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高延伸性電解銅箔及其制備方法

964   編輯:管理員   來源:中國科學(xué)院金屬研究所  
2024-03-12 16:57:44
權(quán)利要求書: 1.一種高延伸性電解銅箔,其特征在于:該電解銅箔沿其厚度方向存在多個(gè)晶粒,晶粒尺寸范圍為0.5?20微米;晶粒內(nèi)部存在多個(gè)孿晶片層,平均孿晶片層厚度的范圍為0.25?10微米;

所述高延伸性電解銅箔的制備方法為:首先通過直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔,再對納米孿晶銅箔進(jìn)行退火處理,即獲得所述高延伸性電解銅箔;

所述退火處理過程中,退火溫度為300?600℃,時(shí)間為2?200分鐘;退火過程中使用氬氣或氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣氛;

所述直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔的過程中,所用電解液組成如下:硫酸銅90 150g/L;

~

明膠30 50mg/L;

~

HCl30?70mg/L;

水余量;

2

所述直流電解沉積技術(shù)工藝參數(shù)為:采用恒電流模式,電流密度5?150mA/cm ,電解沉積時(shí)間3min 20h,溫度5 40℃;電解液用濃硫酸調(diào)節(jié)pH值為0.5 1.5;

~ ~ ~

所述直流電解沉積過程中,陽極選用銥鉭鈦電極,陰極為純Ti板,陰極與陽極之間的間距為60 140mm,陽極與陰極面積比為(2 10):1。

~ ~

2.按照權(quán)利要求1所述的高延伸性電解銅箔,其特征在于:電解銅箔的厚度為3?100μm。

3.按照權(quán)利要求1所述的高延伸性電解銅箔,其特征在于:該電解銅箔的純度為99.995±0.005%,室溫條件下拉伸延伸率為5?40%,抗拉強(qiáng)度為100?500MPa。

說明書: 一種高延伸性電解銅箔及其制備方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及覆銅板用電解銅箔制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種高延伸性電解銅箔及其制備方法。背景技術(shù)[0002] 銅箔是現(xiàn)代工業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一,按照用途主要分為覆銅板(PCB)用銅箔和離子電池用銅箔。覆銅板作為電子元器件的“神經(jīng)”,銅箔是覆銅板的關(guān)鍵材料,在電子元器件中發(fā)揮支撐作用。隨著社會的高度發(fā)展,電子設(shè)備逐步向普及化、智能化、微型化、柔性化方向發(fā)展,對銅箔的需求和性能要求越來越高。中國銅箔產(chǎn)量迅速增加,到2017年時(shí),中國銅箔產(chǎn)量占全球總量的比值已達(dá)到72.1%。但是,令人擔(dān)憂的是,目前大多數(shù)的高端銅箔仍由國外壟斷,成為了國內(nèi)的“卡脖子”技術(shù)。比如,國內(nèi)柔性覆銅板(FCCL)用銅箔基本被日本銅箔生產(chǎn)企業(yè)壟斷,國內(nèi)銅箔生產(chǎn)商仍未取得突破性進(jìn)展。[0003] 柔性覆銅板由于其微變形的使用條件要求銅箔材料具有優(yōu)異的延展性或抗撓性。目前柔性覆銅板大多數(shù)使用壓延銅箔,其原因在于壓延銅箔在制備過程中形成了納米量級的晶?;蛭诲e(cuò)胞的超細(xì)結(jié)構(gòu),其織構(gòu)為(110)。這種結(jié)構(gòu)極其不穩(wěn)定,經(jīng)較高溫度烘烤或退火后,轉(zhuǎn)變?yōu)榫Я3叽巛^大的(100)織構(gòu)。一方面100織構(gòu)的彈性模量較低,另一方面晶粒尺寸較大有利于塑性變形,致使該銅箔具有良好的延展性或抗撓性,可滿足柔性覆銅板的大部分使用場景。但是這種銅箔的強(qiáng)度或抗彎折性較差,其使用場景依然有限。盡管如此,國內(nèi)覆銅板使用的壓延銅箔仍然需要進(jìn)口,其價(jià)格較為昂貴,約為普通銅箔的5倍左右。

