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轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)

1644   編輯:中冶有色技術(shù)網(wǎng)   來(lái)源:深圳市朝陽(yáng)光科技有限公司  
2024-07-25 16:38:23

權(quán)利要求書:

 1.一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,包括第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂針機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將藍(lán)膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上。


2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)氣缸或直線電機(jī),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在氣缸固定座一側(cè),所述氣缸固定座遠(yuǎn)離所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有頂晶底座。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出端連接有螺栓以及推塊,所述頂針機(jī)構(gòu)包括與所述推塊相連的頂針前后模塊,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有拖鏈板,所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)電機(jī),所述運(yùn)動(dòng)電機(jī)輸出端連接第一拖鏈和第二拖鏈。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂晶底座一側(cè)還固定設(shè)置有頂晶限位塊以及導(dǎo)軌,所述運(yùn)動(dòng)氣缸輸出端還連接有無(wú)頭頂絲,所述推塊一側(cè)通過(guò)滑塊與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有定位銷釘,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有閥板,所述閥板一側(cè)設(shè)置有電磁閥組件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括擺臂以及設(shè)置在所述擺臂一側(cè)的頂針帽。

說(shuō)明書: 一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型屬于芯片分選技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)[0002] 目前,在芯片生產(chǎn)過(guò)程中,通常需要對(duì)芯片進(jìn)行分選頂出,現(xiàn)有的芯片頂出機(jī)構(gòu)工作時(shí)芯片穩(wěn)定性較差,容易產(chǎn)生晃動(dòng),亟需改進(jìn)。實(shí)用新型內(nèi)容

[0003] 針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)。[0004] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:[0005] 一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),包括第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂針機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),[0006] 所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),[0007] 所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,[0008] 所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將藍(lán)膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上。[0009] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)氣缸或直線電機(jī),[0010] 所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在氣缸固定座一側(cè),所述氣缸固定座遠(yuǎn)離所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有頂晶底座。


[0011] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出端連接有螺栓以及推塊,[0012] 所述頂針機(jī)構(gòu)包括與所述推塊相連的頂針前后模塊,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有拖鏈板,所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)電機(jī),所述運(yùn)動(dòng)電機(jī)輸出端連接第一拖鏈和第二拖鏈。[0013] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述頂晶底座一側(cè)還固定設(shè)置有頂晶限位塊以及導(dǎo)軌,[0014] 所述運(yùn)動(dòng)氣缸輸出端還連接有無(wú)頭頂絲,所述推塊一側(cè)通過(guò)滑塊與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)配合。[0015] 作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有定位銷釘,[0016] 所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有閥板,所述閥板一側(cè)設(shè)置有電磁閥組件。[0017] 作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括包括擺臂以及設(shè)置在所述擺臂一側(cè)的頂針帽。[0018] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:[0019] 本實(shí)用新型實(shí)施例中,通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)將藍(lán)膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上,相較于現(xiàn)有技術(shù),能夠提高工作時(shí)晶圓芯片的穩(wěn)定性。附圖說(shuō)明[0020] 圖1為一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式[0021] 下面結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本專利的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。[0022] 下面詳細(xì)描述本專利的實(shí)施例,所述實(shí)施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的,僅用于解釋本專利,而不能理解為對(duì)本專利的限制。[0023] 請(qǐng)參閱圖1,本實(shí)施例提供了一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),包括第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂針機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將藍(lán)膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上。[0024] 請(qǐng)參閱圖1,在一個(gè)實(shí)施例中,所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)氣缸15或直線電機(jī),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在氣缸固定座4一側(cè),所述氣缸固定座4遠(yuǎn)離所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有頂晶底座1。[0025] 在設(shè)備工作生產(chǎn)時(shí),運(yùn)動(dòng)氣缸15或直線電機(jī)將頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)到工作位,設(shè)備不工作生產(chǎn)時(shí),運(yùn)動(dòng)氣缸15或直線電機(jī)將頂晶機(jī)構(gòu)歸位到安全位置。[0026] 請(qǐng)參閱圖1,在一個(gè)實(shí)施例中是,所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出端連接有螺栓18以及推塊8,所述頂針機(jī)構(gòu)包括與所述推塊8相連的頂針前后模塊11,所述頂晶底座1一側(cè)設(shè)置有拖鏈板12,所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)電機(jī),所述運(yùn)動(dòng)電機(jī)輸出端連接第一拖鏈13和第二拖鏈19。


[0027] 通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)頂針前后模塊11移動(dòng),從而調(diào)節(jié)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致。[0028] 請(qǐng)參閱圖1,在一個(gè)實(shí)施例中,所述頂晶底座1一側(cè)還固定設(shè)置有頂晶限位塊9以及導(dǎo)軌5,所述運(yùn)動(dòng)氣缸15輸出端還連接有無(wú)頭頂絲14,所述推塊8一側(cè)通過(guò)滑塊3與所述導(dǎo)軌5滑動(dòng)配合。

[0029] 推塊8通過(guò)滑塊3與導(dǎo)軌5的滑動(dòng)配合,可提高推塊8移動(dòng)時(shí)的平穩(wěn)性。[0030] 請(qǐng)參閱圖1,在一個(gè)實(shí)施例中,所述頂晶底座1一側(cè)設(shè)置有定位銷釘10,所述頂晶底座1一側(cè)設(shè)置有閥板16,所述閥板16一側(cè)設(shè)置有電磁閥組件17。[0031] 在一個(gè)實(shí)施例中,所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括包括擺臂以及設(shè)置在所述擺臂一側(cè)的頂針帽。[0032] 本實(shí)用新型實(shí)施例中,通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)將藍(lán)膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上,相較于現(xiàn)有技術(shù),能夠提高工作時(shí)晶圓芯片的穩(wěn)定性。[0033] 上面對(duì)本專利的較佳實(shí)施方式作了詳細(xì)說(shuō)明,但是本專利并不限于上述實(shí)施方式,在本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所具備的知識(shí)范圍內(nèi),還可以在不脫離本專利宗旨的前提下做出各種變化。




聲明:
“轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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