權(quán)利要求書： 1.震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于，包括：主軸機(jī)構(gòu)，包括夾頭、軸體和主軸驅(qū)動(dòng)單元，所述夾頭與所述軸體連接，所述夾頭用于固定劈刀，所述主軸驅(qū)動(dòng)單元能驅(qū)動(dòng)所述軸體自轉(zhuǎn)；

振動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元，所述振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元能驅(qū)動(dòng)所述軸體沿自身軸向振動(dòng)；

研磨機(jī)構(gòu)，包括研磨部，所述研磨部能伸入到劈刀的內(nèi)孔中實(shí)施研磨，所述主軸驅(qū)動(dòng)單元和所述振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元能同時(shí)工作，所述軸體能帶動(dòng)所述夾頭和劈刀進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述主軸機(jī)構(gòu)還包括筒體，所述筒體的內(nèi)壁與所述軸體的外壁之間為間隙配合，所述筒體上設(shè)有若干氣道，壓縮空氣能通過所述氣道被注入到所述筒體與所述軸體之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述主軸機(jī)構(gòu)還包括底座，所述主軸驅(qū)動(dòng)單元為皮帶輪機(jī)構(gòu)，所述底座與所述軸體連接，所述主軸驅(qū)動(dòng)單元能通過皮帶驅(qū)動(dòng)所述底座和所述軸體自轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述振動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括搖臂，所述搖臂的一端鉸接在機(jī)架上，所述振動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括凸輪，所述振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元能帶動(dòng)所述凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述凸輪與所述搖臂相互抵靠，所述凸輪能通過轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述搖臂往復(fù)擺動(dòng)，所述搖臂與所述底座相互抵靠，所述搖臂能通過擺動(dòng)帶動(dòng)所述底座和所述軸體振動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述搖臂上還設(shè)有第一滾輪和第二滾輪，所述第一滾輪和第二滾輪與所述搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一滾輪與所述凸輪接觸，所述第二滾輪與所述底座接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述研磨機(jī)構(gòu)還包括夾持部和升降單元，所述夾持部能夾緊所述研磨部，所述升降單元能帶動(dòng)所述夾持部和所述研磨部移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述研磨部為鋼絲。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述研磨部的形狀是截面為圓形的長條狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的震動(dòng)拋光機(jī)，其特征在于：所述震動(dòng)拋光機(jī)還包括攝像單元，所述攝像單元能通過圖像采集來監(jiān)測(cè)研磨部與劈刀之間的相對(duì)位置。

說明書： 震動(dòng)拋光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及研磨拋光設(shè)備，特別涉及震動(dòng)拋光機(jī)。背景技術(shù)[0002] 劈刀是指微電子封裝領(lǐng)域中的焊接劈刀。在微電子封裝領(lǐng)域，集成電路芯片之間、集成電路芯片與外圍電路之間通常采用引線鍵合實(shí)現(xiàn)電氣互聯(lián)。劈刀是引線鍵合的重要工

具，其性能決定了鍵合的質(zhì)量、效率與經(jīng)濟(jì)性。劈刀包括本體、位于本體一端的焊嘴和沿本

體的縱軸和焊嘴延伸的內(nèi)孔，劈刀內(nèi)孔徑對(duì)引線的質(zhì)量有著很大的影響，不合適的內(nèi)孔徑

會(huì)導(dǎo)致線損傷甚至斷線，但目前內(nèi)孔的成型技術(shù)尚難以達(dá)到較高的精確度，通常采用先注

塑成型，再研磨拋光的形式以得到精確度高的劈刀內(nèi)孔徑。

[0003] 現(xiàn)有技術(shù)中，劈刀的內(nèi)孔的拋光方式通常是將研磨工具涂上研磨膏，由操作人員人手操作研磨工具來對(duì)劈刀的內(nèi)孔進(jìn)行研磨，依據(jù)操作人員的觀察和感受來判斷研磨是否