[0004] 與壓延銅箔相比,電解銅箔的成本和價(jià)格較低。但是電解銅箔的晶粒尺寸往往處于亞微米量級,微觀結(jié)構(gòu)相對穩(wěn)定,在退火時(shí),晶粒尺寸變化不大,能夠保持較高的強(qiáng)度,但是塑性的提升較小。另外一方面,電解銅箔一般為隨機(jī)取向無明顯織構(gòu),當(dāng)晶粒尺寸增加時(shí),由于晶粒間變形差異較大,退火過程容易形成褶皺,并且致使其塑性相對較低。因此,以上種種不利因素限制了普通電解銅箔在柔性覆銅板上的應(yīng)用。[0005] 針對薄膜材料變形機(jī)制的研究表明,薄膜金屬材料的塑性不僅與晶粒尺寸相關(guān)并隨著晶粒尺寸增加而增加,還與樣品厚度與晶粒尺寸的比值或者沿著厚度方向的晶粒數(shù)量相關(guān)并隨著該比值或晶粒數(shù)量的增加而增加。究其原因是,處于表層的晶粒在變形過程中受到的約束較小,容易率先軟化、失效。當(dāng)樣品厚度減小或者晶粒尺寸增加時(shí),處于表面的晶粒數(shù)量占比增加,薄膜材料(銅箔)往往表現(xiàn)出較低的塑性和強(qiáng)度,即為常見的“表面軟化”效應(yīng)。而最近的研究表明,在晶粒內(nèi)部引入共格的孿晶界面能夠改善這種軟化現(xiàn)象,有利于提高材料的塑性與強(qiáng)度,這得益于孿晶片層結(jié)構(gòu)或共格孿晶界面對表層晶粒的約束作用。[0006] 由以上技術(shù)背景可知,針對電解銅箔,在保持厚度不變的條件下,增強(qiáng)銅箔織構(gòu)、增加晶粒尺寸的同時(shí)引入孿晶結(jié)構(gòu),有望獲得一種廉價(jià)、高延展性(抗撓曲性)、高強(qiáng)度(抗彎折性)的柔性覆銅板用銅箔。發(fā)明內(nèi)容[0007] 為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的柔性覆銅板用銅箔延展性、強(qiáng)度以及成本無法兼顧的問題,本發(fā)明提供一種高延伸性電解銅箔及其制備方法,通過借助“引入共格孿晶界面降低表面弱化效應(yīng)”的設(shè)計(jì)原理,首先通過直流電解沉積制備技術(shù)得到納米孿晶銅箔,然后退火處理,獲得大晶粒尺寸并含有孿晶片層的高延伸性銅箔。[0008] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:[0009] 一種高延伸性電解銅箔,沿其厚度方向存在一個(gè)或多個(gè)晶粒,晶粒尺寸范圍為0.5?20微米;晶粒內(nèi)部存在一個(gè)或多個(gè)孿晶界,孿晶界與最近鄰的孿晶或晶界的間距范圍為0.1?10微米。

