權(quán)利要求書(shū)： 1.一種芯片移栽裝置，其特征在于，所述芯片移栽裝置包括：檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)具有用于檢測(cè)芯片的檢測(cè)位；

托盤(pán)輸送線，用于沿第一方向?qū)⒂糜诔休d芯片的托盤(pán)從遠(yuǎn)離所述檢測(cè)位的一端輸送至靠近所述檢測(cè)位的一端；

吸取機(jī)構(gòu)，用于將處于所述托盤(pán)上的芯片吸取至所述檢測(cè)位；及第一輸送機(jī)構(gòu)與第二輸送機(jī)構(gòu)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)與所述第一輸送機(jī)構(gòu)連接，所述吸取機(jī)構(gòu)與所述第二輸送機(jī)構(gòu)連接，所述第一輸送機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述第二輸送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述吸取機(jī)構(gòu)沿所述第一方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述吸取機(jī)構(gòu)沿與所述第一方向相交的第二方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述托盤(pán)輸送線包括至少兩條，全部所述托盤(pán)輸送線并排且間隔設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片移栽裝置，其特征在于，每條所述托盤(pán)輸送線包括第一安裝板、第一驅(qū)動(dòng)件、第一主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪及用于承載所述托盤(pán)的第一輸送帶，所述第一主動(dòng)輪及所述第一從動(dòng)輪沿所述第一方向間隔裝配于所述第一安裝板上，所述第一主動(dòng)輪與所述第一驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接，所述第一輸送帶套設(shè)于所述第一主動(dòng)輪與所述第一從動(dòng)輪外。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述第一安裝板包括相對(duì)設(shè)置的兩塊，兩塊所述第一安裝板相對(duì)間隔設(shè)置且兩者之間形成第一容納空間，所述第一主動(dòng)輪、所述第一從動(dòng)輪及所述第一輸送帶均設(shè)于所述第一容納空間內(nèi)；

其中，所述托盤(pán)輸送線還包括連接軸，所述第一主動(dòng)輪及所述第一從動(dòng)輪均包括兩個(gè)，所述第一輸送帶包括兩條，兩個(gè)所述第一主動(dòng)輪及兩個(gè)所述第一從動(dòng)輪分別裝配于兩個(gè)所述第一安裝板上，每條所述第一輸送帶套設(shè)于每個(gè)所述第一主動(dòng)輪與所述第一從動(dòng)輪外，其中一個(gè)所述第一主動(dòng)輪與所述第一驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接，兩個(gè)所述第一主動(dòng)輪通過(guò)所述連接軸連接，所述托盤(pán)承載于兩條所述第一輸送帶上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述芯片移栽裝置包括沿所述第一方向延伸的兩個(gè)第一導(dǎo)軌，兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌間隔設(shè)置且兩者之間形成第二容納空間，全部所述托盤(pán)輸送線設(shè)于所述第二容納空間內(nèi)；

其中，所述第二輸送機(jī)構(gòu)的兩端分別與兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌導(dǎo)向配合并架設(shè)于所述托盤(pán)輸送線的上方；和/或

所述芯片移栽裝置包括沿所述第二方向延伸的第二導(dǎo)軌，所述吸取機(jī)構(gòu)與所述第二導(dǎo)軌導(dǎo)向配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括第二安裝板、第二驅(qū)動(dòng)件、第二主動(dòng)輪、第二從動(dòng)輪及第二輸送帶，所述第二主動(dòng)輪及所述第二從動(dòng)輪沿所述第一方向間隔裝配于所述第二安裝板上，所述第二主動(dòng)輪與所述第二驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接，所述第二輸送帶套設(shè)于所述第二主動(dòng)輪與所述第二從動(dòng)輪外；

其中，所述第二輸送機(jī)構(gòu)與所述第二輸送帶固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述第二輸送機(jī)構(gòu)包括與所述第一輸送機(jī)構(gòu)連接的第三安裝板、第三驅(qū)動(dòng)件、第三主動(dòng)輪、第三從動(dòng)輪及第三輸送帶，所述第三主動(dòng)輪、所述第三從動(dòng)輪及所述第三驅(qū)動(dòng)件均裝配于所述第三安裝板上，所述第三主動(dòng)輪與所述第三驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接，所述第三輸送帶套設(shè)于所述第三主動(dòng)輪與所述第三從動(dòng)輪外；

其中，所述吸取機(jī)構(gòu)與所述第三輸送帶固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述芯片移栽裝置還包括第一位置檢測(cè)件及位置限制件，所述第一位置檢測(cè)件用于檢測(cè)所述托盤(pán)是否輸送至第一預(yù)設(shè)位置，所述位置限制件用于限制所述托盤(pán)至所述第一預(yù)設(shè)位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1?8任一項(xiàng)所述的芯片移栽裝置，其特征在于，所述吸取機(jī)構(gòu)包括照相機(jī)，所述照相機(jī)用于定位每個(gè)所述芯片在所述托盤(pán)上的目標(biāo)位置及定位每個(gè)所述檢測(cè)位，以使每個(gè)所述目標(biāo)位置與每個(gè)所述檢測(cè)位相對(duì)應(yīng)。

10.一種分選機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1?9任一項(xiàng)所述的芯片移栽裝置。

