權(quán)利要求書： 1.一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：包括相互配合使用的臺蓋(1)和臺體(2)；

所述臺蓋(1)蓋合在臺體(2)上，且在臺蓋(1)上設(shè)置有若干樣品放置槽(13)；

所述臺體(2)內(nèi)設(shè)置有制冷單元(3)、媒介存儲單元(5)、加熱單元(4)、電池(7)和控制器(8)，所述媒介存儲單元(5)設(shè)置在臺體(2)的上部空腔中，制冷單元(3)和加熱單元(4)對稱設(shè)置在媒介存儲單元(5)的兩側(cè)，且在媒介存儲單元(5)內(nèi)設(shè)置有攪拌機構(gòu)(6)和若干感溫探頭(9)，所述攪拌機構(gòu)(6)與電池(7)連接，感溫探頭(9)與控制器(8)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的臺體(2)上部分別設(shè)置有第一空腔(22)、第二空腔(23)和第三空腔(24)，其中第一空腔(22)和第三空腔(24)對稱設(shè)置在第二空腔(23)的兩側(cè)，所述制冷單元(3)、媒介存儲單元(5)、加熱單元(4)分別設(shè)置在第一空腔(22)、第二空腔(23)、第三空腔(24)內(nèi)，且所述第一空腔(22)、第三空腔(24)與第二空腔(23)之間通過導(dǎo)溫板連接，所述攪拌機構(gòu)(6)設(shè)置在第二空腔(23)的底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的第一空腔(22)、第二空腔(23)和第三空腔(24)內(nèi)均儲存有液體媒介，所述樣品放置槽(13)的下端伸入第二空腔(23)的液體媒介內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的攪拌機構(gòu)(6)包括電機(61)、第一傘齒輪(62)、傳動桿(63)、第二傘齒輪(64)、攪拌葉片(65)和轉(zhuǎn)動桿(66)，所述電機(61)與電池(7)連通，其動力輸出端與第一傘齒輪(62)連接，所述第一傘齒輪(62)與第二傘齒輪(64)相互嚙合，所述第二傘齒輪(64)固定設(shè)置在傳動桿(63)上，帶動傳動桿(63)轉(zhuǎn)動，所述傳動桿(63)通過第一軸承(68)和第二軸承(69)轉(zhuǎn)動設(shè)置在第二空腔(23)的下側(cè)，且傳動桿(63)與轉(zhuǎn)動桿(66)連接，所述攪拌葉片(65)設(shè)置在轉(zhuǎn)動桿(66)的頂端。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的制冷單元(3)包括制冷管(31)和制冷壓縮機(32)，所述制冷管(31)繞設(shè)在第一空腔(22)的內(nèi)壁上，且與制冷壓縮機(32)連接，所述制冷壓縮機(32)通過導(dǎo)線與電池(7)連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的加熱單元(4)包括導(dǎo)熱絲(41)和電加熱器(42)，所述導(dǎo)熱絲(41)繞設(shè)在第三空腔(24)的內(nèi)壁上，且與電加熱器(42)連接，所述電加熱器(42)通過導(dǎo)線與電池(7)連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的臺蓋(1)可拆卸蓋設(shè)在臺體(2)上，包括中部壓蓋(11)和側(cè)部翻蓋(12)，所述側(cè)部翻蓋(12)鉸接設(shè)置在中部壓蓋(11)的兩側(cè)，且在側(cè)部翻蓋(12)的下側(cè)設(shè)置有密封塞(14)，所述樣品放置槽(13)設(shè)置在中部壓蓋(11)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述的臺體(2)上還設(shè)置有樣品臺連接處(21)。

說明書： 一種可控溫掃描電鏡樣品臺技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型屬于實驗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可控溫掃描電鏡樣品臺。背景技術(shù)[0002] 掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器，具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬等特點；另外具有可測樣品種類豐富,

幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點，應(yīng)用十

分廣泛；

[0003] 可是，有些樣品，需要在特定的、穩(wěn)定的溫度條件下觀察，才能得到最真實的數(shù)據(jù)，但是掃描電鏡一般不具備可控溫觀察倉，影響了掃描電子顯微鏡功能的進一步拓展；

[0004] 因此急需設(shè)計一種可控溫掃描電鏡樣品臺，使其可以滿足在特定的、穩(wěn)定的溫度條件下利用掃描電子顯微鏡觀察。

發(fā)明內(nèi)容[0005] 針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種可控溫掃描電鏡樣品臺，通過在媒介存儲單元兩側(cè)設(shè)置制冷單元和加熱單元，在使用時，利用制冷單元和加

