本發(fā)明公開(kāi)了一種鈷酸鍶薄膜材料的制備方法,對(duì)鈷酸鍶薄膜材料的磁、電性能進(jìn)行研究。首先采用球磨法制備鈷酸鍶粉末樣品,然后將該粉末樣品干燥并制成塊狀靶材,最后用脈沖激光沉積法將塊狀靶材沉積在襯底上并退火,得到鈷酸鍶薄膜材料。本發(fā)明采用球磨法制得的鈷酸鍶粉末混合比較均勻、粒徑均勻度高,球磨法具有操作簡(jiǎn)單、條件溫和、易控制等特點(diǎn);用脈沖激光沉積法沉積的鈷酸鍶薄膜,具有質(zhì)量好、均勻性高和材料組分穩(wěn)定等特點(diǎn),同時(shí)采用晶格常數(shù)相近及同為
鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的襯底上制得的鈷酸鍶薄膜結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定,而且在鈷酸鍶薄膜樣品觀測(cè)到其金屬?半導(dǎo)體轉(zhuǎn)變過(guò)程。
聲明:
“鈷酸鍶薄膜材料的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)