權(quán)利要求書： 1.一種掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：下極靴；

第一安裝板，所述第一安裝板與所述下極靴的下表面貼合；

第二安裝板，所述第二安裝板可拆卸地安裝在所述第一安裝板上；

探頭，所述探頭設(shè)在所述第一安裝板和所述第二安裝板之間；

彈性件，所述彈性件分別與所述下極靴和所述第一安裝板相連，所述彈性件常驅(qū)動(dòng)所述第一安裝板貼合所述下極靴的下表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一安裝板的下表面和所述第二安裝板的上表面共同限定出定位槽，所述探頭配合在所述定位槽內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一安裝板上設(shè)有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下極靴的下端面的中心處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一安裝板的上表面設(shè)有卡槽，所述下極靴的下端卡合在所述卡槽內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈性件為拉簧且為兩個(gè)，兩個(gè)所述拉簧的下端分別與所述第一安裝板的兩端相連且兩個(gè)所述拉簧的上端均與所述下極靴相連，兩個(gè)所述拉簧的上端與所述下極靴的連接處在所述下極靴的周向上相對(duì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下極靴上設(shè)有兩個(gè)掛鉤，所述第一安裝板上設(shè)有凸耳，所述拉簧的上端鉤掛所述掛鉤且下端鉤掛所述凸耳。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二安裝板為用于阻擋和/或吸收電子的絕緣板。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述探頭包括探頭主體和電路板，所述第二安裝板上設(shè)有避讓口，所述探頭主體從所述避讓口露出。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二安裝板通過螺紋緊固件安裝在所述第一安裝板上。

10.一種掃描電鏡，其特征在于，包括根據(jù)權(quán)利要求1?9中任一項(xiàng)所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)。

說明書： 掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)和具有其的掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)和具有所述掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的掃描電鏡。

背景技術(shù)[0002] 掃描電鏡的工作原理為，在高真空的鏡筒中，由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會(huì)聚透鏡聚焦成細(xì)束后，在樣品表面逐點(diǎn)進(jìn)行掃描轟擊，產(chǎn)生一系列電子信息(二次電子、背反

射電子、透射電子、吸收電子等)，由探測(cè)器將各種電子信號(hào)接收后經(jīng)電子放大器放大后輸

入由顯像管柵極控制的顯像管，聚焦電子束對(duì)樣品表面掃描時(shí)，由于樣品不同部位表面的

物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使電子束激發(fā)出的電子信息

各不相同，導(dǎo)致顯像管的電子束強(qiáng)度也隨著不斷變化，最終在顯像管熒光屏上可以獲得一

幅與樣品表面結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的圖像。

[0003] 相關(guān)技術(shù)中的掃描電鏡的背散射探頭，安裝和更換非常不便，而且安裝時(shí)難以保證探頭安裝到位。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，該掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)具有拆裝方

便、可靠性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

[0005] 本實(shí)用新型還提出一種具有所述掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的掃描電鏡。[0006] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面的實(shí)施例提出一種掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，所述掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)包括：下極靴；第一安裝板，所述第

一安裝板與所述下極靴的下表面貼合；第二安裝板，所述第二安裝板可拆卸地安裝在所述

第一安裝板上；探頭，所述探頭設(shè)在所述第一安裝板和所述第二安裝板之間；彈性件，所述

彈性件分別與所述下極靴和所述第一安裝板相連，所述彈性件常驅(qū)動(dòng)所述第一安裝板貼合

所述下極靴的下表面。

[0007] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，具有拆裝方便、可靠性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

[0008] 另外，根據(jù)本實(shí)用新型上述實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)還可以具有如下附加的技術(shù)特征：

[0009] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第一安裝板的下表面和所述第二安裝板的上表面共同限定出定位槽，所述探頭配合在所述定位槽內(nèi)。

[0010] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第一安裝板上設(shè)有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下極靴的下端面的中心處。

[0011] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第一安裝板的上表面設(shè)有卡槽，所述下極靴的下端卡合在所述卡槽內(nèi)。

[0012] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述彈性件為拉簧且為兩個(gè)，兩個(gè)所述拉簧的下端分別與所述第一安裝板的兩端相連且兩個(gè)所述拉簧的上端均與所述下極靴相連，兩個(gè)所

述拉簧的上端與所述下極靴的連接處在所述下極靴的周向上相對(duì)。

[0013] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述下極靴上設(shè)有兩個(gè)掛鉤，所述第一安裝板上設(shè)有凸耳，所述拉簧的上端鉤掛所述掛鉤且下端鉤掛所述凸耳。