熱單元來對媒介存儲單元進行加熱和制冷，以便于使得處于樣品放置槽內(nèi)的待檢測樣品能

夠始終保持在一個恒溫狀態(tài)下，被觀測樣品可以在設(shè)定的溫度下進行觀測，具有結(jié)構(gòu)簡單、

使用方便、控溫效果好的特點。

[0006] 為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案如下：[0007] 一種可控溫掃描電鏡樣品臺，包括相互配合使用的臺蓋和臺體；[0008] 所述臺蓋蓋合在臺體上，且在臺蓋上設(shè)置有若干樣品放置槽；[0009] 所述臺體內(nèi)設(shè)置有制冷單元、媒介存儲單元、加熱單元、電池和控制器，所述媒介存儲單元設(shè)置在臺體的上部空腔中，制冷單元和加熱單元對稱設(shè)置在媒介存儲單元的兩

側(cè)，且在媒介存儲單元內(nèi)設(shè)置有攪拌機構(gòu)和若干感溫探頭，所述攪拌機構(gòu)與電池連接，感溫

探頭與控制器連接。

[0010] 優(yōu)選的，所述的臺體上部分別設(shè)置有第一空腔、第二空腔和第三空腔，其中第一空腔和第三空腔對稱設(shè)置在第二空腔的兩側(cè)，所述制冷單元、媒介存儲單元、加熱單元分別設(shè)

置在第一空腔、第二空腔、第三空腔內(nèi)，且所述第一空腔、第三空腔與第二空腔之間通過導(dǎo)

溫板連接，所述攪拌機構(gòu)設(shè)置在第二空腔的底部。

[0011] 優(yōu)選的，所述的第一空腔、第二空腔和第三空腔內(nèi)均儲存有液體媒介，所述樣品放置槽的下端伸入第二空腔的液體媒介內(nèi)。

[0012] 優(yōu)選的，所述的攪拌機構(gòu)包括電機、第一傘齒輪、傳動桿、第二傘齒輪、攪拌葉片和轉(zhuǎn)動桿，所述電機與電池連通，其動力輸出端與第一傘齒輪連接，所述第一傘齒輪與第二傘

齒輪相互嚙合，所述第二傘齒輪固定設(shè)置在傳動桿上，帶動傳動桿轉(zhuǎn)動，所述傳動桿通過第

一軸承和第二軸承轉(zhuǎn)動設(shè)置在第二空腔的下側(cè)，且傳動桿與轉(zhuǎn)動桿連接，所述攪拌葉片設(shè)

置在轉(zhuǎn)動桿的頂端。

[0013] 優(yōu)選的，所述的第二空腔的底部還設(shè)置有密封盒，所述密封盒設(shè)置在第一軸承的上側(cè)，且在密封盒的上端口處設(shè)置有密封圈，所述密封圈與轉(zhuǎn)動桿配合使用。

[0014] 優(yōu)選的，所述的制冷單元包括制冷管和制冷壓縮機，所述制冷管繞設(shè)在第一空腔的內(nèi)壁上，且與制冷壓縮機連接，所述制冷壓縮機通過導(dǎo)線與電池連通。

[0015] 優(yōu)選的，所述的加熱單元包括導(dǎo)熱絲和電加熱器，所述導(dǎo)熱絲繞設(shè)在第三空腔的內(nèi)壁上，且與電加熱器連接，所述電加熱器通過導(dǎo)線與電池連通。

[0016] 優(yōu)選的，所述的臺蓋可拆卸蓋設(shè)在臺體上，包括中部壓蓋和側(cè)部翻蓋，所述側(cè)部翻蓋鉸接設(shè)置在中部壓蓋的兩側(cè)，且在側(cè)部翻蓋的下側(cè)設(shè)置有密封塞，所述樣品放置槽設(shè)置

在中部壓蓋上。

[0017] 優(yōu)選的，所述的臺體上還設(shè)置有樣品臺連接處。[0018] 本實用新型的有益效果是：本實用新型公開了一種可控溫掃描電鏡樣品臺，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的改進之處在于：

[0019] (1)本實用新型設(shè)計了一種可控溫掃描電鏡樣品臺，包括制冷單元、媒介存儲單元和加熱單元，且在媒介存儲單元兩側(cè)設(shè)置制冷單元和加熱單元，使用時，利用制冷單元和加