[0010] 該電解銅箔的厚度為3?100μm。[0011] 該電解銅箔的純度為99.995±0.005%,室溫條件下拉伸延伸率為5?40%,抗拉強(qiáng)度為100?500MPa。[0012] 所述高延伸性電解銅箔的制備方法,首先通過直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔,再對納米孿晶銅箔進(jìn)行退火處理,即獲得所述高延伸性電解銅箔。[0013] 所述退火處理過程中,退火溫度為300?600℃,時(shí)間為2?200分鐘;退火過程中使用氬氣或氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣氛。[0014] 所述直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔的過程中,所用電解液組成如下:[0015][0016] 所述直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔的過程中,所用電解液組成優(yōu)選如下:[0017][0018] 所述直流電解沉積技術(shù)工藝參數(shù)為:采用恒電流模式,電流密度5?150mA/cm2,電解沉積時(shí)間3min~20h,溫度5~40℃;電解液用濃硫酸調(diào)節(jié)pH值為0.5~1.5。[0019] 所述直流電解沉積過程中,陽極選用銥鉭鈦電極,陰極為純Ti板,陰極與陽極之間的間距為60~140mm,陽極與陰極面積比為(2~10):1。[0020] 本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):[0021] 1、獨(dú)特的微觀結(jié)構(gòu)[0022] 對納米孿晶銅箔退火后,獲得了一種晶粒尺寸較大并含有孿晶片層的銅箔材料,這得益于納米孿晶結(jié)構(gòu)的強(qiáng)織構(gòu)性和穩(wěn)定性。[0023] 2、優(yōu)異的延展性[0024] 本發(fā)明的高延伸性電解銅箔中,當(dāng)厚度為12微米時(shí),其室溫拉伸延伸率為15%,與此同時(shí)抗拉強(qiáng)度為191MPa,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了印制板標(biāo)準(zhǔn)IPC?4562中17.1微米厚度高伸延伸性銅箔對延伸率(5%)與抗拉強(qiáng)度(103MPa)要求。[0025] 3、極具有潛力的使用前景[0026] 本發(fā)明獲得銅箔材料利用電解沉積和退火得到,規(guī)?;a(chǎn)過程容易實(shí)現(xiàn),生產(chǎn)成本較低;另外,銅箔同時(shí)具備高的延展性和高的拉伸強(qiáng)度,有望實(shí)現(xiàn)較高的抗撓曲性和抗彎折性,因此在柔性覆銅板領(lǐng)域具有極大的使用潛力。附圖說明[0027] 圖1為實(shí)施例1的掃描電子顯微鏡下高延伸性電解銅箔的截面微觀結(jié)構(gòu)圖。[0028] 圖2為實(shí)施例1?3的高延伸性電解銅箔的X射線衍射圖譜。[0029] 圖3為實(shí)施例1?3的高延伸性電解銅箔的工程應(yīng)力?應(yīng)變曲線。[0030] 圖4為實(shí)施例2的掃描電子顯微鏡下高延伸性電解銅箔的截面微觀結(jié)構(gòu)圖。[0031] 圖5為實(shí)施例3的掃描電子顯微鏡下高延伸性電解銅箔的截面微觀結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式[0032] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例詳述本發(fā)明。[0033] 實(shí)施例1[0034] 本實(shí)施例制備(111)織構(gòu)高延伸性電解銅箔的制備方法為:首先通過直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔,再對納米孿晶銅箔進(jìn)行退火處理,具體過程如下:[0035] 1.利用直流電解沉積技術(shù)制備納米孿晶銅箔:[0036] 電解沉積設(shè)備:直流穩(wěn)壓穩(wěn)流電源;[0037] 電解沉積所用電解液組成:CuSO4為100g/L,分析純明膠40mg/L,HCl為40mg/L,使用去離子水配制電解液,使用分析純H2SO4將電解液的pH調(diào)節(jié)為1。[0038] 陽極和陰極分別為為銥鉭鈦板和純鈦板。[0039] 電解沉積工藝參數(shù):直流電解方式電鍍銅箔,其電流密度為30mA/cm2;陰極與陽極間距為10cm,平行并且中心對稱放置,陽極與陰極面積大小比值為4:1;電解溫度為25℃;采用水泵進(jìn)行電解液循環(huán),水泵功率為30W;直流電解沉積時(shí)間為14min。[0040] 2.對納米孿晶銅箔進(jìn)行退火處理:[0041] 使用氬氣為保護(hù)氣氛對納米孿晶銅箔進(jìn)行退火處理,退火條件:退火溫度為400℃,退火時(shí)間為10分鐘。[0042] 所制備的電解銅箔,采用稱重法測得其厚度為12.0μm,沿著該銅箔厚度方向分布的平均晶粒數(shù)量為9.3個(gè),采用截線法平行銅箔表面統(tǒng)計(jì)晶粒尺寸,其平均晶粒尺寸為0.9微米,厚度與晶粒尺寸的比值為13.3。晶粒內(nèi)部含有孿晶片層結(jié)構(gòu),利用截線法垂直孿晶界方向統(tǒng)計(jì)得到平均孿晶片層厚度為0.25微米,如圖1所示。[0043] 所制備的電解銅箔具有較強(qiáng)的(111)織構(gòu),如圖2中曲線1所示。[0044] 本實(shí)施例中,所制備的電解銅箔的室溫拉伸結(jié)果如圖3中的曲線1所示。測試條件為:拉伸測試式樣利用普通刀片裁剪而成,其長×寬為50mm×12mm,采用萬能試驗(yàn)機(jī)5848測試?yán)煨阅埽焖俾蕿?0mm/min。該銅箔材料的性能在于:純度99.995±0.005%,銅箔的抗拉強(qiáng)度為361±8MPa,斷裂延伸率為5.3±0.3%。[0045] 實(shí)施例2[0046] 與實(shí)施例1不同之處在于:[0047] 退火條件:退火溫度為450℃,退火時(shí)間為10分鐘。[0048] 所制備的高延伸性電解銅箔,采用稱重法測得其厚度為11.7μm,其特征在于:沿著該銅箔厚度方向分布的平均晶粒數(shù)量為6.3個(gè),采用截線法平行銅箔表面統(tǒng)計(jì)晶粒尺寸,其平均晶粒尺寸為1.1微米,厚度與晶粒尺寸的比值為10.6。晶粒內(nèi)部含有孿晶片層結(jié)構(gòu),利用截線法垂直孿晶界方向統(tǒng)計(jì)得到平均孿晶片層厚度為0.3微米,如圖4所示。[0049] 所制備的電解銅箔具有較強(qiáng)的(111)織構(gòu),如圖2中曲線2所示。[0050] 本實(shí)施例中,所制備的高延伸性電解銅箔的室溫拉伸結(jié)構(gòu)如圖3中曲線2所示。該銅箔材料的性能在于:純度99.995±0.005%,抗拉強(qiáng)度為274±5MPa,斷裂延伸率為10.2±2.2%。

