權(quán)利要求書： 1.一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，包括夾具臺(tái)，其特征在于，夾具臺(tái)兩側(cè)固定連接有第一固定桿，第一固定桿上滑動(dòng)連接有兩組對稱設(shè)置的第一滑塊，第一滑塊之間固定連接有滑槽，滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有多組均與分布的第二滑塊，第二滑塊一側(cè)穿過滑槽固定連接有移動(dòng)架，移動(dòng)架內(nèi)固定連接有滑動(dòng)定位筒，滑動(dòng)定位筒內(nèi)滑動(dòng)連接有滑動(dòng)連桿，滑動(dòng)連桿的一端固定連接有伸縮塊，伸縮塊上固定桿連接有連接桿，連接桿兩端連接有兩組相互轉(zhuǎn)動(dòng)連接的鉸接塊，鉸接塊與連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的同時(shí)相互滑動(dòng)連接，所述鉸接塊一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絞合桿，所述連接桿兩端固定連接有第二連接架，第二連接架之間固定連接有第二固定桿，第二固定桿上滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，滑動(dòng)塊一側(cè)螺紋連接有緊固螺栓，滑動(dòng)塊另一側(cè)固定連接有夾持塊，還包括：連接在夾具臺(tái)之間用于驅(qū)動(dòng)兩組夾持塊進(jìn)行開合的第一驅(qū)動(dòng)組件，以及連接在移動(dòng)架上用于驅(qū)動(dòng)夾持塊進(jìn)行適應(yīng)性貼合的第二驅(qū)動(dòng)組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述夾具臺(tái)上固定連接有安裝柱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括固定連接在夾具臺(tái)兩側(cè)的安裝架，安裝架之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有雙頭絲杠，雙頭絲杠兩端螺紋連接有第二驅(qū)動(dòng)塊，第二驅(qū)動(dòng)塊兩側(cè)固定連接在第一滑塊上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述雙頭絲杠一端穿過安裝架固定連接有搖柄。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在移動(dòng)架上的螺桿，螺桿上螺紋連接有第一驅(qū)動(dòng)塊，第一驅(qū)動(dòng)塊上固定連接有第一連接架，第一連接架固定連接在滑動(dòng)連桿上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述螺桿上固定連接有旋鈕。