熱單元來對媒介存儲單元進行加熱和制冷，以便于使得處于樣品放置槽內(nèi)的待檢測樣品能

夠始終保持在一個恒溫狀態(tài)下，使得被觀測樣品可以在設(shè)定的溫度下進行觀測，能夠滿足

在特定的、穩(wěn)定的溫度條件下對樣品觀察；

[0020] (2)同時通過攪拌機構(gòu)對儲存在第二空腔的液體媒介進行攪拌加熱，使得液體媒介儲存罐的溫度均一，且通過感溫探頭的溫度反饋，可以實現(xiàn)控制器的自動控溫，具有結(jié)構(gòu)

簡單、使用方便、控溫效果好的優(yōu)點。

附圖說明[0021] 圖1為本實用新型可控溫掃描電鏡樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖。[0022] 圖2為本實用新型臺蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。[0023] 圖3為本實用新型臺體的結(jié)構(gòu)示意圖。[0024] 圖4為本實用新型攪拌機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0025] 其中：1.臺蓋，11.中部壓蓋，12.側(cè)部翻蓋，13.樣品放置槽，14.密封塞，2.臺體，21.樣品臺連接處，22.第一空腔，23.第二空腔，24.第三空腔，3.制冷單元，31.制冷管，32.

制冷壓縮機，4.加熱單元，41.導(dǎo)熱絲，42.電加熱器，5.媒介存儲單元，6.攪拌機構(gòu)，61.電

機，62.第一傘齒輪，63.傳動桿，64.第二傘齒輪，65.攪拌葉片，66.轉(zhuǎn)動桿，67.密封盒，68.

第一軸承，69.第二軸承，7.電池，8.控制器，9.感溫探頭。

具體實施方式[0026] 為了使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能更好的理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的技術(shù)方案做進一步的描述。

[0027] 參照附圖1?4所示的一種可控溫掃描電鏡樣品臺，包括相互配合使用的臺蓋1和臺體2；

[0028] 所述臺蓋1蓋合在臺體2上，且在臺蓋1上設(shè)置有若干樣品放置槽13，使用時，在樣品放置槽13內(nèi)放入樣品，利用掃描電子顯微鏡進行觀察；

[0029] 所述臺體2內(nèi)設(shè)置有制冷單元3、媒介存儲單元5、加熱單元4、電池7和控制器8，所述媒介存儲單元5設(shè)置在臺體2的上部空腔中，制冷單元3和加熱單元4對稱設(shè)置在媒介存儲

單元5的兩側(cè)，且在媒介存儲單元5內(nèi)設(shè)置有攪拌機構(gòu)6和若干感溫探頭9，所述攪拌機構(gòu)6與

電池7連接，通過電池7給攪拌機構(gòu)6進行供電，所述感溫探頭9與控制器8連接，通過感溫探

頭9將媒介存儲單元5內(nèi)的溫度反饋給控制器8，控制器8通過與設(shè)定溫度進行比較，分別控

制制冷單元3或加熱單元4進行相應(yīng)的加熱或者制冷動作。

[0030] 優(yōu)選的，在所述臺體2上部分別設(shè)置有第一空腔22、第二空腔23和第三空腔24，其中第一空腔22和第三空腔24對稱設(shè)置在第二空腔23的兩側(cè)，所述制冷單元3、媒介存儲單元

5、加熱單元4分別設(shè)置在第一空腔22、第二空腔23、第三空腔24內(nèi)，且為便于溫度導(dǎo)通，利用

第一空腔22和第三空腔24對第二空腔23進行加溫和制冷工作，所述第一空腔22、第三空腔

24與第二空腔23之間通過導(dǎo)溫板連接，所述攪拌機構(gòu)6設(shè)置在第二空腔23的底部，便于對第

二空腔23的液體媒介進行攪拌加熱，使得液體媒介儲存罐的溫度均一。

[0031] 優(yōu)選的，為保證導(dǎo)熱和制冷作用，在所述第一空腔22、第二空腔23和第三空腔24內(nèi)均儲存有液體媒介，所述樣品放置槽13的下端伸入第二空腔23的液體媒介內(nèi)，通過第二空

腔23來升高或者降低樣品放置槽13側(cè)壁的溫度。

[0032] 為便于對液體媒介進行攪拌，所述的攪拌機構(gòu)6包括電機61、第一傘齒輪62、傳動桿63、第二傘齒輪64、攪拌葉片65和轉(zhuǎn)動桿66，所述電機61與電池7連通，通過電池7給電機

