權(quán)利要求書： 1.硫化鋅真空氣相沉積爐，包括爐體，所述爐體內(nèi)設(shè)有清掃裝置，其特征在于：所述清掃裝置鉸接在爐體的側(cè)壁上且沿所述側(cè)壁翻轉(zhuǎn)，所述清掃裝置從氣相沉積爐的進口伸入所述氣相沉積爐內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硫化鋅真空氣相沉積爐，其特征在于：所述清掃裝置包括基座和刮刷機構(gòu)，所述基座鉸接在所述氣相沉積爐的側(cè)壁上，所述刮刷機構(gòu)固定在所述基座上且隨所述基座翻轉(zhuǎn)置于所述氣相沉積爐內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硫化鋅真空氣相沉積爐，其特征在于：所述刮刷機構(gòu)包括伸縮臂，所述伸縮臂的一端固定在所述基座上且與固定在所述基座上的壓縮機連通，所述伸縮臂的另一端固定毛刷。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硫化鋅真空氣相沉積爐，其特征在于：所述伸縮臂包括若干節(jié)相互套合的中空管，底部的一節(jié)所述中空管固定在所述基座上且與壓縮機連通。

說明書： 硫化鋅真空氣相沉積爐技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及一種氣相沉積爐，尤其涉及氣相沉積爐的清潔機構(gòu)的改進。背景技術(shù)[0002] 氣相沉積爐使用過程中會有部分物料殘留在爐壁上，因而必須要對爐壁定期進行清潔，現(xiàn)有的清潔方式是直接人工進行清潔，當(dāng)爐腔較大且深時人工清潔的強度大，清潔不

夠均勻，清潔時間長、效率低。

實用新型內(nèi)容

[0003] 為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種清潔速度快、效率高的硫化鋅真空氣相沉積爐。

[0004] 本實用新型采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)：硫化鋅真空氣相沉積爐，包括爐體，所述爐體內(nèi)設(shè)有清掃裝置，所述清掃裝置鉸接在爐體的側(cè)壁上且沿所述側(cè)壁翻轉(zhuǎn)，所述清掃裝置從

氣相沉積爐的進口伸入所述氣相沉積爐內(nèi)。

[0005] 所述清掃裝置包括基座和刮刷機構(gòu)，所述基座鉸接在所述氣相沉積爐的側(cè)壁上，所述刮刷機構(gòu)固定在所述基座上且隨所述基座翻轉(zhuǎn)置于所述氣相沉積爐內(nèi)。

[0006] 所述刮刷機構(gòu)包括伸縮臂，所述伸縮臂的一端固定在所述基座上且與固定在所述基座上的壓縮機連通，所述伸縮臂的另一端固定毛刷。

[0007] 所述伸縮臂包括若干節(jié)相互套合的中空管，所述底部的一節(jié)中空管固定在所述基座上且與壓縮機連通。

[0008] 相比現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型刮刷機構(gòu)包括伸縮臂，所述伸縮臂的一端固定在所述基座上且與固定在所述基座上的壓縮機連通，所述伸縮臂的另一端固定毛刷。使用時壓縮

機將高壓空氣打入伸縮臂中，使得伸縮臂伸展，需要反復(fù)清潔時則控制高壓空氣的氣壓，使

得伸縮臂沿高度方向反復(fù)伸縮，實現(xiàn)爐壁的清潔。全程僅需要單人操作轉(zhuǎn)動清掃裝置，對爐

體內(nèi)進行清潔，清潔效率更高。

附圖說明[0009] 圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；[0010] 圖中：1、爐體；2、毛刷；3、伸縮臂；4、基座；5、壓縮機；6、封門。具體實施方式[0011] 下面，結(jié)合附圖以及具體實施方式，對本實用新型做進一步描述，需要說明的是，在不相沖突的前提下，以下描述的各實施例之間或各技術(shù)特征之間可以任意組合形成新的

實施例。

[0012] 如圖1所示，硫化鋅真空氣相沉積爐，包括爐體1，所述爐體1內(nèi)設(shè)有清掃裝置，所述清掃裝置鉸接在爐體1的側(cè)壁上且沿所述側(cè)壁翻轉(zhuǎn)，所述清掃裝置從氣相沉積爐的進口伸

入所述氣相沉積爐內(nèi)。清掃裝置直接鉸接在進口處，與原本爐體1的封門6呈對稱分布，這樣

不會影響爐體1的封閉，在需要清潔時打開封門6，轉(zhuǎn)動清掃裝置，送入爐體1內(nèi)，進行清潔，

全程僅需要單人操作轉(zhuǎn)動清掃裝置，對爐體1內(nèi)進行清潔，清潔效率更高。

[0013] 所述清掃裝置包括基座4和刮刷機構(gòu)，所述基座4鉸接在所述氣相沉積爐的側(cè)壁上，所述刮刷機構(gòu)固定在所述基座4上且隨所述基座4翻轉(zhuǎn)置于所述氣相沉積爐內(nèi)。所述刮

刷機構(gòu)包括伸縮臂3，所述伸縮臂3的一端固定在所述基座4上且與固定在所述基座4上的壓

縮機5連通，所述伸縮臂3的另一端固定毛刷2。使用時壓縮機5將高壓空氣打入伸縮臂3中，

使得伸縮臂3伸展，需要反復(fù)清潔時則控制高壓空氣的氣壓，使得伸縮臂3沿高度方向反復(fù)

伸縮，實現(xiàn)爐壁的清潔。

[0014] 所述伸縮臂3包括若干節(jié)相互套合的中空管，所述底部的一節(jié)中空管固定在所述基座4上且與壓縮機5連通。當(dāng)壓縮機5打入空氣時，中空管隨高壓氣打入中空管伸出，實現(xiàn)

伸縮。當(dāng)不工作時多節(jié)中空管直接下落相互套合，不會占用大量空間，整體體積小。

[0015] 上述實施方式僅為本實用新型的優(yōu)選實施方式，不能以此來限定本實用新型保護的范圍，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型的基礎(chǔ)上所做的任何非實質(zhì)性的變化及替換均屬

于本實用新型所要求保護的范圍。