)長度為500mm。加熱元件采用優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒加熱，最大加熱功率10kw。兩端保溫區(qū)長各200mm，配有機(jī)械泵，可以在冷態(tài)條件下預(yù)抽真空
設(shè)備結(jié)構(gòu)
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湖北 - 武漢
2024年12月27日 ~ 29日