[0051] 實(shí)施例3[0052] 與實(shí)施例1不同之處在于:[0053] 退火條件:退火溫度為500℃,退火時(shí)間為10分鐘。[0054] 所制備的電解銅箔,采用稱重法測得其厚度為12.4μm,其特征在于:沿著該銅箔厚度方向分布的平均晶粒數(shù)量為2.4個(gè),采用截線法平行銅箔表面統(tǒng)計(jì)晶粒尺寸,其平均晶粒尺寸為5.0微米,厚度與晶粒尺寸的比值為2.5。晶粒內(nèi)部含有孿晶片層結(jié)構(gòu),利用截線法垂直孿晶界方向統(tǒng)計(jì)得到平均孿晶片層厚度為0.74微米,如圖5所示。[0055] 所制備的電解銅箔具有較強(qiáng)的(111)織構(gòu),如圖2中曲線3所示。[0056] 本實(shí)施例中,所制備的高延伸性電解銅箔室溫拉伸結(jié)構(gòu)如圖3中曲線3所示。該銅箔材料的性能在于:純度99.995±0.005%,抗拉強(qiáng)度為191±10MPa,斷裂延伸率為14.4±1.1%。

[0057] 比較例1[0058] 印制板金屬箔標(biāo)準(zhǔn)IPC?4562中,室溫(23℃)下,高延伸性電解銅箔的要求如下:厚度為17.1μm時(shí),延伸率為5%,抗拉強(qiáng)度為207MPa。[0059] 比較例2[0060] 鋰離子電池用電解銅箔行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T11483?2014中,室溫下,電解銅箔的要求如下:LBEC?01銅箔,厚度為8?20μm時(shí),其延伸率為3.0%,抗拉強(qiáng)度為294MPa;LBEC?02銅箔,厚度為8?12μm時(shí),其延伸率為為2.5%,抗拉強(qiáng)度為300MPa;LBEC?03,厚度為9?12μm時(shí),其延伸率為2.5%,抗拉強(qiáng)度為300MPa。[0061] 經(jīng)對比發(fā)現(xiàn),本發(fā)明制備的高延伸性銅箔的延伸率和抗拉強(qiáng)度遠(yuǎn)超過印制板金屬箔標(biāo)準(zhǔn)IPC?4562中高延伸性電解銅箔的要求,因此在電路板(PCB)行業(yè)中尤其對于柔性電路板領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。與此同時(shí),實(shí)施例1中高延伸性銅箔的強(qiáng)度遠(yuǎn)高于鋰離子電解銅箔標(biāo)準(zhǔn)SJ/T11483?2014的要求,這表明本發(fā)明高延伸性銅箔在鋰離子電池領(lǐng)域也具有廣闊的應(yīng)用前景。



聲明:
“高延伸性電解銅箔及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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