權(quán)利要求書： 1.一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，包括基座(1)，所述基座(1)的表面固定連接有連接架(2)，所述連接架(2)的表面固定連接有觀察臺(tái)(3)和載片臺(tái)(4)，其特征在于：所述載片臺(tái)(4)的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)(5)，所述固定機(jī)構(gòu)(5)用于固定載玻片的位置；

所述固定機(jī)構(gòu)(5)中包含有固定塊(51)，所述載片臺(tái)(4)的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊(52)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(52)的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽(53)，所述載片臺(tái)(4)的內(nèi)部通過塊與槽滑動(dòng)連接有固定軸(54)，所述固定軸(54)的表面固定連接有固定柱(55)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(52)的表面固定連接有操作塊(56)，所述操作塊(56)的表面開設(shè)有操作槽(57)，所述操作塊(56)的表面通過操作槽(57)滑動(dòng)連接有操作桿(58)，所述操作桿(58)的表面固定連接有操作軸(59)，所述載片臺(tái)(4)的內(nèi)部開設(shè)有限位槽(510)，所述固定塊(51)的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)(6)，所述伸縮機(jī)構(gòu)(6)用于調(diào)整固定位置的中心。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，其特征在于：所述伸縮機(jī)構(gòu)(6)中包含有滑動(dòng)槽(61)，所述固定塊(51)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有伸縮塊(62)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，其特征在于：所述固定塊(51)和伸縮塊(62)的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱(63)，所述固定塊(51)的內(nèi)部通過轉(zhuǎn)動(dòng)柱(63)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊(64)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，其特征在于：所述連接塊(64)的表面固定連接有連接軸(65)，所述連接塊(64)的表面通過連接軸(65)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)角桿(66)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)角桿(66)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑動(dòng)軸(67)，所述滑動(dòng)軸(67)的表面與滑動(dòng)槽(61)的內(nèi)表面滑動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)角桿(66)的一端與滑動(dòng)軸(67)的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

說明書： 一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)。背景技術(shù)[0002] 目前實(shí)驗(yàn)室會(huì)用金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體晶圓芯片或分立器件的表/截面，通過表/截面形貌的觀察與量測(cè)，了解產(chǎn)品構(gòu)造或封裝水平，以此為更好產(chǎn)品的生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支持，現(xiàn)有的金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)在進(jìn)行觀察時(shí)對(duì)載玻片的固定采用的是轉(zhuǎn)動(dòng)的固定架固定，固定過程中載玻片可能偏移顯微鏡物鏡的中心位置，觀察時(shí)需要再次調(diào)整載玻片的位置，便于更好的尋找最佳的觀看位置，了解導(dǎo)體的性質(zhì)，需要進(jìn)行多次調(diào)整且觀察過程中遇撞擊產(chǎn)生偏移，影響觀察結(jié)果，為此，本實(shí)用新型提供了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)。實(shí)用新型內(nèi)容