說(shuō)明書(shū)： 芯片移栽裝置及分選機(jī)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及芯片移栽技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種芯片移栽裝置及分選機(jī)。背景技術(shù)[0002] 隨著芯片的應(yīng)用范圍及功能特性的增強(qiáng)，芯片在越來(lái)越多的領(lǐng)域得到較為廣泛的應(yīng)用，如工業(yè)、航空航天、軍事或者汽車(chē)輪船等領(lǐng)域。由于芯片具有如此重要的作用，因此對(duì)

芯片的質(zhì)量要求較為嚴(yán)苛。

[0003] 為了保證芯片的質(zhì)量，需要對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)。對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，多采用分選機(jī)，分選機(jī)中，通過(guò)芯片移栽裝置吸取芯片，以將芯片移栽至檢測(cè)位。但是傳統(tǒng)所采用的分選機(jī)

自動(dòng)化程度較低，從而導(dǎo)致芯片檢測(cè)效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 基于此，有必要針對(duì)傳統(tǒng)分選機(jī)自動(dòng)化程度較低從而導(dǎo)致芯片檢測(cè)效率較低的問(wèn)題，提供一種可提高芯片檢測(cè)效率的芯片移栽裝置及分選機(jī)。

[0005] 一種芯片移栽裝置，所述芯片移栽裝置包括：[0006] 檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)具有用于檢測(cè)芯片的檢測(cè)位；[0007] 托盤(pán)輸送線，用于沿第一方向?qū)⒂糜诔休d芯片的托盤(pán)從遠(yuǎn)離所述檢測(cè)位的一端輸送至靠近所述檢測(cè)位的一端；

[0008] 吸取機(jī)構(gòu)，用于將處于所述托盤(pán)上的芯片吸取至所述檢測(cè)位；及[0009] 第一輸送機(jī)構(gòu)與第二輸送機(jī)構(gòu)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)與所述第一輸送機(jī)構(gòu)連接，所述吸取機(jī)構(gòu)與所述第二輸送機(jī)構(gòu)連接，所述第一輸送機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述第二輸送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)

所述吸取機(jī)構(gòu)沿所述第一方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述吸取機(jī)構(gòu)沿與所

述第一方向相交的第二方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

[0010] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述托盤(pán)輸送線包括至少兩條，全部所述托盤(pán)輸送線并排且間隔設(shè)置。

[0011] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，每條所述托盤(pán)輸送線包括第一安裝板、第一驅(qū)動(dòng)件、第一主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪及用于承載所述托盤(pán)的第一輸送帶，所述第一主動(dòng)輪及所述第一從動(dòng)輪

沿所述第一方向間隔裝配于所述第一安裝板上，所述第一主動(dòng)輪與所述第一驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)

端連接，所述第一輸送帶套設(shè)于所述第一主動(dòng)輪與所述第一從動(dòng)輪外。

[0012] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一安裝板包括相對(duì)設(shè)置的兩塊，兩塊所述第一安裝板相對(duì)間隔設(shè)置且兩者之間形成第一容納空間，所述第一主動(dòng)輪、所述第一從動(dòng)輪及所述

第一輸送帶均設(shè)于所述第一容納空間內(nèi)；

[0013] 其中，所述托盤(pán)輸送線還包括連接軸，所述第一主動(dòng)輪及所述第一從動(dòng)輪均包括兩個(gè)，所述第一輸送帶包括兩條，兩個(gè)所述第一主動(dòng)輪及兩個(gè)所述第一從動(dòng)輪分別裝配于

兩個(gè)所述第一安裝板上，每條所述第一輸送帶套設(shè)于每個(gè)所述第一主動(dòng)輪與所述第一從動(dòng)

輪外，其中一個(gè)所述第一主動(dòng)輪與所述第一驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接，兩個(gè)所述第一主動(dòng)輪通

過(guò)所述連接軸連接，所述托盤(pán)承載于兩條所述第一輸送帶上。

[0014] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述芯片移栽裝置包括沿所述第一方向延伸的兩個(gè)第一導(dǎo)軌，兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌間隔設(shè)置且兩者之間形成第二容納空間，全部所述托盤(pán)輸送線設(shè)于

所述第二容納空間內(nèi)；

[0015] 其中，所述第二輸送機(jī)構(gòu)的兩端分別與兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌導(dǎo)向配合并架設(shè)于所述托盤(pán)輸送線的上方；和/或

[0016] 所述芯片移栽裝置包括沿所述第二方向延伸的第二導(dǎo)軌，所述吸取機(jī)構(gòu)與所述第二導(dǎo)軌導(dǎo)向配合。

[0017] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括第二安裝板、第二驅(qū)動(dòng)件、第二主動(dòng)輪、第二從動(dòng)輪及第二輸送帶，所述第二主動(dòng)輪及所述第二從動(dòng)輪沿所述第一方向間隔裝

配于所述第二安裝板上，所述第二主動(dòng)輪與所述第二驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接，所述第二輸送

帶套設(shè)于所述第二主動(dòng)輪與所述第二從動(dòng)輪外；

[0018] 其中，所述第二輸送機(jī)構(gòu)與所述第二輸送帶固定連接。[0019] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二輸送機(jī)構(gòu)包括與所述第一輸送機(jī)構(gòu)連接的第三安裝板、第三驅(qū)動(dòng)件、第三主動(dòng)輪、第三從動(dòng)輪及第三輸送帶，所述第三主動(dòng)輪、所述第三從動(dòng)