完成，技術(shù)缺陷在于：研磨依靠人手操作，勞動(dòng)強(qiáng)度較高，生產(chǎn)過程自動(dòng)化程度低、生產(chǎn)效率

低，產(chǎn)品質(zhì)量的可控性較差且一致性不易保證，不利于大規(guī)模高速生產(chǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 本實(shí)用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種自動(dòng)化程度較高、產(chǎn)品質(zhì)量可控性較好震動(dòng)拋光機(jī)。

[0005] 為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案：[0006] 震動(dòng)拋光機(jī)，包括：[0007] 主軸機(jī)構(gòu)，包括夾頭、軸體和主軸驅(qū)動(dòng)單元，夾頭與軸體連接，夾頭用于固定劈刀，主軸驅(qū)動(dòng)單元能驅(qū)動(dòng)軸體自轉(zhuǎn)；

[0008] 振動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元，振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元能驅(qū)動(dòng)軸體沿自身軸向振動(dòng)；[0009] 研磨機(jī)構(gòu)，包括研磨部，研磨部能伸入到劈刀的內(nèi)孔中實(shí)施研磨，主軸驅(qū)動(dòng)單元和振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元能同時(shí)工作，軸體能帶動(dòng)夾頭和劈刀進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)。

[0010] 上述震動(dòng)拋光機(jī)至少具有以下有益效果：[0011] 主軸機(jī)構(gòu)和振動(dòng)機(jī)構(gòu)能使軸體帶動(dòng)夾頭和劈刀同時(shí)進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)，使劈刀能相對(duì)研磨部同時(shí)進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)，有利于提高劈刀內(nèi)孔研磨的加工效率、加工質(zhì)量

一致性、加工質(zhì)量可控性和自動(dòng)化程度。

[0012] 在一種可能的實(shí)施方式中，主軸機(jī)構(gòu)還包括筒體，筒體的內(nèi)壁與軸體的外壁之間為間隙配合，筒體上設(shè)有若干氣道，壓縮空氣能通過氣道被注入到筒體與軸體之間。壓縮空

氣能在筒體的內(nèi)壁與軸體的外壁之間形成空氣間隙，使軸體能在自轉(zhuǎn)過程中實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)

中，從而使夾頭和劈刀實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)中，能使劈刀內(nèi)孔的研磨質(zhì)量提高。

[0013] 在一種可能的實(shí)施方式中，主軸機(jī)構(gòu)還包括底座，主軸驅(qū)動(dòng)單元為皮帶輪機(jī)構(gòu)，底座與軸體連接，主軸驅(qū)動(dòng)單元能通過皮帶驅(qū)動(dòng)底座和軸體自轉(zhuǎn)。皮帶輪機(jī)構(gòu)使底座和軸體

能在自轉(zhuǎn)的同時(shí)仍然具有軸向振動(dòng)的能力。

[0014] 在一種可能的實(shí)施方式中，振動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括搖臂，搖臂的一端鉸接在機(jī)架上，振動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括凸輪，振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元能帶動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪與搖臂相互抵靠，凸輪能通過轉(zhuǎn)動(dòng)帶

動(dòng)搖臂往復(fù)擺動(dòng)，搖臂與底座相互抵靠，搖臂能通過擺動(dòng)帶動(dòng)底座和軸體振動(dòng)。搖臂的鉸接

機(jī)構(gòu)簡單可靠，能將搖臂的擺動(dòng)轉(zhuǎn)化為底座和軸體的振動(dòng)。

[0015] 在一種可能的實(shí)施方式中，搖臂上還設(shè)有第一滾輪和第二滾輪，第一滾輪和第二滾輪與搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一滾輪與凸輪接觸，第二滾輪與底座接觸。第一滾輪和第二滾輪能

降低搖臂的磨損，還能降低摩擦導(dǎo)致的能量損失，有利于提高系統(tǒng)效率。

[0016] 在一種可能的實(shí)施方式中，研磨機(jī)構(gòu)還包括夾持部和升降單元，夾持部能夾緊研磨部，升降單元能帶動(dòng)夾持部和研磨部移動(dòng)。夾持部使研磨部便于更換和調(diào)節(jié)位置，升降單

