權(quán)利要求書： 1.一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐(1)，其特征在于：所述罩式退火爐(1)的頂端通過螺栓安裝設(shè)置有安裝板(2)，所述安裝板(2)的頂端開設(shè)有貫穿口，所述貫穿口的內(nèi)部固定連接有導(dǎo)氣管(3)，所述導(dǎo)氣管(3)的底端延伸至罩式退火爐(1)的內(nèi)部，所述導(dǎo)氣管(3)的內(nèi)部固定連接有限制片(4)，所述限制片(4)的頂端開設(shè)有氣口(5)，所述限制片(4)的頂端開設(shè)有多個(gè)螺紋安裝孔(15)，且多個(gè)螺紋安裝孔(15)以氣口(5)的圓心為原點(diǎn)進(jìn)行圓周排列，多個(gè)所述螺紋安裝孔(15)的內(nèi)部均設(shè)置有限位桿(6)，多個(gè)所述限位桿(6)的頂端設(shè)置有安裝盤(7)，所述安裝盤(7)的底端中心處固定連接有伸縮桿(8)，所述伸縮桿(8)的底端固定連接有陶瓷分隔片(9)，所述導(dǎo)氣管(3)的外壁靠近頂部邊緣處套設(shè)有過濾箱(11)，所述過濾箱(11)的前后兩側(cè)外表面均開設(shè)有過濾口，兩個(gè)所述過濾口的內(nèi)部均安裝設(shè)置有過濾網(wǎng)(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述安裝盤(7)的內(nèi)部安裝設(shè)置有彈簧(10)，所述彈簧(10)的頂端固定連接于安裝盤(7)的底面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述陶瓷分隔片(9)的半徑大于氣口(5)的半徑，且陶瓷分隔片(9)設(shè)置于氣口(5)的上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述安裝盤(7)頂端開設(shè)有多個(gè)貫穿孔，多個(gè)所述貫穿孔均開設(shè)于對(duì)應(yīng)的限位桿(6)上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：多個(gè)所述貫穿孔均貫穿限位桿(6)的底面，多個(gè)所述貫穿孔的內(nèi)部均插設(shè)有長(zhǎng)螺栓，多個(gè)所述長(zhǎng)螺栓均與對(duì)應(yīng)的螺紋安裝孔(15)螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述導(dǎo)氣管(3)的外壁套設(shè)有冷卻箱(13)，所述冷卻箱(13)的一側(cè)外表面貫穿設(shè)置有出氣管(14)。

說明書： 一種罩式退火爐排氣裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及計(jì)算機(jī)信號(hào)接收設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種罩式退火爐排氣裝置。

背景技術(shù)[0002] 退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能，熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換

成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注

入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底，

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理，退火爐是由專門為

加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的，退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖

維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60％。

[0003] 現(xiàn)有的罩式退火爐排氣裝置在使用時(shí)，需要用戶手動(dòng)對(duì)排氣口進(jìn)行操作，從而使其進(jìn)行排氣或封閉，由于退火爐排出的氣體帶有高溫和雜質(zhì)，會(huì)對(duì)操作人員造成困擾，同時(shí)

退火爐排出的熱氣往往摻雜有大量的機(jī)油，貿(mào)然排出會(huì)造成空氣污染，不利于節(jié)約和環(huán)保。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 1.要解決的技術(shù)問題[0005] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種罩式退火爐排氣裝置，它可以通過陶瓷分隔片的限制和彈簧的運(yùn)作，使陶瓷分隔片將氣口封閉，使得罩式退火

爐內(nèi)部與外界空氣不再流通，以保障內(nèi)部氣體的成分，避免外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受

到影響，通過過濾網(wǎng)來對(duì)排出的熱氣進(jìn)行過濾，減少其中的機(jī)油和雜質(zhì)。

[0006] 2.技術(shù)方案[0007] 為解決上述問題，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案：[0008] 一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐，所述罩式退火爐的頂端通過螺栓安裝設(shè)置有安裝板，所述安裝板的頂端開設(shè)有貫穿口，所述貫穿口的內(nèi)部固定連接有導(dǎo)氣管，

所述導(dǎo)氣管的底端延伸至罩式退火爐的內(nèi)部，所述導(dǎo)氣管的內(nèi)部固定連接有限制片，所述

限制片的頂端開設(shè)有氣口，所述限制片的頂端開設(shè)有多個(gè)螺紋安裝孔，且多個(gè)螺紋安裝孔

以氣口的圓心為原點(diǎn)進(jìn)行圓周排列，多個(gè)所述螺紋安裝孔的內(nèi)部均設(shè)置有限位桿，多個(gè)所

述限位桿的頂端設(shè)置有安裝盤，所述安裝盤的底端中心處固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿

的底端固定連接有陶瓷分隔片，所述導(dǎo)氣管的外壁靠近頂部邊緣處套設(shè)有過濾箱，所述過

濾箱的前后兩側(cè)外表面均開設(shè)有過濾口，兩個(gè)所述過濾口的內(nèi)部均安裝設(shè)置有過濾網(wǎng)。

[0009] 作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述安裝盤的內(nèi)部安裝設(shè)置有彈簧，所述彈簧的頂端固定連接于安裝盤的底面。

