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具有恒溫控制功能的半導(dǎo)體激光器件及其制造方法

1152   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-04 00:30:05
一種具有恒溫控制功能的半導(dǎo)體激光器件的制造方法,是在現(xiàn)有半導(dǎo)體激光器芯片制造技術(shù)的基礎(chǔ)上,將半導(dǎo)體激光器芯片、半導(dǎo)體熱電制冷器、負(fù)溫度系數(shù)的熱敏電阻有機(jī)地集成在一體。包括:半導(dǎo)體襯底、第一層二氧化硅層、n型緩沖層、n+歐母接觸層、n電極、n型帽層、p型帽層、P電極、p+歐母接觸層、集成TEC熱電致冷器、半導(dǎo)體激光器有源區(qū)、第二層二氧化硅層、NTC薄膜電阻、NTC薄膜電阻金屬電極、熱電致冷器球型電極。達(dá)到溫度精確控制、高可靠的目的,以解決半導(dǎo)體激光器光電性能參數(shù)的精準(zhǔn)控制。廣泛應(yīng)用于環(huán)境氣氛探測(cè)、通訊、航天、航空、船舶、精密儀器、地質(zhì)勘探、石油勘探、野外作業(yè)、工業(yè)控制等領(lǐng)域,具有廣闊的市場(chǎng)前景。
聲明:
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