61供電，電機61的動力輸出端與第一傘齒輪62連接，通過電機61帶動第一傘齒輪62轉(zhuǎn)動，所

述第一傘齒輪62與第二傘齒輪64相互嚙合，所述第二傘齒輪64固定設(shè)置在傳動桿63上，即

通過第一傘齒輪62帶動傳動桿63轉(zhuǎn)動，所述傳動桿63通過第一軸承68和第二軸承69轉(zhuǎn)動設(shè)

置在第二空腔23的下側(cè)，且傳動桿63與轉(zhuǎn)動桿66連接，通過傳動桿63帶動轉(zhuǎn)動桿66轉(zhuǎn)動，所

述攪拌葉片65設(shè)置在轉(zhuǎn)動桿66的頂端，通過攪拌葉片65的轉(zhuǎn)動對第二空腔23內(nèi)的液體媒介

進行攪拌，使第二空腔23內(nèi)的液體媒介溫度均一。

[0033] 優(yōu)選的，為保證密封效果，在所述的第二空腔23的底部還設(shè)置有密封盒67，所述密封盒67設(shè)置在第一軸承68的上側(cè)，且在密封盒67的上端口處設(shè)置有密封圈，所述密封圈與

轉(zhuǎn)動桿66配合使用。

[0034] 優(yōu)選的，所述的制冷單元3包括制冷管31和制冷壓縮機32，所述制冷管31繞設(shè)在第一空腔22的內(nèi)壁上，且與制冷壓縮機32連接，所述制冷壓縮機32通過導(dǎo)線與電池7連通，即

在使用時，當(dāng)感溫探頭9感應(yīng)到第二空腔23內(nèi)的氣溫高于控制器8的設(shè)定溫度時，控制器8控

制制冷壓縮機32工作，制冷壓縮機32通過制冷管31對第一空腔22內(nèi)的液體媒介進行降溫，

使其溫度達到控制器8的設(shè)定溫度。

[0035] 優(yōu)選的，所述的加熱單元4包括導(dǎo)熱絲41和電加熱器42，所述導(dǎo)熱絲41繞設(shè)在第三空腔24的內(nèi)壁上，且與電加熱器42連接，所述電加熱器42通過導(dǎo)線與電池7連通，即在使用

時，當(dāng)感溫探頭9感應(yīng)到第三空腔24內(nèi)的氣溫低于控制器8的設(shè)定溫度時，控制器8控制電加

熱器42工作，電加熱器42通過導(dǎo)熱絲41對第三空腔24內(nèi)的液體媒介進行降溫，使其溫度達

到控制器8的設(shè)定溫度。

[0036] 優(yōu)選的，為便于加入液體和拆卸，所述的臺蓋1可拆卸的蓋設(shè)在臺體2上，包括中部壓蓋11和側(cè)部翻蓋12，所述側(cè)部翻蓋12鉸接設(shè)置在中部壓蓋11的兩側(cè)，且在側(cè)部翻蓋12的

下側(cè)設(shè)置有密封塞14，所述樣品放置槽13設(shè)置在中部壓蓋11上。

[0037] 優(yōu)選的，所述的臺體2上還設(shè)置有樣品臺連接處21，用于跟掃描電子顯微鏡檢測空腔中的連接件連接。

[0038] 優(yōu)選的，所述的控制器8為PLC控制器。[0039] 本實用新型所述可控溫掃描電鏡樣品臺的使用原理和使用過程包括：[0040] (1)首先根據(jù)需要觀測的物品的需求溫度，先對控制器8進行設(shè)定，給定設(shè)定溫度；[0041] (2)在給定設(shè)定溫度后，當(dāng)感溫探頭9感應(yīng)到第三空腔24內(nèi)的氣溫低于控制器8的設(shè)定溫度時，控制器8控制電加熱器42工作，電加熱器42通過導(dǎo)熱絲41對第三空腔24內(nèi)的液

體媒介進行降溫，使其溫度達到控制器8的設(shè)定溫度；當(dāng)感溫探頭9感應(yīng)到第三空腔24內(nèi)的

氣溫低于控制器8的設(shè)定溫度時，控制器8控制電加熱器42工作，電加熱器42通過導(dǎo)熱絲41

對第三空腔24內(nèi)的液體媒介進行降溫，使其溫度達到控制器8的設(shè)定溫度；同時輔以攪拌機

構(gòu)6的攪拌，使得第二空腔23內(nèi)的液體媒介的溫度均一；

[0042] (3)將所述待測物品放置在對應(yīng)尺寸的樣品放置槽13內(nèi)，利用掃描電子顯微鏡進行觀測。

[0043] 以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述

的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還

會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型

要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。