[0010] 作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述陶瓷分隔片的半徑大于氣口的半徑，且陶瓷分隔片設(shè)置于氣口的上方。

[0011] 作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述安裝盤頂端開設(shè)有多個(gè)貫穿孔，多個(gè)所述貫穿孔均開設(shè)于對(duì)應(yīng)的限位桿上方。

[0012] 作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，多個(gè)所述貫穿孔均貫穿限位桿的底面，多個(gè)所述貫穿孔的內(nèi)部均插設(shè)有長(zhǎng)螺栓，多個(gè)所述長(zhǎng)螺栓均與對(duì)應(yīng)的螺紋安裝孔螺紋連接。

[0013] 作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述導(dǎo)氣管的外壁套設(shè)有冷卻箱，所述冷卻箱的一側(cè)外表面貫穿設(shè)置有出氣管。

[0014] 3.有益效果[0015] 相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型提供了一種罩式退火爐排氣裝置，具有以下有益效果：

[0016] (1)、該罩式退火爐排氣裝置，通過陶瓷分隔片的限制，減少罩式退火爐內(nèi)部的氣壓，從而防止內(nèi)部氣壓過高，通過彈簧通過推動(dòng)伸縮桿來將陶瓷分隔片向下壓動(dòng)，使陶瓷分

隔片將氣口封閉，使得罩式退火爐內(nèi)部與外界空氣不再流通，以保障內(nèi)部氣體的成分，避免

外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受到影響。

[0017] (2)、該罩式退火爐排氣裝置，通過過濾網(wǎng)來對(duì)排出的熱氣進(jìn)行過濾，減少其中的機(jī)油和雜質(zhì)，同時(shí)熱氣通過冷卻箱冷卻后再?gòu)某鰵夤軐?dǎo)出，減少罩式退火爐所造成的污染，

提高了環(huán)保效果。

附圖說明[0018] 圖1為本實(shí)用新型的正視圖；[0019] 圖2為本實(shí)用新型安裝板的仰視圖；[0020] 圖3為本實(shí)用新型冷卻箱的剖視圖；[0021] 圖4為本實(shí)用新型安裝盤的正視圖；[0022] 圖5為本實(shí)用新型限制片的正視圖；[0023] 圖6為本實(shí)用新型彈簧的正視圖；[0024] 圖7為本實(shí)用新型限制片的正視圖。[0025] 圖中標(biāo)號(hào)說明：[0026] 1、罩式退火爐；2、安裝板；3、導(dǎo)氣管；4、限制片；5、氣口；6、限位桿；7、安裝盤；8、伸縮桿；9、陶瓷分隔片；10、彈簧；11、過濾箱；12、過濾網(wǎng)；13、冷卻箱；14、出氣管；15、螺紋安裝

孔。

具體實(shí)施方式[0027] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的

實(shí)施例，基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下

所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

[0028] 在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“上”、“下”、“內(nèi)”、“外”、“頂/底端”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型

和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)

造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目

的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

[0029] 在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“設(shè)置有”、“套設(shè)/接”、“連接”等，應(yīng)做廣義理解，例如“連接”，可以是固定連接，也可以

是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以

通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可

以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

[0030] 實(shí)施例：[0031] 請(qǐng)參閱圖1?7，一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐1，罩式退火爐1的頂端通過螺栓安裝設(shè)置有安裝板2，安裝板2的頂端開設(shè)有貫穿口，貫穿口的內(nèi)部固定連接有導(dǎo)

氣管3，導(dǎo)氣管3的底端延伸至罩式退火爐1的內(nèi)部，導(dǎo)氣管3的內(nèi)部固定連接有限制片4，限

制片4的頂端開設(shè)有氣口5，限制片4的頂端開設(shè)有多個(gè)螺紋安裝孔15，且多個(gè)螺紋安裝孔15

以氣口5的圓心為原點(diǎn)進(jìn)行圓周排列，多個(gè)螺紋安裝孔15的內(nèi)部均設(shè)置有限位桿6，多個(gè)限

位桿6的頂端設(shè)置有安裝盤7，安裝盤7的底端中心處固定連接有伸縮桿8，伸縮桿8的底端固

定連接有陶瓷分隔片9，導(dǎo)氣管3的外壁靠近頂部邊緣處套設(shè)有過濾箱11，過濾箱11的前后

兩側(cè)外表面均開設(shè)有過濾口，兩個(gè)過濾口的內(nèi)部均安裝設(shè)置有過濾網(wǎng)12。

[0032] 在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，通過陶瓷分隔片9的限制，當(dāng)罩式退火爐1啟動(dòng)時(shí)，內(nèi)部升溫，造成空氣膨脹，熱氣將陶瓷分隔片9頂起，使得一部分的熱氣流出，減少罩式退火