說明書： 一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及一種適應(yīng)性夾具，具體是一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)。背景技術(shù)[0002] 在硬質(zhì)電路板行業(yè)高速發(fā)展的前提下，對微型鉆頭產(chǎn)品的品質(zhì)的要求也越來越高，包括鉆尖粗糙度，切削刃的完整性以及鉆尖重合性；涂層產(chǎn)品的涂層厚度，涂層結(jié)構(gòu)和涂層成分等信息。這些信息目前常用的分析手段是掃描電子顯微鏡加能譜儀，掃描電子顯微鏡的電子束是通過電磁透鏡聚焦的。[0003] 現(xiàn)有技術(shù)中的樣品臺(tái)是一個(gè)帶孔的圓盤，插入后觀察，這樣的方式雖然放置樣品時(shí)省時(shí)，但若不用導(dǎo)電膠固定，工作距離小的時(shí)候，電磁透鏡會(huì)吸附樣品，損壞電鏡，若用導(dǎo)電膠固定，導(dǎo)電膠在高速離子的沖擊下釋放氣體，帶來的樣品污染，無法拍攝出更高質(zhì)量的圖片，且更難保證樣品高度的一致性，檢測可靠性欠佳，若是采用機(jī)械夾持工裝固定，但由于現(xiàn)有樣品規(guī)格，大小形狀的不同，現(xiàn)有的機(jī)械夾持工裝無法進(jìn)行適應(yīng)性夾持，從而需要根據(jù)樣品的不同對夾具進(jìn)行更換，降低了工作效率。實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：[0006] 一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，包括夾具臺(tái)，夾具臺(tái)兩側(cè)固定連接有第一固定桿，第一固定桿上滑動(dòng)連接有兩組對稱設(shè)置的第一滑塊，第一滑塊之間固定連接有滑槽，滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有多組均與分布的第二滑塊，第二滑塊一側(cè)穿過滑槽固定連接有移動(dòng)架，移動(dòng)架內(nèi)固定連接有滑動(dòng)定位筒，滑動(dòng)定位筒內(nèi)滑動(dòng)連接有滑動(dòng)連桿，滑動(dòng)連桿的一端固定連接有伸縮塊，伸縮塊上固定桿連接有連接桿，連接桿兩端連接有兩組相互轉(zhuǎn)動(dòng)連接的鉸接塊，鉸接塊與連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的同時(shí)相互滑動(dòng)連接，所述鉸接塊一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絞合桿，所述連接桿兩端固定連接有第二連接架，第二連接架之間固定連接有第二固定桿，第二固定桿上滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，滑動(dòng)塊一側(cè)螺紋連接有緊固螺栓，滑動(dòng)塊另一側(cè)固定連接有夾持塊，還包括：連接在夾具臺(tái)之間用于驅(qū)動(dòng)兩組夾持塊進(jìn)行開合的第一驅(qū)動(dòng)組件，以及連接在移動(dòng)架上用于驅(qū)動(dòng)夾持塊進(jìn)行適應(yīng)性貼合的第二驅(qū)動(dòng)組件。[0007] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述夾具臺(tái)上固定連接有安裝柱。[0008] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括固定連接在夾具臺(tái)兩側(cè)的安裝架，安裝架之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有雙頭絲杠，雙頭絲杠兩端螺紋連接有第二驅(qū)動(dòng)塊，第二驅(qū)動(dòng)塊兩側(cè)固定連接在第一滑塊上。[0009] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述雙頭絲杠一端穿過安裝架固定連接有搖柄。[0010] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在移動(dòng)架上的螺桿，螺桿上螺紋連接有第一驅(qū)動(dòng)塊，第一驅(qū)動(dòng)塊上固定連接有第一連接架，第一連接架固定連接在滑動(dòng)連桿上。[0011] 作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：所述螺桿上固定連接有旋鈕。[0012] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型通過對多組夾持塊的夾持高度與夾持深度進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)，從而根據(jù)樣品形狀的不同，實(shí)現(xiàn)對夾持塊的適應(yīng)性貼合夾持，同時(shí)本實(shí)用新型可對多組夾持塊之間的間距進(jìn)行同步調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對夾持點(diǎn)的等距分布，從而提升裝置對樣品夾持的穩(wěn)定性。附圖說明[0013] 圖1為本實(shí)用新型中一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0014] 圖2為本實(shí)用新型中一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)的俯視圖。[0015] 圖3為本實(shí)用新型中一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)的截面圖。[0016] 圖4為本實(shí)用新型中一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)的剖面圖。[0017] 圖中：1?夾具臺(tái)、2?安裝柱、3?第一固定桿、4?第一滑塊、5?滑槽、6?第二滑塊、7?移動(dòng)架、8?滑動(dòng)定位筒、9?滑動(dòng)連桿、10?第一連接架、11?螺桿、12?第一驅(qū)動(dòng)塊、13?旋鈕、14?伸縮塊、15?連接桿、16?鉸接塊、17?絞合桿、18?第二連接架、19?第二固定桿、20?滑動(dòng)塊、21?緊固螺栓、22?夾持塊、23?安裝架、24?雙頭絲杠、25?第二驅(qū)動(dòng)塊、26?搖柄。

具體實(shí)施方式[0018] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。[0019] 參閱圖1～4，本實(shí)用新型實(shí)施例中，一種適應(yīng)夾持型掃描電鏡樣品臺(tái)，包括夾具臺(tái)1，夾具臺(tái)1兩側(cè)固定連接有第一固定桿3，第一固定桿3上滑動(dòng)連接有兩組對稱設(shè)置的第一滑塊4，第一滑塊4之間固定連接有滑槽5，滑槽5內(nèi)滑動(dòng)連接有多組均與分布的第二滑塊6，第二滑塊6一側(cè)穿過滑槽5固定連接有移動(dòng)架7，移動(dòng)架7內(nèi)固定連接有滑動(dòng)定位筒8，滑動(dòng)定位筒8內(nèi)滑動(dòng)連接有滑動(dòng)連桿9，滑動(dòng)連桿9的一端固定連接有伸縮塊14，伸縮塊14上固定桿連接有連接桿15，連接桿15兩端連接有兩組相互轉(zhuǎn)動(dòng)連接的鉸接塊16，鉸接塊16與連接桿

15轉(zhuǎn)動(dòng)連接的同時(shí)相互滑動(dòng)連接，所述鉸接塊16一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絞合桿17，所述連接桿15兩端固定連接有第二連接架18，第二連接架18之間固定連接有第二固定桿19，第二固定桿

