主要用途:
用于高等院校及科研部門、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
主要技術(shù)指標(biāo):
1、極限真空度:5×10-4Pa
2、加熱溫度:1600°C
3、恒溫精度(±1°C),恒溫區(qū)長100mm,石英加熱室?50mm。
特點(diǎn):
1、管式爐以硅鉬棒為發(fā)熱元件,美國進(jìn)口?50mm剛玉管樣品室,高溫情況下密封效果好。采用雙鉑銠熱偶測溫。
2、智能化程序控制,自動測溫和控溫。
3、采用質(zhì)量流量控制器精確控制進(jìn)氣流量,可在多種氣氛下工作。操作簡單,實(shí)用。
4、分子泵真空系統(tǒng),備有冷阱,無污染真空環(huán)境。