[0003] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，解決了顯微鏡不能很好的固定載玻片的位置，固定過程中載玻片會(huì)產(chǎn)生偏移影響半導(dǎo)體的觀察的問題。[0004] 為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，包括基座，所述基座的表面固定連接有連接架，所述連接架的表面固定連接有觀察臺(tái)和載片臺(tái)，所述載片臺(tái)的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)用于固定載玻片的位置，所述固定機(jī)構(gòu)中包含有固定塊，所述載片臺(tái)的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽，所述載片臺(tái)的內(nèi)部通過塊與槽滑動(dòng)連接有固定軸，所述固定軸的表面固定連接有固定柱，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊的表面固定連接有操作塊，所述操作塊的表面開設(shè)有操作槽，所述操作塊的表面通過操作槽滑動(dòng)連接有操作桿，所述操作桿的表面固定連接有操作軸，所述載片臺(tái)的內(nèi)部開設(shè)有限位槽，所述固定塊的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)，所述伸縮機(jī)構(gòu)用于調(diào)整固定位置的中心。[0005] 優(yōu)選的，所述伸縮機(jī)構(gòu)中包含有滑動(dòng)槽，所述固定塊的內(nèi)部滑動(dòng)連接有伸縮塊。[0006] 優(yōu)選的，所述固定塊和伸縮塊的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱，所述固定塊的內(nèi)部通過轉(zhuǎn)動(dòng)柱轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊。[0007] 優(yōu)選的，所述連接塊的表面固定連接有連接軸，所述連接塊的表面通過連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)角桿。[0008] 優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)角桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑動(dòng)軸，所述滑動(dòng)軸的表面與滑動(dòng)槽的內(nèi)表面滑動(dòng)連接。[0009] 優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)角桿的一端與滑動(dòng)軸的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接。[0010] 有益效果[0011] 本實(shí)用新型提供了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：[0012] (1)、該金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，通過在載片臺(tái)的內(nèi)部設(shè)置固定機(jī)構(gòu)，通過轉(zhuǎn)動(dòng)塊和轉(zhuǎn)動(dòng)槽的位置的改變使固定塊之間的相對(duì)位置被改變，轉(zhuǎn)動(dòng)塊使用透光材料制作，便于觀察，固定塊的位置會(huì)根據(jù)轉(zhuǎn)動(dòng)塊的改變進(jìn)行同步改變，便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對(duì)于，便于觀察載玻片內(nèi)部的半導(dǎo)體樣本，同時(shí)采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置，促使各方面的力難以改變載玻片的位置，使載玻片偏移，觀察過程中不會(huì)使觀察的視角被改變，便于細(xì)致觀察。[0013] (2)、該金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，通過在固定塊的內(nèi)部設(shè)置伸縮機(jī)構(gòu)，在固定塊的表面開設(shè)滑動(dòng)槽，促使滑動(dòng)軸可以在一定的軌跡上進(jìn)行滑動(dòng)，滑動(dòng)軸的滑動(dòng)通過連接塊和轉(zhuǎn)角桿之間的角度的改變促使伸縮塊的位置發(fā)生改變，滑動(dòng)軸的位置被限制，進(jìn)而限制伸縮塊的移動(dòng)方向，伸縮塊的位置可以改變，可以根據(jù)載玻片的厚度改變伸縮塊的高度，更準(zhǔn)確穩(wěn)定的固定載玻片的位置，使載玻片的位置難以改變。附圖說明[0014] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)正視圖；[0015] 圖2為本實(shí)用新型的載片臺(tái)的結(jié)構(gòu)俯視圖；[0016] 圖3為本實(shí)用新型的圖2中A處的局部放大圖；[0017] 圖4為本實(shí)用新型的伸縮塊的結(jié)構(gòu)正視圖。[0018] 圖中：1?基座、2?連接架、3?觀察臺(tái)、4?載片臺(tái)、5?固定機(jī)構(gòu)、51?固定塊、52?轉(zhuǎn)動(dòng)塊、53?轉(zhuǎn)動(dòng)槽、54?固定軸、55?固定柱、56?操作塊、57?操作槽、58?操作桿、59?操作軸、510?限位槽、6?伸縮機(jī)構(gòu)、61?滑動(dòng)槽、62?伸縮塊、63?轉(zhuǎn)動(dòng)柱、64?連接塊、65?連接軸、66?轉(zhuǎn)角桿、67?滑動(dòng)軸。具體實(shí)施方式[0019] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。[0020] 請(qǐng)參閱圖1?4，本實(shí)用新型提供兩種技術(shù)方案：[0021] 實(shí)施例一[0022] 一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，包括基座1，基座1的表面固定連接有連接架2，連接架2的表面固定連接有觀察臺(tái)3和載片臺(tái)4，載片臺(tái)4的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)5，固定機(jī)構(gòu)5用于固定載玻片的位置，固定機(jī)構(gòu)5中包含有固定塊51，載片臺(tái)4的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊52，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52和載片臺(tái)4由透光材料制作而成，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽53，載片臺(tái)4的內(nèi)部通過塊與槽滑動(dòng)連接有固定軸54，固定塊51的表面與固定軸54的表面固定連接，固定軸54的表面固定連接有固定柱55，固定柱55的表面與轉(zhuǎn)動(dòng)槽53的內(nèi)表面滑動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的表面固定連接有操作塊56，操作塊56的表面開設(shè)有操作槽57，操作塊56的表面通過操作槽57滑動(dòng)連接有操作桿58，操作桿58的表面固定連接有操作軸59，操作軸59的表面與操作槽57的內(nèi)表面滑動(dòng)連接，載片臺(tái)4的內(nèi)部開設(shè)有限位槽510，固定塊51的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)6，伸縮機(jī)構(gòu)6用于調(diào)整固定位置的中心，在載片臺(tái)4的內(nèi)部設(shè)置固定機(jī)構(gòu)5，通過轉(zhuǎn)動(dòng)塊52和轉(zhuǎn)動(dòng)槽53的位置的改變使固定塊51之間的相對(duì)位置被改變，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52使用透光材料制作，便于觀察，固定塊51的位置會(huì)根據(jù)轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的改變進(jìn)行同步改變，便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對(duì)于，便于觀察載玻片內(nèi)部的半導(dǎo)體樣本，同時(shí)采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置，促使各方面的力難以改變載玻片的位置，使載玻片偏移，觀察過程中不會(huì)使觀察的視角被改變，便于細(xì)致觀察。[0023] 實(shí)施例二[0024] 一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)，包括基座1，基座1的表面固定連接有連接架2，連接架2的表面固定連接有觀察臺(tái)3和載片臺(tái)4，載片臺(tái)4的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)5，固定機(jī)構(gòu)5用于固定載玻片的位置，固定機(jī)構(gòu)5中包含有固定塊51，載片臺(tái)4的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊52，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52和載片臺(tái)4由透光材料制作而成，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽53，載片臺(tái)4的內(nèi)部通過塊與槽滑動(dòng)連接有固定軸54，固定塊51的表面與固定軸54的表面固定連接，固定軸54的表面固定連接有固定柱55，固定柱55的表面與轉(zhuǎn)動(dòng)槽53的內(nèi)表面滑動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的表面固定連接有操作塊56，操作塊56的表面開設(shè)有操作槽57，操作塊56的表面通過操作槽57滑動(dòng)連接有操作桿58，操作桿58的表面固定連接有操作軸59，操作軸59的表面與操作槽57的內(nèi)表面滑動(dòng)連接，載片臺(tái)4的內(nèi)部開設(shè)有限位槽510，固定塊51的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)6，伸縮機(jī)構(gòu)6用于調(diào)整固定位置的中心，在載片臺(tái)4的內(nèi)部設(shè)置固定機(jī)構(gòu)5，通過轉(zhuǎn)動(dòng)塊52和轉(zhuǎn)動(dòng)槽53的位置的改變使固定塊51之間的相對(duì)位置被改變，轉(zhuǎn)動(dòng)塊52使用透光材料制作，便于觀察，固定塊51的位置會(huì)根據(jù)轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的改變進(jìn)行同步改變，便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對(duì)于，便于觀察載玻片內(nèi)部的半導(dǎo)體樣本，同時(shí)采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置，促使各方面的力難以改變載玻片的位置，使載玻片偏移，觀察過程中不會(huì)使觀察的視角被改變，便于細(xì)致觀察，伸縮機(jī)構(gòu)6中包含有滑動(dòng)槽61，固定塊51的內(nèi)部滑動(dòng)連接有伸縮塊62，固定塊51和伸縮塊62的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱63，固定塊51的內(nèi)部通過轉(zhuǎn)動(dòng)柱63轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊64，連接塊64的表面固定連接有連接軸65，連接塊64的表面通過連接軸65轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)角桿66，轉(zhuǎn)角桿66的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑動(dòng)軸67，滑動(dòng)軸67的表面與滑動(dòng)槽61的內(nèi)表面滑動(dòng)連接，轉(zhuǎn)角桿66的一端與滑動(dòng)軸67的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接，在固定塊51的內(nèi)部設(shè)置伸縮機(jī)構(gòu)6，在固定塊51的表面開設(shè)滑動(dòng)槽61，促使滑動(dòng)軸67可以在一定的軌跡上進(jìn)行滑動(dòng)，滑動(dòng)軸67的滑動(dòng)通過連接塊64和轉(zhuǎn)角桿66之間的角度的改變促使伸縮塊62的位置發(fā)生改變，滑動(dòng)軸67的位置被限制，進(jìn)而限制伸縮塊62的移動(dòng)方向，伸縮塊

