本發(fā)明涉及超細(xì)高純石英材料的制備方法,其工 藝為:采用國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)脈石英礦(SiO2≥99%)為原料,經(jīng)粗碎、靜電選法去雜、超細(xì)粉碎、高梯度磁選法去雜、微波處理、絡(luò)合法去雜以及后處理等工序生產(chǎn)電子級(jí)和微電子級(jí)超細(xì)高純石英
新材料,其制備工藝采用靜電選法、高梯度磁選法、微波處理和絡(luò)合法等先進(jìn)技術(shù)去除雜質(zhì),該方法使SiO2含量達(dá)99.99-99.999%,雜質(zhì)含量<100ppm,粒度800-2500目,符合電子級(jí)、微電子級(jí)使用要求,產(chǎn)品以其優(yōu)異的性能應(yīng)用于電子元件、微電子元件及集成電路的高檔塑封材料等。
聲明:
“采用脈石英制備超細(xì)高純石英材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)