權(quán)利要求書： 1.一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段、儲(chǔ)液箱；

所述發(fā)生段與提純段相互連接，所述發(fā)生段設(shè)置有廢液積蓄部的廢氣輸入口c、廢氣布?xì)夤堋⒗淠龔U液的加熱盤管、凝結(jié)廢液排出口d以及設(shè)置于廢液積蓄部的第一液位傳感器，所述凝結(jié)廢液排出口d連接于排液泵，所述加熱盤管連接于低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器、膨脹閥；

提純單元由多個(gè)所述提純段串聯(lián)而成，所述提純單元出口連接于所述凝結(jié)段，所述提純段設(shè)置有組合式冷凝器、溢流管、第二液位傳感器以及設(shè)置于提純段底部的鼓泡塔板，所述組合式冷凝器的冷源入口b、冷源出口a分別連接至所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)相對(duì)應(yīng)的低溫載冷劑出口b、低溫載冷劑進(jìn)口a；

所述凝結(jié)段出口連接于所述儲(chǔ)液箱，所述儲(chǔ)液箱內(nèi)設(shè)置有過(guò)冷盤管、第三液位傳感器，所述儲(chǔ)液箱上分別設(shè)置有儲(chǔ)液箱進(jìn)氣口h、儲(chǔ)液箱抽真空口f以及儲(chǔ)液箱抽真空口f′；

所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢液處理過(guò)程中的熱源和冷源，所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中的蒸發(fā)器連接于壓縮機(jī)，所述壓縮機(jī)連接于輔助散熱器，所述輔助散熱器通過(guò)節(jié)流閥連接于蒸發(fā)器；

所述凝結(jié)段內(nèi)部冷凝器采用耐腐蝕金屬管翅式換熱器；

提純段進(jìn)入的高濃度氣體通過(guò)布熱管均勻地與管翅式換熱器接觸；

所述凝結(jié)段設(shè)置有調(diào)節(jié)液體凝結(jié)量的冷凝器載冷劑進(jìn)口流量控制閥；

所述凝結(jié)段頂部設(shè)置有不凝性氣體排出口g；

所述發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲(chǔ)液箱均為閉式系統(tǒng)且采用負(fù)壓運(yùn)行。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述儲(chǔ)液箱與所述凝結(jié)段之間采用U型液體密封。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述提純段采用模塊化結(jié)構(gòu)，提純段之間通過(guò)法蘭抱箍快速連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述提純段內(nèi)持液高度與段間壓差通過(guò)調(diào)節(jié)鼓泡塔板開孔率與組合式冷凝器進(jìn)口載冷劑流量調(diào)節(jié)控制閥控制。

5.一種低溫廢氣處理回收方法，采用根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，該方法利用負(fù)壓運(yùn)行的封閉式系統(tǒng)進(jìn)行處理，通過(guò)低溫冷凝對(duì)有毒有害高濃度氣體的液化處理并回收其中低沸點(diǎn)組分。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種低溫廢氣處理回收方法，其特征在于，所述封閉式系統(tǒng)包括依次連接的發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲(chǔ)液箱。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種低溫廢氣處理回收方法，其特征在于，廢液積蓄部的廢氣輸入口c輸入的介質(zhì)經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器處理后再通過(guò)廢氣布?xì)夤芄呐葸M(jìn)入發(fā)生段，發(fā)生段內(nèi)經(jīng)過(guò)溢流管回流入發(fā)生段積液部廢液的溫度由熱泵冷凝熱控制恒溫，發(fā)生溫度與內(nèi)部壓力相對(duì)應(yīng)，發(fā)生溫度通過(guò)低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器調(diào)節(jié)，發(fā)生段排液由積液部液體濃度與液位判斷并通過(guò)排液泵排出。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種低溫廢氣處理回收方法，其特征在于，所述提純段、凝結(jié)段的冷量需求通過(guò)低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，該低溫?zé)岜孟到y(tǒng)同時(shí)提供發(fā)生段內(nèi)恒溫控制所需熱量，低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中多余能量的平衡通過(guò)輔助散熱器散熱；