元使研磨部能實(shí)現(xiàn)位置調(diào)節(jié)和自動(dòng)進(jìn)給。

[0017] 在一種可能的實(shí)施方式中，研磨部為鋼絲。研磨部選用鋼絲，具有良好的柔韌性，有利于提高研磨質(zhì)量。

[0018] 在一種可能的實(shí)施方式中，研磨部的形狀是截面為圓形的長條狀。研磨部的形狀是截面為圓形的長條狀，能適應(yīng)內(nèi)孔的形狀，有利于提高研磨質(zhì)量。

[0019] 在一種可能的實(shí)施方式中，震動(dòng)拋光機(jī)還包括攝像單元，攝像單元能通過圖像采集來監(jiān)測(cè)研磨部與劈刀之間的相對(duì)位置。攝像單元能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)研磨部與劈刀之間的相對(duì)位

置，有利于提高成品合格率。

附圖說明[0020] 本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

[0021] 圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；[0022] 圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的劈刀的布置方式示意圖；[0023] 圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的軸體的布置方式示意圖；[0024] 圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的搖臂的布置方式示意圖；[0025] 附圖標(biāo)記：[0026] 劈刀1、內(nèi)孔2、夾頭3、軸體4、筒體5、氣道6、底座7、主軸驅(qū)動(dòng)單元8、搖臂9、第一滾輪10、第二滾輪11、凸輪12、振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13、夾持部14、研磨部15、升降單元16、攝像單元

17、機(jī)架18。

具體實(shí)施方式[0027] 本部分將詳細(xì)描述本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例在附圖中示出，附圖的作用在于用圖形補(bǔ)充說明書文字部分的描述，使人能夠直觀地、形象地理解本

實(shí)用新型的每個(gè)技術(shù)特征和整體技術(shù)方案，但其不能理解為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限

制。

[0028] 在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用

新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方

位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

[0029] 在本實(shí)用新型的描述中，若干的含義是一個(gè)或者多個(gè)，多個(gè)的含義是兩個(gè)以上，大于、小于、超過等理解為不包括本數(shù)，以上、以下、以內(nèi)等理解為包括本數(shù)。如果有描述到第

一、第二只是用于區(qū)分技術(shù)特征為目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指

明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的先后關(guān)系。

[0030] 本實(shí)用新型的描述中，除非另有明確的限定，設(shè)置、安裝、連接等詞語應(yīng)做廣義理解，所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員可以結(jié)合技術(shù)方案的具體內(nèi)容合理確定上述詞語在本實(shí)用新型

中的具體含義。

[0031] 參照?qǐng)D1至4，震動(dòng)拋光機(jī)，包括：[0032] 主軸機(jī)構(gòu)，包括夾頭3、軸體4和主軸驅(qū)動(dòng)單元8，夾頭3與軸體4連接，夾頭3用于固定劈刀1，主軸驅(qū)動(dòng)單元8能驅(qū)動(dòng)軸體4自轉(zhuǎn)；

[0033] 振動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13，振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13能驅(qū)動(dòng)軸體4沿自身軸向振動(dòng)；[0034] 研磨機(jī)構(gòu)，包括研磨部15，研磨部15能伸入到劈刀1的內(nèi)孔2中實(shí)施研磨，主軸驅(qū)動(dòng)單元8和振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13能同時(shí)工作，軸體4能帶動(dòng)夾頭3和劈刀1進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)。

[0035] 上述震動(dòng)拋光機(jī)至少具有以下有益效果：[0036] 主軸機(jī)構(gòu)和振動(dòng)機(jī)構(gòu)能使軸體4帶動(dòng)夾頭3和劈刀1同時(shí)進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)，使劈刀1能相對(duì)研磨部15同時(shí)進(jìn)行自轉(zhuǎn)和軸向振動(dòng)，有利于提高劈刀1內(nèi)孔2研磨的加工效率、

