D300 經(jīng)濟型高精度臺階儀 3231     

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Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的多種變化。

ezAFM-便攜式原子力顯微鏡 3195     

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ezAFM是新設(shè)計的精致型原子力顯微鏡，具有設(shè)計緊湊、美觀大方、高穩(wěn)定性、占用空間小等特點，而且軟件功能強大、操作簡單、用戶界面良好，而且價格實惠，性價比較為高。它是理想的實驗室用原子力顯微鏡，廣泛應(yīng)用于高等教育、納米技術(shù)教育和基礎(chǔ)研究等領(lǐng)域。產(chǎn)品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等掃描，可以用于電學(xué)、磁學(xué)等拓展模式，以及液相、真空環(huán)境等。

MVI原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯(lián)用系統(tǒng) 3222     

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原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)經(jīng)過30多年的發(fā)展后，從形貌測試及其它常規(guī)功能來看已經(jīng)非常成熟。然而常規(guī)的原子力顯微鏡也越來越無法滿足科研人員在納米尺度下對于樣品進行多性質(zhì)原位測試分析的需求，尤其在化學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)等領(lǐng)域。 在具備常規(guī)原子力顯微鏡功能的條件下，基于光誘導(dǎo)力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術(shù)，結(jié)合波長可調(diào)的可見-紅外光源，從而實現(xiàn)10nm以下空間分辨可見-紅外成像與光譜采集，無需遠場光學(xué)接收器及光譜儀。 此外，VistaScope原子力顯微鏡還可以與各類拉曼光譜儀

VITA　反應(yīng)離子刻蝕機（垂直腔室） 1840     

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反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，垂直腔室

SPRm200 表面等離子共振顯微鏡 2058     

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SPRm200 表面等離子共振顯微鏡 工作原理基于表面等離子共振（SPR）技術(shù)。是將表面等離子體共振技術(shù)和光學(xué)顯微鏡巧妙結(jié)合為一體的生物傳感檢測儀。可以同時得到細胞原位明場成像、SPR成像、及SPR動力學(xué)曲線定量親和常數(shù)、結(jié)合解離常數(shù)，它為免標記研究分子相互作用的領(lǐng)域開辟一個嶄新的前沿。專門針對細胞膜蛋白和相關(guān)分子免標記檢測而設(shè)計的SPRm200， 使您在不需要從細胞中提取和分離膜蛋白的前提下實時觀察細胞結(jié)構(gòu)并同時測量藥物和靶點在細胞上的結(jié)合過程。還可進行對藥物和在天然狀態(tài)下的膜蛋白之間相互作用的測量，高分辨SPR成像，可

原位納米壓痕儀 2159     

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NanoFlip產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下進行各種原位力學(xué)測試；也可以直接在大氣環(huán)境下測試樣品的硬度、楊氏模量或者其它物理力學(xué)性能。 NanoFlip在硬度和楊氏模量測試、連續(xù)剛度測試（CSM）、力學(xué)性能譜圖（Mapping）、納米動態(tài)力學(xué)分析（DMA）、劃痕和磨損測試、柱壓縮等測試中表現(xiàn)出色，可同時將SEM圖像與力學(xué)測試數(shù)據(jù)同步。NanoFlip還可以進行快速壓痕測量，這是在惰性環(huán)境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

Candela CS920表面缺陷檢測儀 1862     

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KLA Candela光學(xué)表面缺陷分析儀（OSA）可對半導(dǎo)體及光電子材料進行先進的表面檢測。Candela系列既能夠檢測Si、砷化鎵、磷化銦等不透明基板，又能對SiC、GaN、藍寶石和玻璃等透明材料進行檢測，成為其制程中品質(zhì)管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光學(xué)表面分析（OSA）專用技術(shù)，可同時測量散射強度、形狀變化、表面反射率和相位轉(zhuǎn)移，為特征缺陷（DOI）進行自動偵測與分類。OSA檢測技術(shù)結(jié)合散射測量、橢圓偏光、反射測量與光學(xué)形狀分析等基本原理，以非破環(huán)性方式對Wafer表面的殘留異物，表面與表面下缺陷，形狀變化和薄膜厚度

電阻率測試儀 1722     

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Filmetrics的薄膜電阻測量設(shè)備開發(fā)源自于有著超過30年經(jīng)驗的KLA的薄膜電阻計量技術(shù)，并由20年臺式測量設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測量技術(shù)包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。 Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在多種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個數(shù)量級范圍電阻率，包括：半導(dǎo)體晶圓基板、玻璃基板、塑料（柔性）基材、PCB圖案特征、太陽能電池、平板顯示層和圖案化特征、金屬箔

Desk V 薄膜沉積解決方案 1794     

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Desk V樣品制備系統(tǒng)配制用于蒸發(fā)和濺射，是一種高生產(chǎn)率的解決方案，可提供卓越、一致和高度可重復(fù)的結(jié)果。 Desk V鍍膜系統(tǒng)提供兩種版本：Desk V HP和Desk V TSC。Desk V TSC，是渦輪分子泵濺射鍍膜機選項，專為高分辨率顯微鏡樣品設(shè)計，適用于氧化和非氧化金屬。Desk V磁控濺射裝置精確沉積導(dǎo)電鍍膜，其熱蒸發(fā)選項可以沉積薄碳層(使用棒材或紗線)。

D300 經(jīng)濟型高精度臺階儀 1768     

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Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的多種變化。

ezAFM-便攜式原子力顯微鏡 1765     

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ezAFM是新設(shè)計的精致型原子力顯微鏡，具有設(shè)計緊湊、美觀大方、高穩(wěn)定性、占用空間小等特點，而且軟件功能強大、操作簡單、用戶界面良好，而且價格實惠，性價比較為高。它是理想的實驗室用原子力顯微鏡，廣泛應(yīng)用于高等教育、納米技術(shù)教育和基礎(chǔ)研究等領(lǐng)域。產(chǎn)品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等掃描，可以用于電學(xué)、磁學(xué)等拓展模式，以及液相、真空環(huán)境等。

MVI原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯(lián)用系統(tǒng) 2124     

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在具備常規(guī)原子力顯微鏡功能的條件下，基于光誘導(dǎo)力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術(shù)，結(jié)合波長可調(diào)的可見-紅外光源，從而實現(xiàn)10nm以下空間分辨可見-紅外成像與光譜采集，無需遠場光學(xué)接收器及光譜儀。VistaScope原子力顯微鏡還可以與各類拉曼光譜儀進行聯(lián)用，組成原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯(lián)用系統(tǒng)，以滿足科研人員在納米尺度下的測試需求。

P7 晶圓探針式輪廓儀/臺階儀 1764     

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KLA是全球半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場較大的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著不俗的市占率。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。 P-7建立在市場領(lǐng)先的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有較好的測量重復(fù)性。UltraLite?傳感器具有動態(tài)力控制，