載冷劑循環(huán)系統(tǒng)設(shè)置有載冷劑儲(chǔ)箱、與載冷劑儲(chǔ)箱連接的載冷劑循環(huán)泵，所述載冷劑循環(huán)泵連接于第十四調(diào)節(jié)閥。

說(shuō)明書： 一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)及方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及工業(yè)廢氣處理領(lǐng)域，尤其涉及一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)[0002] 隨著我國(guó)對(duì)于環(huán)保要求的逐年提高，對(duì)于工業(yè)領(lǐng)域的廢氣處理要求也日趨嚴(yán)格。傳統(tǒng)的廢氣處理技術(shù)已不能滿足各種有毒、有害的有機(jī)氣體處置需求，同時(shí)各地對(duì)于企業(yè)都提出了零排放的要求，傳統(tǒng)的燃燒法，吸附法等都會(huì)產(chǎn)生二次的排放或固廢，因此對(duì)工業(yè)廢氣進(jìn)行物理處理回收，實(shí)現(xiàn)資源回用將是工業(yè)企業(yè)的必然選擇。針對(duì)目前企業(yè)工業(yè)廢氣中高濃度、有毒的廢氣處理回用的實(shí)際需求，開發(fā)了利用低溫?zé)岜米鳛槟芰框?qū)動(dòng)的工業(yè)廢氣處理回收系統(tǒng)，設(shè)備布置靈活，利用載冷劑作為冷卻媒介實(shí)現(xiàn)工業(yè)廢氣的凝結(jié)液化，系統(tǒng)在負(fù)壓下運(yùn)行、適合于有毒甚至是劇毒廢氣的處理，大大減少常規(guī)廢氣處理的能耗，回收物料的再利用節(jié)省了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容[0003] 本發(fā)明旨在解決當(dāng)前半導(dǎo)體電子、化工領(lǐng)域里面一類不易通過(guò)燃燒法、洗滌法處理且具有回收利用價(jià)值的高濃度有毒有害廢氣，提供一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)及方法，其利用載冷劑作為冷凝介質(zhì)，在低溫度條件下(能夠?100℃以下)實(shí)現(xiàn)工業(yè)廢廢氣的冷凝提純，系統(tǒng)在負(fù)壓下運(yùn)行，適合于劇毒、易揮發(fā)、易腐蝕廢氣的處理，實(shí)現(xiàn)易揮發(fā)廢氣的回收再利用，進(jìn)行環(huán)保處理回收的同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)資源回收再利用，節(jié)省原料消耗量。[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段、儲(chǔ)液箱；[0005] 所述發(fā)生段與提純段相互連接，所述發(fā)生段設(shè)置有廢液積蓄部的廢氣輸入口c、廢氣布?xì)夤堋⒗淠龔U液的加熱盤管、凝結(jié)廢液排出口d以及設(shè)置于廢液積蓄部的第一液位傳感器，所述凝結(jié)廢液排出口d連接于排液泵，所述加熱盤管連接于低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器、膨脹閥；[0006] 提純單元由多個(gè)所述提純段串聯(lián)而成，所述提純單元出口連接于所述凝結(jié)段，所述提純段設(shè)置有組合式冷凝器、溢流管、第二液位傳感器以及設(shè)置于提純段底部的鼓泡塔板，所述組合式冷凝器的冷源入口b、冷源出口a分別連接至所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)相對(duì)應(yīng)的低溫載冷劑出口b、低溫載冷劑進(jìn)口a；[0007] 所述凝結(jié)段出口連接于所述儲(chǔ)液箱，所述儲(chǔ)液箱內(nèi)設(shè)置有過(guò)冷盤管、第三液位傳感器，所述儲(chǔ)液箱上分別設(shè)置有儲(chǔ)液箱進(jìn)氣口h、儲(chǔ)液箱抽真空口f、以及儲(chǔ)液箱抽真空口f′；[0008] 所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢氣處理過(guò)程中的熱源和冷源，所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中的蒸發(fā)器連接于壓縮機(jī)，所述壓縮機(jī)連接于輔助散熱器，所述輔助散熱器通過(guò)節(jié)流閥連接于蒸發(fā)器；[0009] 所述凝結(jié)段內(nèi)部冷凝器采用耐腐蝕金屬管翅式換熱器；[0010] 提純段進(jìn)入的高濃度氣體通過(guò)布熱管均勻地與管翅式換熱器接觸；[0011] 所述凝結(jié)段設(shè)置有調(diào)節(jié)液體凝結(jié)量的冷凝器載冷劑進(jìn)口流量控制閥；[0012] 所述凝結(jié)段頂部設(shè)置有不凝性氣體排出口g；[0013] 所述發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲(chǔ)液箱均為閉式系統(tǒng)且采用負(fù)壓運(yùn)行。[0014] 進(jìn)一步，所述儲(chǔ)液箱與所述凝結(jié)段之間采用U型液體密封，防止凝結(jié)段與儲(chǔ)液箱串氣。[0015] 進(jìn)一步，所述提純段采用模塊化結(jié)構(gòu)，提純段之間通過(guò)法蘭抱箍快速連接。提純段采用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，能夠按照處理廢氣的特性通過(guò)法蘭抱箍快速拆裝進(jìn)行增加或減少其數(shù)量。提純段內(nèi)布置組合式冷凝器，由金屬填料與金屬繞片盤管組合而成。