加工質(zhì)量一致性、加工質(zhì)量可控性和自動(dòng)化程度。

[0037] 關(guān)于夾頭3，夾頭3可選用但不限于彈性夾具，能為劈刀1提供夾持。夾頭3固定在軸體4的一端。

[0038] 關(guān)于軸體4，軸體4為柱狀。軸體4的一端與夾頭3連接且軸體4的另一端設(shè)有底座7。[0039] 關(guān)于主軸驅(qū)動(dòng)單元8，主軸驅(qū)動(dòng)單元8可選用但不限于皮帶輪機(jī)構(gòu)。主軸驅(qū)動(dòng)單元8通過皮帶驅(qū)動(dòng)底座7自轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)軸體4自轉(zhuǎn)。主軸驅(qū)動(dòng)單元8還可以是氣動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、電

機(jī)直接驅(qū)動(dòng)或電機(jī)與齒輪組合驅(qū)動(dòng)等。

[0040] 關(guān)于振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13，振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13可選用但不限于皮帶輪機(jī)構(gòu)。振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13還包括凸輪12和搖臂9，搖臂9的一端鉸接在機(jī)架18上，搖臂9與主軸機(jī)構(gòu)的底座7相互

抵靠。皮帶輪機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)凸輪12自轉(zhuǎn)，凸輪12為偏心輪，凸輪12的外側(cè)面與搖臂9相互抵靠。凸

輪12能通過轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)搖臂9往復(fù)擺動(dòng)，搖臂9能通過往復(fù)擺動(dòng)來帶動(dòng)主軸機(jī)構(gòu)的底座7振動(dòng)，

底座7能帶動(dòng)主軸、夾頭3和劈刀1振動(dòng)。振動(dòng)單元的頻率是可調(diào)的，可調(diào)范圍是0Hz至20Hz，

從而使軸體4的振動(dòng)頻率也能在0Hz至20Hz之間靈活調(diào)整。

[0041] 關(guān)于研磨機(jī)構(gòu)，研磨機(jī)構(gòu)包括夾持部14、研磨部15和升降單元16。夾持部14能夾持研磨部15。升降單元16能驅(qū)動(dòng)夾持部14上下移動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)研磨部15上下移動(dòng)。研磨部15需

要在研磨開始前伸入到劈刀1的內(nèi)孔2中，還需要在研磨過程中向劈刀1的內(nèi)孔2深處逐漸移

動(dòng)，以上動(dòng)作都由升降單元16來實(shí)現(xiàn)。

[0042] 關(guān)于劈刀1，主軸、夾頭3和劈刀1的自轉(zhuǎn)方向如圖2所示的A方向，主軸、夾頭3和劈刀1的振動(dòng)方向如圖2所示的B方向。

[0043] 關(guān)于搖臂9，搖臂9的擺動(dòng)方向如圖4所示的C方向。[0044] 關(guān)于夾持部14和研磨部15，夾持部14和研磨部15能沿圖1所示的上下方向移動(dòng)。[0045] 在一種可能的實(shí)施方式中，主軸機(jī)構(gòu)還包括筒體5，筒體5的內(nèi)壁與軸體4的外壁之間為間隙配合，筒體5上設(shè)有至少一個(gè)氣道6，壓縮空氣能通過氣道6被注入到筒體5與軸體4

之間。壓縮空氣能在筒體5的內(nèi)壁與軸體4的外壁之間形成空氣間隙，使軸體4能在自轉(zhuǎn)過程

中實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)中，從而使夾頭3和劈刀1實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)中，能使劈刀1內(nèi)孔2的研磨質(zhì)量提高。

[0046] 在一種可能的實(shí)施方式中，主軸機(jī)構(gòu)還包括底座7，主軸驅(qū)動(dòng)單元8為皮帶輪機(jī)構(gòu)，底座7與軸體4連接，主軸驅(qū)動(dòng)單元8能通過皮帶驅(qū)動(dòng)底座7和軸體4自轉(zhuǎn)。皮帶輪機(jī)構(gòu)使底座