62的位置可以改變，可以根據(jù)載玻片的厚度改變伸縮塊62的高度，更準(zhǔn)確穩(wěn)定的固定載玻片的位置，使載玻片的位置難以改變。

[0025] 同時(shí)本說明書中未作詳細(xì)描述的內(nèi)容均屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的現(xiàn)有技術(shù)。[0026] 使用時(shí)，首先在載片臺(tái)4的中心位置放置載玻片，拉動(dòng)滑動(dòng)軸67，使滑動(dòng)軸67在滑動(dòng)槽61的內(nèi)表面滑動(dòng)，滑動(dòng)軸67的滑動(dòng)帶動(dòng)連接軸65和轉(zhuǎn)角桿66旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)伸縮塊62滑動(dòng)，改變可以固定的物品的高度，然后向載片臺(tái)4的中心位置按動(dòng)操作桿58，操作桿58的滑動(dòng)通過操作軸59帶動(dòng)操作塊56在操作槽57的內(nèi)表面滑動(dòng)，此時(shí)滑動(dòng)操作塊56，操作塊56的滑動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)塊52轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)塊52帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)槽53的相對(duì)位置發(fā)生改變，轉(zhuǎn)動(dòng)槽53的移動(dòng)帶動(dòng)固定柱55移動(dòng)，固定柱55的移動(dòng)帶動(dòng)固定軸54發(fā)生移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)固定塊51之間的相對(duì)距離發(fā)生變化，固定塊51固定載玻片后，拉動(dòng)操作桿58，使操作桿58帶動(dòng)操作塊56恢復(fù)原狀，限制轉(zhuǎn)動(dòng)塊52的再次旋轉(zhuǎn)，避免轉(zhuǎn)動(dòng)塊52受到力的作用旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致載玻片的位置產(chǎn)生偏移，此時(shí)，載玻片的位置被固定，不會(huì)輕易偏移，便于后續(xù)的載玻片觀察。[0027] 需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。[0028] 盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。