[0016] 進(jìn)一步，所述提純段內(nèi)持液高度與段間壓差通過(guò)調(diào)節(jié)鼓泡塔板開孔率與組合式冷凝器進(jìn)口載冷劑流量調(diào)節(jié)控制閥控制，通過(guò)調(diào)節(jié)溢流管高度避免提純段內(nèi)液泛與漏液。[0017] 一種低溫廢氣處理回收方法，采用上述的低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，該方法利用負(fù)壓運(yùn)行的封閉式系統(tǒng)進(jìn)行處理，通過(guò)低溫冷凝對(duì)有毒有害高濃度氣體的液化處理并回收其中低沸點(diǎn)組分。[0018] 進(jìn)一步，所述封閉式系統(tǒng)包括依次連接的發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲(chǔ)液箱。本發(fā)明的低溫廢氣處理系統(tǒng)采用純物理的方式，通過(guò)低溫冷凝實(shí)現(xiàn)對(duì)有毒有害高濃度廢氣體的液化處理并回收其中低沸點(diǎn)組份。氣體處理系統(tǒng)負(fù)壓運(yùn)行，發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲(chǔ)液箱均為閉式系統(tǒng)，大大降低系統(tǒng)處理過(guò)程中有毒甚至是劇毒廢氣對(duì)環(huán)境泄漏污染的風(fēng)險(xiǎn)。[0019] 進(jìn)一步，廢液積蓄部的廢氣輸入口c輸入的介質(zhì)經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器處理后再通過(guò)廢氣布?xì)夤芄呐葸M(jìn)入發(fā)生段，發(fā)生段內(nèi)經(jīng)過(guò)溢流管回流入發(fā)生段積液部廢液的溫度由熱泵冷凝熱控制恒溫，發(fā)生溫度與內(nèi)部壓力相對(duì)應(yīng)，發(fā)生溫度通過(guò)低溫?zé)岜孟到y(tǒng)輔助散熱器調(diào)節(jié)，發(fā)生段排液由積液部液體濃度與液位判斷并通過(guò)排液泵排出。[0020] 進(jìn)一步，所述提純段、凝結(jié)段的冷量需求通過(guò)低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，該低溫?zé)岜孟到y(tǒng)同時(shí)提供發(fā)生段內(nèi)恒溫控制所需熱量，低溫?zé)岜弥卸嘤嗄芰康钠胶馔ㄟ^(guò)輔助散熱器散熱；載冷劑循環(huán)系統(tǒng)設(shè)置有載冷劑儲(chǔ)箱、與載冷劑儲(chǔ)箱連接的載冷劑循環(huán)泵，所述載冷劑循環(huán)泵連接于第十四調(diào)節(jié)閥,載冷劑循環(huán)系統(tǒng)通過(guò)載冷劑儲(chǔ)箱與旁通調(diào)節(jié)閥用于控制調(diào)節(jié)載冷劑流量波動(dòng)與溫度變化造成的載冷劑體積波動(dòng)。