[0014] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第二安裝板為用于阻擋和/或吸收電子的絕緣板。

[0015] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述探頭包括探頭主體和電路板，所述第二安裝板上設(shè)有避讓口，所述探頭主體從所述避讓口露出。

[0016] 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第二安裝板通過螺紋緊固件安裝在所述第一安裝板上。

[0017] 根據(jù)本實(shí)用新型的第二方面的實(shí)施例提出一種掃描電鏡，所述掃描電鏡包括根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面的實(shí)施例所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)。

[0018] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡，通過利用根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面的實(shí)施例所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)，具有拆裝方便、可靠性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

[0019] 本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

附圖說明[0020] 本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

[0021] 圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0022] 圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0023] 圖3是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的剖視圖。[0024] 圖4是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的爆炸圖。[0025] 圖5是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)的爆炸圖。[0026] 附圖標(biāo)記：掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1、下極靴10、掛鉤11、配合部12、掛鉤螺栓13、第一安裝板20、通孔21、卡槽22、彈性槽23、凸耳24、定位環(huán)臺(tái)25、第二安裝板30、避

讓口31、探頭40、探頭主體41、電路板42、定位槽43、定位孔44、過孔45、彈性件50、螺紋緊固

件60。

具體實(shí)施方式[0027] 下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參

考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的

限制。

[0028] 在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位

或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或

元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限

制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。

在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。

[0029] 在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地

連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，

可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上

述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

[0030] 下面參考附圖描述根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1。[0031] 如圖1?圖5所示，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1包括下極靴10、第一安裝板20、第二安裝板30、探頭40和彈性件50。

[0032] 第一安裝板20與下極靴10的下表面貼合(上下方向如圖中的箭頭所示且僅為了便于表述，并非對(duì)于實(shí)際設(shè)置方向的限定)。第二安裝板30可拆卸地安裝在第一安裝板20上。

探頭40設(shè)在第一安裝板20和第二安裝板30之間。彈性件50分別與下極靴10和第一安裝板20

相連，彈性件50常驅(qū)動(dòng)第一安裝板20貼合下極靴10的下表面。

[0033] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1，通過設(shè)置第一安裝板20和第二安裝板30，將第二安裝板30可拆卸地安裝在第一安裝板20上，將探頭40設(shè)置在

第一安裝板20和第二安裝板30之間。這樣在需要拆卸探頭40時(shí)，只需將第二安裝板30從第

一安裝板20上拆卸下來即可將探頭40取下，實(shí)現(xiàn)探頭40的拆卸，在安裝探頭40時(shí)只需先將

探頭40放置在第二安裝板30上，再將探頭40和第二安裝板30一同安裝在第一安裝板20上。

相比相關(guān)技術(shù)中的掃描電鏡的探頭安裝結(jié)構(gòu)，掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1的探頭40

的安裝和更換更加方便快捷。

[0034] 并且，通過設(shè)置彈性件50，利用彈性件50常驅(qū)動(dòng)第一安裝板20貼合下極靴10，可以進(jìn)一步保證探頭40的安裝位置，保證探頭40與下極靴10的安裝位置，保證探頭40安裝到位，

提高探頭40安裝位置的準(zhǔn)確性和可靠性。

[0035] 因此，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1具有拆裝方便、可靠性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

[0036] 下面參考附圖描述根據(jù)本實(shí)用新型具體實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1。

[0037] 在本實(shí)用新型的一些具體實(shí)施例中，如圖1?圖5所示，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1包括下極靴10、第一安裝板20、第二安裝板30、探頭40和彈

性件50。

[0038] 具體而言，下極靴10包括大體為錐形的主體部和位于下端的圓柱形的配合部12。[0039] 具體地，如圖1?圖5所示，第一安裝板20的下表面和第二安裝板30的上表面共同限定出定位槽43，探頭40配合在定位槽43內(nèi)。這樣可以便于利用第一安裝板20和第二安裝板

30對(duì)探頭40進(jìn)行定位，便于實(shí)現(xiàn)探頭40的安裝，便于保證探頭40的安裝位置精度。

[0040] 更為具體地，如圖1?圖5所示，第一安裝板20上設(shè)有通孔21，通孔21在水平方向上位于下極靴10的下端面的中心處。具體而言，探頭40上具有過孔45。下極靴10的配合部12的