輪及所述第三驅(qū)動(dòng)件均裝配于所述第三安裝板上，所述第三主動(dòng)輪與所述第三驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)

動(dòng)端連接，所述第三輸送帶套設(shè)于所述第三主動(dòng)輪與所述第三從動(dòng)輪外；

[0020] 其中，所述吸取機(jī)構(gòu)與所述第三輸送帶固定連接。[0021] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述芯片移栽裝置還包括第一位置檢測(cè)件及位置限制件，所述第一位置檢測(cè)件用于檢測(cè)所述托盤(pán)是否輸送至第一預(yù)設(shè)位置，所述位置限制件用于限

制所述托盤(pán)至所述第一預(yù)設(shè)位置。

[0022] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述吸取機(jī)構(gòu)包括照相機(jī)，所述照相機(jī)用于定位每個(gè)所述芯片在所述托盤(pán)上的第一位置及定位每個(gè)所述檢測(cè)位，以使每個(gè)所述第一位置與每個(gè)所述

檢測(cè)位相對(duì)應(yīng)。

[0023] 一種分選機(jī)，包括如上述任一項(xiàng)所述的芯片移栽裝置。[0024] 上述芯片移栽裝置及分選機(jī)，托盤(pán)輸送線可以將承載芯片的托盤(pán)輸送至靠近檢測(cè)位的位置，通過(guò)第一輸送機(jī)構(gòu)與第二輸送機(jī)構(gòu)的配合，吸取機(jī)構(gòu)可以達(dá)到托盤(pán)處吸取芯片，

并可將芯片輸送至檢測(cè)位以被檢測(cè)，整個(gè)過(guò)程均是分選機(jī)自動(dòng)完成，不需要手動(dòng)操作，自動(dòng)

化程度較高，因此提高了芯片檢測(cè)的檢測(cè)效率。

附圖說(shuō)明[0025] 圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的芯片移栽裝置的結(jié)構(gòu)圖；[0026] 圖2為圖1中所示的芯片移栽裝置的一視角的結(jié)構(gòu)圖；[0027] 圖3為圖1中所示的芯片移栽裝置的另一視角的結(jié)構(gòu)圖；[0028] 圖4為圖1中所示的芯片移栽裝置的托盤(pán)輸送線的一視角的結(jié)構(gòu)圖；[0029] 圖5為圖4中所示的托盤(pán)輸送線的另一視角的結(jié)構(gòu)圖；[0030] 圖6為圖1中所示的芯片移栽裝置的第一輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；[0031] 圖7為圖1中所示的芯片移栽裝置的部分結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；[0032] 圖8為圖1中所示的芯片移栽裝置的吸取機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；[0033] 圖9為圖8中所示的吸取機(jī)構(gòu)的仰視圖。[0034] 100、芯片移栽裝置；10、檢測(cè)機(jī)構(gòu)；11、檢測(cè)位；20、托盤(pán)輸送線；21、第一安裝板；22、第一驅(qū)動(dòng)件；23、第一主動(dòng)輪；24、第一從動(dòng)輪；25、第一輸送帶；26、調(diào)速器；27、連接軸；

28、橫跨板；30、吸取機(jī)構(gòu)；31、第一連接板；32、第一吸取件；33、第二連接板；34、第二吸取

件；35、第四驅(qū)動(dòng)件；351、驅(qū)動(dòng)器；352、螺桿；36、導(dǎo)向件；37、第一限位開(kāi)關(guān)；38、直線軸承；

39、第五驅(qū)動(dòng)件；310、第六驅(qū)動(dòng)件；311、第二限位開(kāi)關(guān)；312、第一調(diào)速件；313、第二調(diào)速件；

314、照相機(jī)；40、第一輸送機(jī)構(gòu)；41、第二安裝板；42、第二驅(qū)動(dòng)件；43、第二主動(dòng)輪；44、第二

從動(dòng)輪；45、第二輸送帶；46、張緊輪；50、第二輸送機(jī)構(gòu)；51、第三安裝板；52、第三驅(qū)動(dòng)件；

53、第三主動(dòng)輪；54、第三從動(dòng)輪；55、第三輸送帶；60、底板；61、第一子板；62、第二子板；70、

第一位置檢測(cè)件；80、位置限位件；81、第一限位氣缸；82、第二限位氣缸；90、第二位置檢測(cè)

件；110、第一導(dǎo)軌；120、第二導(dǎo)軌；130、連接件；200、托盤(pán)。

具體實(shí)施方式[0035] 為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說(shuō)明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分

理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域

技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類(lèi)似改進(jìn)，因此本實(shí)用新型不受下面公

開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。

[0036] 在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、

“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的

方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝

置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型

的限制。

[0037] 此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者

隱含地包括至少一個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè)，例如兩

個(gè)，三個(gè)等，除非另有明確具體的限定。

[0038] 在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是

機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)

元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技

術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

[0039] 在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過(guò)中間媒介間接接觸。而且，第一特

征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅

表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以

是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

[0040] 需要說(shuō)明的是，當(dāng)元件被稱(chēng)為“固定于”或“設(shè)置于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以

是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“垂直的”、“水平

的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及類(lèi)似的表述只是為了說(shuō)明的目的，并不表示是唯一的實(shí)施

方式。

[0041] 參閱圖1，本實(shí)用新型一實(shí)施例提供一種分選機(jī)，分選機(jī)用于將芯片分選至設(shè)定位置，以對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)，從而區(qū)分出合格芯片與不合格芯片。分選機(jī)包括芯片移栽裝置100，