[0021] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)為：[0022] 1、該有毒廢氣處理系統(tǒng)采用純物理的方式，通過(guò)低溫冷凝實(shí)現(xiàn)對(duì)有毒氣體的液化回收，避免了燃燒處理高能耗及燃燒尾氣排放二次處理。氣體處理系統(tǒng)負(fù)壓運(yùn)行，回收提純系統(tǒng)、儲(chǔ)液系統(tǒng)均為閉式循環(huán)，大大降低系統(tǒng)處理過(guò)程中有毒甚至是劇毒廢氣對(duì)環(huán)境泄漏污染的風(fēng)險(xiǎn)。[0023] 2、系統(tǒng)采用低溫載冷劑對(duì)有毒廢氣實(shí)現(xiàn)冷凝，利用不同氣體的沸點(diǎn)差異可以實(shí)現(xiàn)對(duì)低沸點(diǎn)組份的回收，回收提純系統(tǒng)內(nèi)采用多級(jí)鼓泡冷凝提純，提純系統(tǒng)每層提純塔板依靠溢流高度與開孔率實(shí)現(xiàn)不同層級(jí)壓差控制。[0024] 3、提純段采用抱箍快速拆裝的形式組裝在一起，每節(jié)提純段為標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)能夠根據(jù)廢氣物性按需要進(jìn)行增減，系統(tǒng)每級(jí)提純段內(nèi)通過(guò)調(diào)節(jié)載冷劑流量控制液位，實(shí)現(xiàn)對(duì)冷凝量的控制，溢流管高度及鼓泡塔板開孔率可以便捷調(diào)節(jié)用于避免提純段漏液或淹沒(méi)。[0025] 4、提純段內(nèi)組合式冷凝器采用耐腐金屬填料與換熱管束的組合形式構(gòu)成，具有低阻力高換熱效率的特點(diǎn)，同時(shí)金屬填料同時(shí)具有提高提純效率與對(duì)鼓泡進(jìn)行消沫效果。[0026] 5、廢氣回收系統(tǒng)采用的冷源與熱源由低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，提純段與凝結(jié)段氣體凝結(jié)所需的冷量由低溫?zé)岜脵C(jī)組對(duì)載冷劑進(jìn)行降溫提供至冷凝器內(nèi)，同時(shí)低溫?zé)岜脵C(jī)組的冷凝熱提供底部發(fā)生段所需的熱量保證足夠的發(fā)生氣體上升提純回收，多余的熱量由輔助換熱機(jī)器散至環(huán)境中，系統(tǒng)冷熱能量得到綜合利用大大提高系統(tǒng)的運(yùn)行能效。[0027] 6、冷凝盤管能夠流通不同的載冷劑，通過(guò)采用不同的載冷劑如酒精，液氮等能夠使系統(tǒng)冷凝溫度低至?100℃以下，用于回收處理一些低沸點(diǎn)氣體。[0028] 7、系統(tǒng)儲(chǔ)液系統(tǒng)采用低溫載冷劑盤管維持儲(chǔ)液液體足夠過(guò)冷度，避免二次汽化，真空維持系統(tǒng)在儲(chǔ)液箱設(shè)置抽氣口避免抽取處理廢氣，用于維持真空度及排除不凝性氣體，最終排出微量氣體采用高溫燃燒器與吸附的復(fù)合裝置用于處理排放氣體。[0029] 8、發(fā)生段內(nèi)設(shè)至加熱盤管，利用低溫?zé)岜美淠鳟a(chǎn)生的熱量進(jìn)行維持凝結(jié)廢液恒定的汽化發(fā)生溫度，發(fā)生溫度依據(jù)發(fā)生器內(nèi)壓力自動(dòng)控制，通過(guò)低溫?zé)岜幂o助散熱器調(diào)節(jié)低溫?zé)岜眉訜岜P管加熱量實(shí)現(xiàn)溫度控制。[0030] 9、發(fā)生段內(nèi)進(jìn)氣通過(guò)微孔布?xì)獗P管實(shí)現(xiàn)，通過(guò)布?xì)饪粘鰜?lái)的廢氣進(jìn)氣與發(fā)生段內(nèi)儲(chǔ)液密切接觸后上升進(jìn)入提純段，同時(shí)發(fā)生段內(nèi)設(shè)置液位及濃度檢測(cè)傳感器，依據(jù)凝結(jié)廢測(cè)得液位及濃度自動(dòng)判定排液電磁閥及排液泵是否啟動(dòng)。附圖說(shuō)明[0031] 圖1為本發(fā)明實(shí)施例中一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)示意圖。[0032] 附圖標(biāo)記說(shuō)明：壓縮機(jī)1、輔助散熱器2、節(jié)流閥3、蒸發(fā)器4、載冷劑儲(chǔ)箱5、載冷劑循環(huán)泵6、低溫載冷劑進(jìn)口a、低溫載冷劑出口b、發(fā)生段7、提純段8、凝結(jié)段9、儲(chǔ)液箱10、除沫器11、精餾裝置12、排液泵13、干燥過(guò)濾器15；

