一種半導(dǎo)體領(lǐng)域用高品質(zhì)石英砂的制備方法,其主要包括粉碎、篩分、磁選、預(yù)熱、高溫氯化、酸化、
浮選、清洗、烘干、冷卻、包裝等步驟,其中在高溫條件下通入氯化氫氣體進行氯洗;在高溫氯化前采用高溫預(yù)熱的方式,使高溫氯化時物料的溫度迅速能夠達到氯化工藝要求的溫度,對石英砂中的堿金屬等雜質(zhì)的去除有很好的效果;酸化選用氫氟酸與鹽酸混合作為酸化液,能夠去除石英砂中的晶格及非晶格雜質(zhì);浮選選用胺類及石油磺酸鈉為
捕收劑,松醇油為起泡劑,用鹽酸和硫酸為調(diào)整劑,反浮選的方式選出石英砂中的長石及云母等硅酸鹽礦物。采用本發(fā)明的制備方法,可以從天然石英礦物中批量生產(chǎn)出半導(dǎo)體領(lǐng)域用高品質(zhì)石英砂,替代進口,填補國內(nèi)空白。
聲明:
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我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)