芯片移栽裝置100用于運(yùn)輸承載芯片的托盤(pán)200，且將托盤(pán)200上的芯片吸取至檢測(cè)位11，以

被檢測(cè)。

[0042] 芯片移栽裝置100包括檢測(cè)機(jī)構(gòu)10、托盤(pán)輸送線20、吸取機(jī)構(gòu)30、第一輸送機(jī)構(gòu)40及第二輸送機(jī)構(gòu)50。檢測(cè)機(jī)構(gòu)10具有用于檢測(cè)芯片的檢測(cè)位11，托盤(pán)輸送線20用于沿第一

方向?qū)⒊休d芯片的托盤(pán)200從遠(yuǎn)離檢測(cè)位11的一端輸送至靠近檢測(cè)位11的一端。第二輸送

機(jī)構(gòu)50與第一輸送機(jī)構(gòu)40連接，吸取機(jī)構(gòu)30與第二輸送機(jī)構(gòu)50連接，第一輸送機(jī)構(gòu)40用于

驅(qū)動(dòng)第二輸送機(jī)構(gòu)50帶動(dòng)吸取機(jī)構(gòu)30沿第一方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第二輸送機(jī)構(gòu)50用于驅(qū)動(dòng)吸取

機(jī)構(gòu)30沿與第一方向相交的第二方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。吸取機(jī)構(gòu)30用于吸取托盤(pán)200上的芯片，且

在上述第一輸送機(jī)構(gòu)40與第二輸送機(jī)構(gòu)50的共同作用下使吸取機(jī)構(gòu)30將芯片運(yùn)輸至檢測(cè)

位11，以在檢測(cè)位11被檢測(cè)。

[0043] 本實(shí)用新型實(shí)施例提供的分選機(jī)，托盤(pán)輸送線20可以將承載芯片的托盤(pán)200輸送至靠近檢測(cè)位11的位置，通過(guò)第一輸送機(jī)構(gòu)40與第二輸送機(jī)構(gòu)50的配合，吸取機(jī)構(gòu)30可以

達(dá)到托盤(pán)200處吸取芯片，并可將芯片輸送至檢測(cè)位11以被檢測(cè)，整個(gè)過(guò)程均是分選機(jī)自動(dòng)

完成，不需要手動(dòng)操作，自動(dòng)化程度較高，因此提高了芯片檢測(cè)的檢測(cè)效率。

[0044] 在一個(gè)實(shí)施例中，上述第一方向與第二方向垂直，如果定義第一方向?yàn)閅方向，則第二方向?yàn)榕cY方向相垂直的X方向。應(yīng)當(dāng)理解的是，在另一些實(shí)施例中，第一方向與第二方

向也可以非垂直設(shè)置，在此不作限定。

[0045] 芯片移栽裝置100包括控制器，檢測(cè)機(jī)構(gòu)10、托盤(pán)輸送線20、第一輸送機(jī)構(gòu)40、第二輸送機(jī)構(gòu)50及吸取機(jī)構(gòu)30均與控制器電連接，控制器控制檢測(cè)機(jī)構(gòu)10、托盤(pán)輸送線20、第一

輸送機(jī)構(gòu)40、第二輸送機(jī)構(gòu)50及吸取機(jī)構(gòu)30協(xié)同工作。

[0046] 繼續(xù)參閱圖1及圖2，在一個(gè)實(shí)施例中，芯片移栽裝置100包括底板60，檢測(cè)機(jī)構(gòu)10、托盤(pán)輸送線20、第一輸送機(jī)構(gòu)40、第二輸送機(jī)構(gòu)50及吸取機(jī)構(gòu)30均安裝于底板60時(shí)，此時(shí)底

板60作為整個(gè)芯片移栽裝置100的安裝基礎(chǔ)。可以理解的是，在另一些實(shí)施例中，芯片移栽

裝置100也可以省略底板60，在此不作限定。

[0047] 參閱圖3，具體地，底板60包括第一子板61及第二子板62，檢測(cè)機(jī)構(gòu)10設(shè)于第一子板61上，第一輸托盤(pán)輸送線20、第一輸送機(jī)構(gòu)40、第二輸送機(jī)構(gòu)50及吸取機(jī)構(gòu)30均設(shè)于第二

子板62上。在一種實(shí)施方式中，第一子板61與第二子板62一體設(shè)置。在另一種實(shí)施方式中，

第一子板61與第二子板62分體設(shè)置。

[0048] 在一個(gè)實(shí)施例中，托盤(pán)輸送線20包括至少兩條，全部托盤(pán)輸送線20并排且間隔設(shè)置，如此可以芯片移栽裝置100在同一時(shí)刻輸送多個(gè)托盤(pán)200。

[0049] 參閱圖4及圖5，每條托盤(pán)輸送線20包括第一安裝板21、第一驅(qū)動(dòng)件22、第一主動(dòng)輪23、第一從動(dòng)輪24及用于承載托盤(pán)200的第一輸送帶25，第一安裝板21及第一驅(qū)動(dòng)件22均安