7和軸體4能在自轉(zhuǎn)的同時(shí)仍然具有軸向振動(dòng)的能力。

[0047] 在一種可能的實(shí)施方式中，振動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括搖臂9，搖臂9的一端鉸接在機(jī)架18上，振動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括凸輪12，振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13能帶動(dòng)凸輪12轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪12與搖臂9相互抵靠，凸

輪12能通過轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)搖臂9往復(fù)擺動(dòng)，搖臂9與底座7相互抵靠，搖臂9能通過擺動(dòng)帶動(dòng)底座7

和軸體4振動(dòng)。搖臂9的鉸接機(jī)構(gòu)簡單可靠，能將搖臂9的擺動(dòng)轉(zhuǎn)化為底座7和軸體4的振動(dòng)。

[0048] 關(guān)于凸輪12，凸輪12是可更換的，通過選用偏心量不同的凸輪12，能調(diào)整軸體4的軸向振動(dòng)頻率。軸體4的軸向振動(dòng)頻率的可調(diào)范圍在0mm至2mm之間。

[0049] 在一種可能的實(shí)施方式中，搖臂9上還設(shè)有第一滾輪10的第二滾輪11，第一滾輪10和第二滾輪11與搖臂9轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一滾輪10與凸輪12接觸，第二滾輪11與底座7接觸。第一

滾輪10和第二滾輪11能降低搖臂9的磨損，還能降低摩擦導(dǎo)致的能量損失，有利于提高系統(tǒng)

效率。

[0050] 關(guān)于第一滾輪10和第二滾輪11，第一滾輪10和第二滾輪11的位置是可調(diào)的，從而使軸體4的振動(dòng)頻率也是可調(diào)的。第一滾輪10和第二滾輪11是可更換的，通過選用尺寸不同

的滾輪，也能調(diào)節(jié)軸體4的振動(dòng)頻率。

[0051] 在一種可能的實(shí)施方式中，研磨機(jī)構(gòu)還包括夾持部14和升降單元16，夾持部14能夾緊研磨部15，升降單元16能帶動(dòng)夾持部14和研磨部15移動(dòng)。夾持部14使研磨部15便于更

換和調(diào)節(jié)位置，升降單元16使研磨部15能實(shí)現(xiàn)位置調(diào)節(jié)和自動(dòng)進(jìn)給。

[0052] 關(guān)于升降單元16，升降單元16可選用但不限于直線電機(jī)。[0053] 在一種可能的實(shí)施方式中，研磨部15為鋼絲。研磨部15選用鋼絲，具有良好的柔韌性，有利于提高研磨質(zhì)量。鋼絲的尺寸與劈刀的內(nèi)孔的尺寸一致。例如，當(dāng)劈刀的內(nèi)孔的最

小直徑為11微米時(shí)，鋼絲的外徑為11微米。

[0054] 關(guān)于研磨部15，研磨部15選用鋼絲。研磨膏通過自動(dòng)點(diǎn)入機(jī)構(gòu)添加在每枚劈刀的尾部，鋼絲從劈刀的尾部穿入劈刀的內(nèi)孔，鋼絲的端部會(huì)在沾有研磨膏的狀態(tài)下穿入劈刀

的內(nèi)孔，有利于提升研磨質(zhì)量。

[0055] 在一種可能的實(shí)施方式中，研磨部15的形狀是截面為圓形的長條狀。研磨部15的形狀是截面為圓形的長條狀，能適應(yīng)內(nèi)孔2的形狀，有利于提高研磨質(zhì)量。

[0056] 關(guān)于研磨部15，研磨部15可選用柔性材質(zhì)，且形狀是截面為圓形的長條狀。研磨部15可以是柔性金屬絲，材質(zhì)可選用但不限于鐵合金、鉻合金、錳合金。研磨部15還可以是非