爐1內(nèi)部的氣壓，從而防止內(nèi)部氣壓過高，通過更換不同型號(hào)的彈簧10，可以滿足用戶對(duì)于

罩式退火爐1內(nèi)部不同氣壓的需求，當(dāng)熱氣流出后，內(nèi)部氣壓降低，彈簧10通過推動(dòng)伸縮桿8

來將陶瓷分隔片9向下壓動(dòng)，使陶瓷分隔片9將氣口5封閉，使得罩式退火爐1內(nèi)部與外界空

氣不再流通，以保障內(nèi)部氣體的成分，避免外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受到影響，同時(shí)由于

罩式退火爐1排出的熱氣裹挾有大量的機(jī)油，貿(mào)然排出會(huì)造成管道積油和空氣污染，通過過

濾網(wǎng)12來對(duì)排出的熱氣進(jìn)行過濾，減少其中的機(jī)油和雜質(zhì)，同時(shí)熱氣通過冷卻箱13冷卻后

再?gòu)某鰵夤?4導(dǎo)出，減少罩式退火爐1所造成的污染，提升了環(huán)保效果。

[0033] 具體的請(qǐng)結(jié)合圖所示，安裝盤7的內(nèi)部安裝設(shè)置有彈簧10，彈簧10的頂端固定連接于安裝盤7的底面。

[0034] 本實(shí)施例中，通過彈簧10來控制陶瓷分隔片9的打開或封閉狀態(tài)。[0035] 具體的請(qǐng)結(jié)合圖所示，陶瓷分隔片9的半徑大于氣口5的半徑，且陶瓷分隔片9設(shè)置于氣口5的上方。

[0036] 本實(shí)施例中，通過陶瓷分隔片9來控制氣口5的打開或封閉狀態(tài)。[0037] 具體的請(qǐng)結(jié)合圖所示，安裝盤7頂端開設(shè)有多個(gè)貫穿孔，多個(gè)貫穿孔均開設(shè)于對(duì)應(yīng)的限位桿6上方。

[0038] 本實(shí)施例中，通過貫穿孔來安裝長(zhǎng)螺栓，從而對(duì)限位桿6進(jìn)行安裝和固定。[0039] 具體的請(qǐng)結(jié)合圖所示，多個(gè)貫穿孔均貫穿限位桿6的底面，多個(gè)貫穿孔的內(nèi)部均插設(shè)有長(zhǎng)螺栓，多個(gè)長(zhǎng)螺栓均與對(duì)應(yīng)的螺紋安裝孔15螺紋連接。

[0040] 本實(shí)施例中，通過螺紋安裝孔15來對(duì)長(zhǎng)螺栓進(jìn)行安裝和固定，用戶可以借此來對(duì)限位桿6進(jìn)行安裝或拆卸。

[0041] 具體的請(qǐng)結(jié)合圖所示，導(dǎo)氣管3的外壁套設(shè)有冷卻箱13，冷卻箱13的一側(cè)外表面貫穿設(shè)置有出氣管14。

[0042] 本實(shí)施例中，通過冷卻箱13來對(duì)罩式退火爐1排出的熱氣進(jìn)行冷卻，再通過出氣管14排出。

[0043] 工作原理：通過陶瓷分隔片9的限制，當(dāng)罩式退火爐1啟動(dòng)時(shí)，內(nèi)部升溫，造成空氣膨脹，熱氣將陶瓷分隔片9頂起，使得一部分的熱氣流出，減少罩式退火爐1內(nèi)部的氣壓，從

而防止內(nèi)部氣壓過高，通過更換不同型號(hào)的彈簧10，可以滿足用戶對(duì)于罩式退火爐1內(nèi)部不

同氣壓的需求，當(dāng)熱氣流出后，內(nèi)部氣壓降低，彈簧10通過推動(dòng)伸縮桿8來將陶瓷分隔片9向

下壓動(dòng)，使陶瓷分隔片9將氣口5封閉，使得罩式退火爐1內(nèi)部與外界空氣不再流通，以保障

內(nèi)部氣體的成分，避免外界氣體流入造成產(chǎn)品品質(zhì)受到影響，同時(shí)由于罩式退火爐1排出的

熱氣裹挾有大量的機(jī)油，貿(mào)然排出會(huì)造成管道積油和空氣污染，通過過濾網(wǎng)12來對(duì)排出的

熱氣進(jìn)行過濾，減少其中的機(jī)油和雜質(zhì)，同時(shí)熱氣通過冷卻箱13冷卻后再?gòu)某鰵夤?4導(dǎo)出，

減少罩式退火爐1所造成的污染，提升了環(huán)保效果。

[0044] 本實(shí)用新型的控制方式是通過人工啟動(dòng)和關(guān)閉開關(guān)來控制，動(dòng)力元件的接線圖與電源的提供屬于本領(lǐng)域的公知常識(shí)，并且本實(shí)用新型主要用來保護(hù)機(jī)械裝置，所以本實(shí)用

新型不再詳細(xì)解釋控制方式和接線布置。

[0045] 以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用

新型的技術(shù)方案及其改進(jìn)構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍

內(nèi)。