裝于第二子板62上。第一主動(dòng)輪23及第二從動(dòng)輪44沿第一方向間隔裝配于第一安裝板21

上，第一主動(dòng)輪23與第一驅(qū)動(dòng)件22的驅(qū)動(dòng)端連接，第一輸送帶25套設(shè)于第一主動(dòng)輪23及第

一從動(dòng)輪24外。如此，第一驅(qū)動(dòng)件22驅(qū)動(dòng)第一主動(dòng)輪23轉(zhuǎn)動(dòng)，在第一輸送帶25的作用下帶動(dòng)

第一從動(dòng)輪24轉(zhuǎn)動(dòng)，第一輸送帶25將位于其上的托盤(pán)200運(yùn)輸至靠近檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的一端。應(yīng)

當(dāng)理解的是，托盤(pán)輸送線20還可以采用其他設(shè)置方式，在此不作限定。

[0050] 具體地，第一驅(qū)動(dòng)件22為驅(qū)動(dòng)電機(jī)，第一驅(qū)動(dòng)件22通過(guò)其他傳輸帶及帶輪與第一主動(dòng)輪23連接。第一輸送機(jī)構(gòu)40還包括調(diào)速器26，調(diào)速器26與第一驅(qū)動(dòng)件22連接，以調(diào)節(jié)第

一驅(qū)動(dòng)件22運(yùn)行的速度，從而調(diào)節(jié)托盤(pán)200運(yùn)動(dòng)向檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的速度。

[0051] 繼續(xù)參閱圖4，在一個(gè)實(shí)施例中，芯片移栽裝置100還包括與控制器電連接的第一位置檢測(cè)件70及位置限位件80，第一位置檢測(cè)件70用于檢測(cè)托盤(pán)200是否輸送至第一預(yù)設(shè)

位置，位置限位件80用于將托盤(pán)200限位至第一預(yù)設(shè)位置。具體地，該第一預(yù)設(shè)位置可以設(shè)

定為距離檢測(cè)機(jī)構(gòu)10一定距離的位置，可以依據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定。如此設(shè)置，可以確保托盤(pán)

200輸送至第一預(yù)設(shè)位置，以保證輸送的準(zhǔn)確性。

[0052] 進(jìn)一步，第一位置檢測(cè)件70為光電開(kāi)關(guān)，位置限位件80為限位氣缸，當(dāng)光電開(kāi)關(guān)檢測(cè)托盤(pán)200運(yùn)輸至第一預(yù)設(shè)位置時(shí)，控制器控制第一驅(qū)動(dòng)件22停止動(dòng)作，限位氣缸動(dòng)作將托

盤(pán)200限位至第一預(yù)設(shè)位置。

[0053] 具體地，限位氣缸包括第一限位氣缸81及第二限位氣缸82，當(dāng)托盤(pán)200運(yùn)輸至第一預(yù)設(shè)位置時(shí)，第一限位氣缸81抵接于托盤(pán)200的側(cè)面，第二限位氣缸82抵接于托盤(pán)200的底

面，從而保證托盤(pán)200的位置固定，保證托盤(pán)200運(yùn)行位置的準(zhǔn)確性。同時(shí)，由于第二限位氣

缸82抵接于托盤(pán)200的底面，如此可以使托盤(pán)200微微脫離第一輸送帶25，避免托盤(pán)200在第

一輸送帶25上上下晃動(dòng)，定位準(zhǔn)確。更具體地，芯片移栽裝置100還包括電磁閥140，電磁閥

140控制第二限位氣缸82動(dòng)作。

[0054] 在另一個(gè)實(shí)施例中，芯片移栽裝置100還包括與控制器電連接的第二位置檢測(cè)件90，第二位置檢測(cè)件90用于檢測(cè)托盤(pán)200是否輸送至第二預(yù)設(shè)位置，當(dāng)托盤(pán)200輸送至第二

預(yù)設(shè)位置時(shí)，控制器控制第一驅(qū)動(dòng)件22減速運(yùn)行。具體地，第二位置檢測(cè)件90也為光電開(kāi)

關(guān)。

[0055] 在一個(gè)實(shí)施例中，第一安裝板21包括相對(duì)設(shè)置的兩塊，兩塊第一安裝板21相對(duì)間隔設(shè)置且兩者之間形成第一容納空間，第一主動(dòng)輪23、第一從動(dòng)輪24及第一輸送帶25均設(shè)

于第一容納空間內(nèi)。具體地，第一驅(qū)動(dòng)件22也設(shè)于第一容納空間內(nèi)。

[0056] 托盤(pán)輸送線20還包括連接軸27，第一主動(dòng)輪23及第一從動(dòng)輪24均包括兩個(gè)，第一輸送帶25包括兩條，兩個(gè)第一主動(dòng)輪23及兩個(gè)第一從動(dòng)輪24分別裝配于兩個(gè)第一安裝板21

上，每條第一輸送帶25套設(shè)于每個(gè)第一主動(dòng)輪23與第一從動(dòng)輪24外，其中一個(gè)第一主動(dòng)輪

23與第一驅(qū)動(dòng)件22的驅(qū)動(dòng)端連接，兩個(gè)第一主動(dòng)輪23通過(guò)連接軸27連接。

[0057] 通過(guò)上述設(shè)置，第一驅(qū)動(dòng)件22驅(qū)動(dòng)與其連接的第一主動(dòng)輪23運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一主動(dòng)輪23通過(guò)連接軸27帶動(dòng)另一個(gè)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，在兩條第一輸送帶25的作用下，帶動(dòng)兩個(gè)第一從