19上滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊20，滑動(dòng)塊20一側(cè)螺紋連接有緊固螺栓21，滑動(dòng)塊20另一側(cè)固定連接有夾持塊22，還包括：連接在夾具臺(tái)1之間用于驅(qū)動(dòng)兩組夾持塊22進(jìn)行開合的第一驅(qū)動(dòng)組件，以及連接在移動(dòng)架7上用于驅(qū)動(dòng)夾持塊22進(jìn)行適應(yīng)性貼合的第二驅(qū)動(dòng)組件，本實(shí)用新型首先通過第一驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)滑槽5進(jìn)行移動(dòng)，滑槽5通過第二滑塊6帶動(dòng)夾持塊22進(jìn)行同步移動(dòng)，從而對放置在夾具臺(tái)1上的樣品進(jìn)行夾持固定，并且裝置可通過滑動(dòng)塊20與第二固定桿19的滑動(dòng)連接對夾持塊22的高度進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)完成后再通過緊固螺栓21對夾持塊22的高度進(jìn)行固定，之后再通過第二驅(qū)動(dòng)組件滑動(dòng)連桿9進(jìn)行伸縮，滑動(dòng)連桿9通過伸縮塊14帶動(dòng)夾持塊22進(jìn)行伸縮，從而對夾塊的夾持深度進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)，并且裝置還可通過鉸接塊16與絞合桿17的設(shè)置實(shí)現(xiàn)對多組夾持塊22之間的間距的同步調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對夾持點(diǎn)的等距分布，從而提升裝置對樣品夾持的穩(wěn)定性。

[0020] 在本實(shí)施例的一種情況中，請參閱圖1～4，所述夾具臺(tái)1上固定連接有安裝柱2，本實(shí)用新型通過安裝柱2的設(shè)置對裝置整體進(jìn)行安裝固定。[0021] 在本實(shí)施例的一種情況中，請參閱圖1～4，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括固定連接在夾具臺(tái)1兩側(cè)的安裝架23，安裝架23之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有雙頭絲杠24，雙頭絲杠24兩端螺紋連接有第二驅(qū)動(dòng)塊25，第二驅(qū)動(dòng)塊25兩側(cè)固定連接在第一滑塊4上，所述雙頭絲杠24一端穿過安裝架23固定連接有搖柄26，所述第一驅(qū)動(dòng)組件通過搖動(dòng)搖柄26帶動(dòng)雙頭絲杠24進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，雙頭絲杠24通過與第二驅(qū)動(dòng)塊25的螺紋連接帶動(dòng)兩組第二驅(qū)動(dòng)塊25進(jìn)行相向運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)塊25通過第一滑塊4帶動(dòng)滑槽5進(jìn)行移動(dòng)。[0022] 在本實(shí)施例的一種情況中，請參閱圖1～4，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在移動(dòng)架7上的螺桿11，螺桿11上螺紋連接有第一驅(qū)動(dòng)塊12，第一驅(qū)動(dòng)塊12上固定連接有第一連接架10，第一連接架10固定連接在滑動(dòng)連桿9上，所述螺桿11上固定連接有旋鈕13，所述第二驅(qū)動(dòng)組件通過旋緊旋鈕13帶動(dòng)螺桿11進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，螺桿11通過與第一驅(qū)動(dòng)塊12的螺紋連接帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)塊12進(jìn)行移動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)塊12通過第一連接架10帶動(dòng)滑動(dòng)連桿9進(jìn)行伸縮。[0023] 本實(shí)用新型的工作原理是：本實(shí)用新型首先通過搖動(dòng)搖柄26帶動(dòng)雙頭絲杠24進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，雙頭絲杠24通過與第二驅(qū)動(dòng)塊25的螺紋連接帶動(dòng)兩組第二驅(qū)動(dòng)塊25進(jìn)行相向運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)塊25通過第一滑塊4帶動(dòng)滑槽5進(jìn)行移動(dòng)，滑槽5通過第二滑塊6帶動(dòng)夾持塊22進(jìn)行同步移動(dòng)，從而對放置在夾具臺(tái)1上的樣品進(jìn)行夾持固定，并且裝置可通過滑動(dòng)塊20與第二固定桿19的滑動(dòng)連接對夾持塊22的高度進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)完成后再通過緊固螺栓21對夾持塊22的高度進(jìn)行固定，之后再通過旋緊旋鈕13帶動(dòng)螺桿11進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，螺桿11通過與第一驅(qū)動(dòng)塊12的螺紋連接帶動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)塊12進(jìn)行移動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)塊12通過第一連接架10帶動(dòng)滑動(dòng)連桿9進(jìn)行伸縮，滑動(dòng)連桿9通過伸縮塊14帶動(dòng)夾持塊22進(jìn)行伸縮，從而對夾塊的夾持深度進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)，并且裝置還可通過鉸接塊16與絞合桿17的設(shè)置實(shí)現(xiàn)對多組夾持塊22之間的間距的同步調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對夾持點(diǎn)的等距分布，從而提升裝置對樣品夾持的穩(wěn)定性。[0024] 以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。