[0033] 第一排液閥14?1、第二控制閥14?2、第三調(diào)節(jié)控制閥14?3、第四調(diào)節(jié)控制閥14?4、第五調(diào)節(jié)控制閥14?5、第六控制閥門14?6、第七控制閥14?7、冷凝器載冷劑進(jìn)口流量控制閥14?8、第九調(diào)節(jié)閥門14?9、第十控制閥14?10、第十一閥門14?11、第十二控制閥14?12、第十三控制閥14?13、第十四調(diào)節(jié)閥14?14、第十五控制閥14?15；

[0034] 加熱盤管7?1、第一液位傳感器7?2、廢氣布?xì)夤??3、廢氣輸入口c、凝結(jié)廢液排出口d；[0035] 組合式冷凝器8?1、冷源出口a、冷源入口b、溢流管8?2、第二液位傳感器8?3、鼓泡塔板8?4；[0036] 管翅式換熱器9?1、冷凝器載冷劑出口a、冷凝器載冷劑進(jìn)口b、布熱管9?2；[0037] 過(guò)冷盤管10?1、第三液位傳感器10?2、儲(chǔ)液箱進(jìn)氣口h、儲(chǔ)液箱抽真空口f、儲(chǔ)液箱抽真空口f′、儲(chǔ)液箱外接口e。具體實(shí)施方式[0038] 下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明所采用的技術(shù)方案作進(jìn)一步的說(shuō)明。[0039] 如圖1，一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括發(fā)生段7、提純段8、凝結(jié)段9、儲(chǔ)液箱10、低溫?zé)岜孟到y(tǒng)。[0040] 結(jié)合圖1，所述發(fā)生段7與提純段8相互連接，所述發(fā)生段7設(shè)置有廢液積蓄部的廢氣輸入口c、廢氣布?xì)夤??3、冷凝廢液的加熱盤管7?1、凝結(jié)廢液排出口d以及設(shè)置于廢液積蓄部的第一液位傳感器7?2，所述凝結(jié)廢液排出口d連接于排液泵13，所述加熱盤管7?1連接于低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器2、膨脹閥3，發(fā)生段7用于處理廢氣的進(jìn)氣與均勻布?xì)夤呐?，?shí)現(xiàn)利用回流液提純冷卻進(jìn)入的廢氣，所述發(fā)生段7內(nèi)的溫度依據(jù)處理成分的溫度精確控制，采用冷凝廢液的加熱盤管7?1實(shí)現(xiàn)。[0041] 提純單元由多個(gè)所述提純段8串聯(lián)而成，提純段8僅僅示出了三層進(jìn)行示意性說(shuō)明，現(xiàn)場(chǎng)可以根據(jù)需要調(diào)整提純段8的數(shù)量。所述提純單元出口連接于所述凝結(jié)段9，所述提純段8設(shè)置有組合式冷凝器8?1、溢流管8?2、第二液位傳感器8?3以及設(shè)置于提純段8底部的鼓泡塔板8?4，所述組合式冷凝器8?1的冷源入口b、冷源出口a分別連接至低溫?zé)岜孟到y(tǒng)相對(duì)應(yīng)的低溫載冷劑出口b、低溫載冷劑進(jìn)口a。[0042] 所述凝結(jié)段9出口連接于所述儲(chǔ)液箱10，所述儲(chǔ)液箱內(nèi)設(shè)置有過(guò)冷盤管10?1、第三液位傳感器10?2，儲(chǔ)液箱10與所述凝結(jié)段9之間采用U型液體密封，所述儲(chǔ)液箱10上分別設(shè)置有儲(chǔ)液箱進(jìn)氣口h、儲(chǔ)液箱抽真空口f以及儲(chǔ)液箱抽真空口f′，儲(chǔ)液箱抽真空口f外接管路安裝有第十控制閥14?10，儲(chǔ)液箱抽真空口f′外接管路安裝有第十五控制閥14?15(由于儲(chǔ)液箱10被柔性膜隔開了，膜的兩側(cè)都要抽真空，故而這里出現(xiàn)了儲(chǔ)液箱抽真空口f、儲(chǔ)液箱抽真空口f′)，儲(chǔ)液箱10底部安裝有帶第十三控制閥14?13的儲(chǔ)液箱外接口e。所述儲(chǔ)液箱10內(nèi)部設(shè)置低溫過(guò)冷盤管10?1用于防止凝結(jié)液二次汽化，過(guò)冷溫度依據(jù)儲(chǔ)液箱10內(nèi)壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)過(guò)冷盤管10?1內(nèi)液體載冷劑流量控制閥(將其界定為第十二控制閥14?12)實(shí)現(xiàn)。[0043] 所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢液處理過(guò)程中的熱源和冷源，所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中的蒸發(fā)器4連接于壓縮機(jī)1，所述壓縮機(jī)1連接于輔助散熱器2，所述輔助散熱器2通過(guò)節(jié)流閥3連接于蒸發(fā)器4。