動(dòng)輪24轉(zhuǎn)動(dòng)，托盤(pán)200承載于兩條第一輸送帶25上，保證了運(yùn)輸托盤(pán)200的穩(wěn)定性。

[0058] 應(yīng)當(dāng)想到的是，在另一些實(shí)施例中，第一主動(dòng)輪23、第一從動(dòng)輪24及第一輸送帶25的數(shù)量不受限定。

[0059] 具體地，托盤(pán)輸送線20還包括橫跨板28，橫跨板28位于托盤(pán)輸送線20靠近檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的一端，且橫跨板28的兩端分別與兩塊第一安裝板21連接，第一位置檢測(cè)件70安裝于

橫跨板28上。第二位置檢測(cè)件90及第一限位氣缸81安裝于第一安裝板21上，第二限位氣缸

82及電磁閥140安裝于第二子板62上。

[0060] 繼續(xù)參閱圖1?圖3，在一個(gè)實(shí)施例中，芯片移栽裝置100包括沿第一方向延伸的兩個(gè)第一導(dǎo)軌110，第一導(dǎo)軌110設(shè)于第二子板62上，兩個(gè)第一導(dǎo)軌110間隔設(shè)置且兩者之間形

成第二容納空間，全部托盤(pán)輸送線20及第一輸送機(jī)構(gòu)40均設(shè)于第二容納空間內(nèi)。其中，第二

輸送機(jī)構(gòu)50的兩端分別與兩個(gè)第一導(dǎo)軌110導(dǎo)向配合，且第二輸送機(jī)構(gòu)50架設(shè)于托盤(pán)輸送

線20的上方。

[0061] 通過(guò)設(shè)置第一導(dǎo)軌110，則第一輸送機(jī)構(gòu)40驅(qū)動(dòng)第二輸送機(jī)構(gòu)50帶動(dòng)吸取機(jī)構(gòu)30沿第一方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一導(dǎo)軌110可以起到導(dǎo)向第二輸送機(jī)構(gòu)50及吸取機(jī)構(gòu)30的作用，以保

證第二輸送機(jī)構(gòu)50及吸取機(jī)構(gòu)30運(yùn)輸位置的準(zhǔn)確性。

[0062] 參閱圖6，第一輸送機(jī)構(gòu)40包括第二安裝板41、第二驅(qū)動(dòng)件42、第二主動(dòng)輪43、第二從動(dòng)輪44及第二輸送帶45，第二主動(dòng)輪43及第二從動(dòng)輪44沿第一方向間隔裝配于第二安裝

板41上，第二主動(dòng)輪43與第二驅(qū)動(dòng)件42的驅(qū)動(dòng)端連接，第二輸送帶45套設(shè)于第二主動(dòng)輪43

與第二從動(dòng)輪44外，第二輸送機(jī)構(gòu)50與第二輸送帶45固定連接。第一輸送機(jī)構(gòu)40還包括張

緊輪46，張緊輪46與第二安裝板41連接，用于張緊第二輸送帶45。

[0063] 具體地，第二輸送機(jī)構(gòu)50的兩端分別與兩個(gè)第一導(dǎo)軌110導(dǎo)向配合，中間位置通過(guò)連接件130與第二輸送帶45固定連接。

[0064] 通過(guò)上述設(shè)置，第二驅(qū)動(dòng)件42驅(qū)動(dòng)第二主動(dòng)輪43轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)第二輸送帶45帶動(dòng)第二從動(dòng)輪44轉(zhuǎn)動(dòng)，第二輸送帶45運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)第二輸送機(jī)構(gòu)50沿第一方向運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了吸

取機(jī)構(gòu)30在第一方向上的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。具體地，第二驅(qū)動(dòng)件42為驅(qū)動(dòng)電機(jī)。應(yīng)當(dāng)理解的是，在

另一些實(shí)施例中，第一輸送機(jī)構(gòu)40還可以采用其他方式設(shè)置，在此不作限定。

[0065] 繼續(xù)參閱圖1，在一個(gè)實(shí)施例中，芯片移栽裝置100還包括沿第二方向延伸的第二導(dǎo)軌120，吸取機(jī)構(gòu)30與第二導(dǎo)軌120導(dǎo)向配合。通過(guò)設(shè)置第二導(dǎo)軌120，則吸取機(jī)構(gòu)30沿第

二方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二導(dǎo)軌120可以起到導(dǎo)向吸取機(jī)構(gòu)30的作用，以保證吸取機(jī)構(gòu)30運(yùn)輸位置

的準(zhǔn)確性。具體地，第二導(dǎo)軌120與第二輸送機(jī)構(gòu)50固定連接。

[0066] 繼續(xù)參閱圖1?圖3，以及參閱圖7，第二輸送機(jī)構(gòu)50包括第三安裝板51、第三驅(qū)動(dòng)件52、第三主動(dòng)輪53、第三從動(dòng)輪54及第三輸送帶55，第二導(dǎo)軌120與第三安裝板51固定連接，

第三主動(dòng)輪53、第三從動(dòng)輪54及第三驅(qū)動(dòng)件52均裝配于第三安裝板51上，第三主動(dòng)輪53及

第三驅(qū)動(dòng)件52的驅(qū)動(dòng)端連接，第三輸送帶55套設(shè)于第三主動(dòng)輪53及第三從動(dòng)輪54外，吸取

機(jī)構(gòu)30與第三輸送帶55固定連接。

[0067] 通過(guò)上述設(shè)置，第三驅(qū)動(dòng)件52驅(qū)動(dòng)第三主動(dòng)輪53轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)第三輸送帶55帶動(dòng)第三從動(dòng)輪54轉(zhuǎn)動(dòng)，第三輸送帶55運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)吸取機(jī)構(gòu)30沿第二方向運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了吸取機(jī)