下端面、通孔21、過孔45的中心軸線重合。這樣下極靴10的配合部12的下端面可以與第一安

裝板20的通孔21以及探頭40的過孔45的位置對(duì)應(yīng)，保證掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1

的位置精度，保證掃描電鏡的可靠運(yùn)行。

[0041] 有利地，如圖1?圖5所示，第一安裝板20的上表面設(shè)有卡槽22，下極靴10的下端卡合在卡槽22內(nèi)。具體而言，下極靴10的配合部12卡合在卡槽22內(nèi)。這樣可以利用卡槽22對(duì)下

極靴10的下端進(jìn)行定位，進(jìn)一步保證第一安裝板20和探頭40的位置準(zhǔn)確性。

[0042] 具體而言，第一安裝板20還設(shè)有四個(gè)沿卡槽22周向間隔設(shè)置的彈性槽23。這樣可以便于卡槽22卡合配合部12。

[0043] 圖1?圖5示出了根據(jù)本實(shí)用新型一些示例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1。如圖1?圖5所示，彈性件50為拉簧且為兩個(gè)，兩個(gè)所述拉簧的下端分別與第一安裝板20的兩端

相連且兩個(gè)所述拉簧的上端均與下極靴10相連，兩個(gè)所述拉簧的上端與下極靴10的連接處

在下極靴10的周向上相對(duì)。這樣可以使第一安裝板20的受力更加均勻，進(jìn)一步提高第一安

裝板20安裝后的穩(wěn)定性和位置準(zhǔn)確性。

[0044] 具體地，如圖1?圖5所示，下極靴10上設(shè)有兩個(gè)掛鉤11，第一安裝板20上設(shè)有凸耳24，所述拉簧的上端鉤掛掛鉤11且下端鉤掛凸耳24。這樣可以便于彈性件50的安裝。

[0045] 有利地，第二安裝板30為用于阻擋和/或吸收電子的絕緣板。這樣可以利用絕緣板對(duì)電子進(jìn)行吸收和/或阻擋，防止電子對(duì)探頭40的電路板造成損壞。

[0046] 更為具體地，如圖1?圖5所示，探頭40包括探頭主體41和電路板42，第二安裝板30上設(shè)有避讓口31，探頭主體41從避讓口31露出。這樣可以利用避讓口31避讓探頭主體41，保

證探頭主體41可靠運(yùn)行。

[0047] 具體而言，電路板42上具有定位孔44，第一安裝板20上設(shè)有定位環(huán)臺(tái)25，定位孔44配合在定位環(huán)臺(tái)25內(nèi)。這樣可以利用定位孔44和定位環(huán)臺(tái)25對(duì)探頭40和第一安裝板20進(jìn)行

定位，進(jìn)一步提高探頭40安裝后的位置準(zhǔn)確性。

[0048] 進(jìn)一步地，定位槽43在第一安裝板20和第二安裝板30的一側(cè)端面敞開以形成接口，電路板42在鄰近所述接口的一側(cè)設(shè)有接線端子。

[0049] 可選地，如圖1?圖5所示，第二安裝板30通過螺紋緊固件60安裝在第一安裝板20上。這樣可以實(shí)現(xiàn)第一安裝板20和第二安裝板30可拆卸地安裝，而且可以便于保證第一安

裝板20和第二安裝板30以及探頭40安裝后的位置準(zhǔn)確性。

[0050] 具體而言，螺紋緊固件60為四個(gè)，第一安裝板20的四個(gè)拐角處設(shè)有四個(gè)螺釘安裝孔，第二安裝板30的四個(gè)拐角處設(shè)有四個(gè)螺釘過孔，每個(gè)螺紋緊固件60穿過螺釘過孔配合

在螺釘安裝孔內(nèi)。這樣可以保證探頭40安裝的可靠性和穩(wěn)定性。

[0051] 進(jìn)一步地，掛鉤11通過掛鉤螺栓13安裝在下極靴10上。這樣可以便于掛鉤11的安裝，保證掛鉤11安裝后的穩(wěn)定性和位置準(zhǔn)確性。

[0052] 下面描述根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡包括根據(jù)本實(shí)用新型上述實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1。

[0053] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡，通過利用根據(jù)本實(shí)用新型上述實(shí)施例的掃描電鏡背散射探頭的安裝結(jié)構(gòu)1，具有拆裝方便、可靠性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

[0054] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電鏡的其他構(gòu)成以及操作對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言都是已知的，這里不再詳細(xì)描述。

[0055] 在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)

構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)

語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或

者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

[0056] 盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解：在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換

和變型，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。