[0044] 本實(shí)施例中，發(fā)生段7內(nèi)的積液部分液體來(lái)源于進(jìn)口廢氣的冷卻凝結(jié)與上層提純段8的回流，單檢測(cè)液位與濃度達(dá)到設(shè)定值打開第一排液閥14?1由排液泵13作為廢液排出。發(fā)生段7產(chǎn)生的蒸汽經(jīng)鼓泡塔板8?4鼓泡進(jìn)入提純段8，鼓泡塔板8?4上下的差壓使鼓泡塔板

8?4上維持一定的液位，液位高度由提純段8內(nèi)安裝的溢流管8?2高度決定。提純段8內(nèi)每層塔板上的持液濃度與鼓泡蒸汽濃度越來(lái)越高，最終高純的蒸汽進(jìn)入凝結(jié)段9作為回收物料進(jìn)行凝結(jié)回收。提純段8與凝結(jié)段9中設(shè)置第六控制閥門14?6，初始運(yùn)行時(shí)當(dāng)提純段8每層塔板積液高度、產(chǎn)生蒸汽濃度達(dá)到要求后打開開始回收物料。系統(tǒng)可能輸入或泄漏進(jìn)的不凝性氣體由凝結(jié)段9內(nèi)不凝性氣體排出口g排出，避免劇毒氣體泄漏，排出氣體經(jīng)燃燒及吸附再處理。凝結(jié)段9中凝結(jié)的液體通過(guò)重力排液至儲(chǔ)液箱10中，當(dāng)儲(chǔ)液箱10中第三液位傳感機(jī)器10?2達(dá)到設(shè)定液位時(shí)關(guān)閉第十一閥門14?11，第九調(diào)節(jié)閥門14?9，升高儲(chǔ)液箱10壓力，依靠重力將回收的低溫液體物料排出回收。