金屬材質(zhì)，可選用但不限于碳纖材質(zhì)或玻璃材質(zhì)。

[0057] 在一種可能的實(shí)施方式中，震動(dòng)拋光機(jī)還包括攝像單元17，攝像單元17能通過圖像采集來監(jiān)測(cè)研磨部15與劈刀1之間的相對(duì)位置。攝像單元17能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)研磨部15與劈刀1

之間的相對(duì)位置，有利于提高成品合格率。

[0058] 關(guān)于震動(dòng)拋光機(jī)，配備自動(dòng)上料和自動(dòng)出料機(jī)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)拋光工作自動(dòng)進(jìn)行。安裝本設(shè)備時(shí)，將各部分組裝好后，調(diào)節(jié)主軸驅(qū)動(dòng)單元8的轉(zhuǎn)速來控制軸體4的轉(zhuǎn)速；調(diào)

節(jié)振動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元13的轉(zhuǎn)速來控制軸體4振動(dòng)的頻率；調(diào)節(jié)搖臂9的第一滾輪10和第二滾輪11

的位置和凸輪12的偏心量來控制軸體4的振幅；調(diào)節(jié)攝像單元17的位置及焦距，使研磨部15

能清晰成像,判斷研磨部15是否正確插入劈刀1的內(nèi)孔2。完成之后就可以按生產(chǎn)工藝進(jìn)行

生產(chǎn)作業(yè)。

[0059] 關(guān)于劈刀1的成品合格率的測(cè)試方法和合格標(biāo)準(zhǔn)：①檢測(cè)1000只劈刀1的外表面是否破損，是否有劃痕。合格標(biāo)準(zhǔn)：無破損，光滑無劃痕。②內(nèi)孔2的孔徑的檢測(cè)方法和合格標(biāo)

準(zhǔn)：用電子顯微鏡檢測(cè)1000只研磨拋光好的劈刀1的內(nèi)容尺寸，超過要求尺寸±0.5微米即

為不合格品，計(jì)算孔徑合格率。③完成時(shí)間，測(cè)試1000只劈刀1完成研磨拋光的時(shí)間，采用計(jì)

時(shí)器測(cè)時(shí)間。

[0060] 關(guān)于攝像單元17，攝像單元17可選用但不限于攝像機(jī)、相機(jī)或攝像頭。攝像單元17還包括芯筒定位裝置，芯筒定位裝置能提高攝像單元17、研磨部15和劈刀1之間定位的準(zhǔn)確

性。攝像單元17與計(jì)算機(jī)連接，能實(shí)現(xiàn)圖像的實(shí)時(shí)采集和監(jiān)測(cè)。攝像單元17和計(jì)算機(jī)能監(jiān)測(cè)

研磨部15是否正確導(dǎo)入劈刀1的內(nèi)孔2，一旦監(jiān)測(cè)到進(jìn)入內(nèi)孔2，則計(jì)算機(jī)會(huì)將程序轉(zhuǎn)入適合

研磨的升降進(jìn)給方式，控制升降單元16繼續(xù)帶動(dòng)研磨部15進(jìn)給，直至研磨部15的端部完全

穿過劈刀1的內(nèi)孔2，通常在研磨部15穿出內(nèi)孔2以外8±0.02mm時(shí)停止，則該枚劈刀1研磨完

成。每組實(shí)施例的測(cè)量的得到的孔徑尺寸如下：

[0061] 表1實(shí)驗(yàn)組與對(duì)照組的生產(chǎn)參數(shù)[0062][0063] 實(shí)驗(yàn)組1至4采用本實(shí)施例的技術(shù)方案，對(duì)照組1至4采用現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案。由上表可知，本實(shí)施例的技術(shù)方案的孔徑合格率、產(chǎn)品合格率和完成時(shí)間都優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)。

[0064] 上面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作了詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型不限于上述實(shí)施例，在所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員所具備的知識(shí)范圍內(nèi)，還可以在不脫離本實(shí)用新型宗

旨的前提下作出各種變化。