構(gòu)30沿第二方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。具體地，第三驅(qū)動(dòng)件52為驅(qū)動(dòng)電機(jī)。應(yīng)當(dāng)理解的是，在另一些

實(shí)施例中，第二輸送機(jī)構(gòu)50還可以采用其他方式設(shè)置，在此不作限定。

[0068] 參閱圖8及圖9，吸取機(jī)構(gòu)30包括第一連接板31、第一吸取件32、第二連接板33、第二吸取件34及第四驅(qū)動(dòng)件35，第一吸取件32安裝于第一連接板31上，第二吸取件34安裝于

第二連接板33上，第四驅(qū)動(dòng)件35與第一連接板31及第二連接板33連接，用于驅(qū)動(dòng)第一連接

板31與第二連接板33相互靠近或遠(yuǎn)離，以帶動(dòng)第一吸取件32與第二吸取件34相互靠近或遠(yuǎn)

離。

[0069] 通過(guò)上述設(shè)置，吸取機(jī)構(gòu)30的第一吸取件32與第二吸取件34之間的距離可以改變，從而便于吸取不同間距的芯片，給吸取帶來(lái)了便利。

[0070] 具體地，吸取機(jī)構(gòu)30還包括導(dǎo)向件36，導(dǎo)向件36穿設(shè)于第一連接板31與第二連接板33，以導(dǎo)向第一連接板31和/或第二連接板33。在導(dǎo)向件36的導(dǎo)向作用下，在第一連接板

31與第二連接板33相互靠近或遠(yuǎn)離的過(guò)程中，保證了第一連接板31與第二連接板33的運(yùn)行

平穩(wěn)性。具體地，導(dǎo)向件36為導(dǎo)向桿。

[0071] 第四驅(qū)動(dòng)件35包括驅(qū)動(dòng)器351及螺桿352，驅(qū)動(dòng)器351裝配于第一連接板31上，螺桿352的一端穿設(shè)于第一連接板31且與驅(qū)動(dòng)器351的驅(qū)動(dòng)端連接，螺桿352的另一端穿設(shè)于第

二連接板33。其中，驅(qū)動(dòng)器351驅(qū)動(dòng)螺桿352轉(zhuǎn)動(dòng)，螺桿352驅(qū)動(dòng)第二連接板33向靠近或遠(yuǎn)離

第一連接板31的方向運(yùn)動(dòng)。即為，此時(shí)第一連接板31作為固定板，第二連接板33作為移動(dòng)板

向靠近或遠(yuǎn)離第一連接板31的方向運(yùn)動(dòng)。

[0072] 在一個(gè)實(shí)施例中，第一連接板31或第二連接板33上裝配有第一限位開(kāi)關(guān)37，當(dāng)?shù)诙B接板33相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)至第三預(yù)設(shè)位置時(shí)，第一限位開(kāi)關(guān)37觸發(fā)，此時(shí)控制

器將控制第四驅(qū)動(dòng)件35停止動(dòng)作，也即為此時(shí)第二連接板33相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)至極

限位置。

[0073] 在另一個(gè)實(shí)施例中，吸取機(jī)構(gòu)30還包括直線軸承38，直線軸承38裝配于第一連接板31和/或第二連接板33內(nèi)，導(dǎo)向件36穿設(shè)于直線軸承38內(nèi)。在一個(gè)具體實(shí)施方式中，直線

軸承38裝配于作為固定板的第一連接板31內(nèi)，導(dǎo)向件36的一端可動(dòng)地設(shè)于直線軸承38內(nèi)，

導(dǎo)向件36的另一端穿設(shè)固定于第二連接板33。此時(shí)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)器351驅(qū)動(dòng)螺桿352轉(zhuǎn)動(dòng)，螺桿

352驅(qū)動(dòng)第二連接板33相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)時(shí)，直線軸承38不動(dòng)，導(dǎo)向件36在直線軸承

38內(nèi)運(yùn)動(dòng)以導(dǎo)向。在另一個(gè)具體實(shí)施方式中，直線軸承38裝配于作為移動(dòng)板的第二連接板

33內(nèi)，導(dǎo)向件36的一端可動(dòng)地設(shè)于直線軸承38內(nèi)，導(dǎo)向件36的另一端穿設(shè)固定于第一連接

板31。此時(shí)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)器351驅(qū)動(dòng)螺桿352轉(zhuǎn)動(dòng)，螺桿352驅(qū)動(dòng)第二連接板33相對(duì)于第一連接板

31運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)向件36保持不動(dòng)，直線軸承38與第二連接板33共同運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向件36與直線軸承

38之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)以導(dǎo)向。

[0074] 吸取機(jī)構(gòu)30還包括第五驅(qū)動(dòng)件39及第六驅(qū)動(dòng)件310，第五驅(qū)動(dòng)件39安裝于第一連接板31上用于驅(qū)動(dòng)第一吸取件32相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)，第六驅(qū)動(dòng)件310安裝于第二連