[0045] 本實(shí)施例中，所述提純段8內(nèi)持液高度與段間壓差通過(guò)調(diào)節(jié)鼓泡塔板8?4開孔率與組合式冷凝器8?1進(jìn)口載冷劑流量調(diào)節(jié)控制閥控制，將提純段8自下而上各自安裝的調(diào)節(jié)控制閥分別界定為第三調(diào)節(jié)控制閥14?3、第四調(diào)節(jié)控制閥14?4、第五調(diào)節(jié)控制閥14?5。[0046] 所述凝結(jié)段9內(nèi)部冷凝器采用耐腐蝕金屬管翅式換熱器9?1，提純段8進(jìn)入的高濃度氣體通過(guò)布熱管9?2均勻地與管翅式換熱器9?1接觸，所述凝結(jié)段9設(shè)置有調(diào)節(jié)液體凝結(jié)量的冷凝器載冷劑進(jìn)口流量控制閥14?8，所述凝結(jié)段9頂部設(shè)置有不凝性氣體排出口g，該不凝性氣體排出口g外接管路安裝有第七控制閥14?7。[0047] 吸收器出口所設(shè)除沫器11獲得的凝結(jié)液作為吸收器所設(shè)精餾裝置12回流液體。該系統(tǒng)利用工業(yè)低溫?zé)岜锰峁┕I(yè)廢氣處理所需的冷源與熱源，在低溫工況下利用載冷劑作為載體通過(guò)組合式冷凝器8?1對(duì)廢氣中的成分冷凝提純。[0048] 本發(fā)明中各控制閥的安裝位置在文中未表述時(shí)可參考圖1所示位置。[0049] 本發(fā)明提供的一種低溫廢氣處理回收方法，該方法利用負(fù)壓運(yùn)行的封閉式系統(tǒng)進(jìn)行處理，通過(guò)低溫冷凝對(duì)有毒有害高濃度氣體的液化處理并回收其中低沸點(diǎn)組分，而封閉式系統(tǒng)包括依次連接的發(fā)生段7、提純段8、凝結(jié)段9以及儲(chǔ)液箱10。廢液積蓄部的廢氣輸入口c輸入的介質(zhì)經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器15(干燥處理器前端連接有第二控制閥14?2)處理后再通過(guò)廢氣布?xì)夤??3鼓泡進(jìn)入發(fā)生段7，發(fā)生段7內(nèi)經(jīng)過(guò)溢流管8?2回流入發(fā)生段7積液部廢液的溫度由熱泵冷凝熱控制恒溫，發(fā)生溫度與內(nèi)部壓力相對(duì)應(yīng)，發(fā)生溫度通過(guò)低溫?zé)岜孟到y(tǒng)輔助散熱器2調(diào)節(jié)，發(fā)生段7排液由積液部液體濃度與液位判斷并通過(guò)排液泵13排出。所述提純段8、凝結(jié)段9的冷量需求通過(guò)低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，該低溫?zé)岜孟到y(tǒng)同時(shí)提供發(fā)生段7內(nèi)恒溫控制所需熱量，低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中多余能量的平衡通過(guò)輔助散熱器散熱，載冷劑循環(huán)系統(tǒng)設(shè)置有載冷劑儲(chǔ)箱5、與載冷劑儲(chǔ)箱5連接的載冷劑循環(huán)泵6，所述載冷劑循環(huán)泵6連接于第十四調(diào)節(jié)閥14?14。[0050] 低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢液處理過(guò)程中熱源與冷源，所述蒸發(fā)器4的制冷劑出口連接于壓縮機(jī)1的制冷劑進(jìn)口(用于冷卻載冷劑)，所述壓縮機(jī)1的制冷劑出口連接于輔助散熱器2的制冷劑進(jìn)口，所述加熱盤管7?1連接于輔助散熱器2的制冷劑出口(用于發(fā)生段7積液恒溫控制)，所述加熱盤管7?1出口通過(guò)節(jié)流閥3連接于蒸發(fā)器4。系統(tǒng)能量平衡之后產(chǎn)生多余的壓縮機(jī)1功率熱負(fù)荷通過(guò)輔助散熱器2散發(fā)。載冷劑循環(huán)系統(tǒng)中載冷劑循環(huán)泵6將載冷劑輸送至系統(tǒng)內(nèi)各個(gè)對(duì)應(yīng)接口b，各系統(tǒng)中設(shè)置調(diào)節(jié)閥(包括第三調(diào)節(jié)控制閥14?3、第四調(diào)節(jié)控制閥14?4、第五調(diào)節(jié)控制閥14?5、冷凝器載冷劑進(jìn)口流量控制閥14?8、第十二控制閥14?12)用于控制流量，載冷劑經(jīng)低溫載冷劑進(jìn)口a回至蒸發(fā)器4降溫，第十四調(diào)節(jié)閥14?14與儲(chǔ)液箱5用于調(diào)節(jié)系統(tǒng)載冷劑流量與體積變化。

[0051] 上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。