接板33上用于驅(qū)動(dòng)第二吸取件34相對(duì)于第二連接板33運(yùn)動(dòng)。如此設(shè)置，當(dāng)?shù)谝惠斔蜋C(jī)構(gòu)40

與第二輸送機(jī)構(gòu)50驅(qū)動(dòng)吸取機(jī)構(gòu)30運(yùn)動(dòng)至托盤(pán)200上方時(shí)，第五驅(qū)動(dòng)件39可以驅(qū)動(dòng)第一吸

取件32相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)以吸取位于托盤(pán)200上的芯片，第六驅(qū)動(dòng)件310可以驅(qū)動(dòng)第

二吸取件34相對(duì)于第二連接板33運(yùn)動(dòng)以吸取位于托盤(pán)200上的芯片。當(dāng)?shù)谝晃〖?2與第

二吸取件34吸取完成后，第五驅(qū)動(dòng)件39驅(qū)動(dòng)第一吸取件32反向運(yùn)動(dòng)，第六驅(qū)動(dòng)件310驅(qū)動(dòng)第

二吸取件34反向運(yùn)動(dòng)，以使被吸取的芯片提升至一定的高度。最后，再操作第一輸送機(jī)構(gòu)40

與第二輸送機(jī)構(gòu)50帶動(dòng)吸取機(jī)構(gòu)30運(yùn)動(dòng)，重復(fù)上述操作將芯片放置于檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的檢測(cè)位

11。

[0075] 具體地，第五驅(qū)動(dòng)件39及第六驅(qū)動(dòng)件310均為驅(qū)動(dòng)氣缸。當(dāng)然，在另一些實(shí)施例中，第五驅(qū)動(dòng)件39與第六驅(qū)動(dòng)件310的類(lèi)型不作限定。

[0076] 在一個(gè)實(shí)施例中，吸取機(jī)構(gòu)30還包括安裝于第一連接板31上的第二限位開(kāi)關(guān)311，當(dāng)?shù)谝晃〖?2相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)至第四預(yù)設(shè)位置時(shí)，第二限位開(kāi)關(guān)311觸發(fā)，第五

驅(qū)動(dòng)件39停止動(dòng)作。吸取機(jī)構(gòu)30還包括安裝于第二連接板33上的第三限位開(kāi)關(guān)，當(dāng)?shù)诙?br>
取件34相對(duì)于第二連接板33運(yùn)動(dòng)至第五預(yù)設(shè)位置時(shí)，第三限位開(kāi)關(guān)觸發(fā)。通過(guò)上述設(shè)置，可

以保證第一吸取件32與第二吸取件34上下處于設(shè)定位置。

[0077] 在另一個(gè)實(shí)施例中，吸取機(jī)構(gòu)30還包括安裝于第一連接板31上的第一調(diào)速件312，第一調(diào)速件312用于調(diào)節(jié)第一吸取件32相對(duì)于第一連接板31運(yùn)動(dòng)的速度。具體地，第一調(diào)速

件312可以調(diào)節(jié)第五驅(qū)動(dòng)件39的活塞桿的運(yùn)動(dòng)速度，以調(diào)節(jié)第一吸取件32相對(duì)于第一連接

板31運(yùn)動(dòng)的速度，以使第一吸取件32的速度處于預(yù)設(shè)速度范圍內(nèi)，保證第一吸取件32取放

芯片的穩(wěn)定性。

[0078] 進(jìn)一步，吸取機(jī)構(gòu)30還包括安裝于第二連接板33上的第二調(diào)速件313，第二調(diào)速件313用于調(diào)節(jié)第二吸取件34相對(duì)于第二連接板33運(yùn)動(dòng)的速度。具體地，第二調(diào)速件313可以

調(diào)節(jié)第六驅(qū)動(dòng)件310的活塞桿的運(yùn)動(dòng)速度，以調(diào)節(jié)第二吸取件34相對(duì)于第二連接板33運(yùn)動(dòng)

的速度，以使第二吸取件34的速度處于預(yù)設(shè)速度范圍內(nèi)，保證第二吸取件34取放芯片的穩(wěn)

定性。

[0079] 在另一個(gè)實(shí)施例中，吸取機(jī)構(gòu)30還包括照相機(jī)314，照相機(jī)314安裝于第一連接板31或第二連接板33上，照相機(jī)314用于定位每個(gè)芯片的位置。在本具體實(shí)施例中，照相機(jī)314

用于定位每個(gè)芯片在托盤(pán)200上的目標(biāo)位置，以使每個(gè)目標(biāo)位置與每個(gè)檢測(cè)位11相對(duì)應(yīng)。這

樣，可以保證位于托盤(pán)200相應(yīng)位置的托盤(pán)200，被吸取至相對(duì)應(yīng)的檢測(cè)位11進(jìn)行檢測(cè)。

[0080] 照相機(jī)314在工作時(shí)，可以在托盤(pán)200上選定原點(diǎn)，通過(guò)判斷托盤(pán)200上每個(gè)目標(biāo)位置與原點(diǎn)之間的距離，來(lái)確定每個(gè)目標(biāo)位置的坐標(biāo)值。同理，在檢測(cè)機(jī)構(gòu)10上選定原定，通

過(guò)判斷每個(gè)檢測(cè)位11與原點(diǎn)之間的距離，來(lái)確定每個(gè)檢測(cè)位11的坐標(biāo)值。當(dāng)目標(biāo)位置的坐

標(biāo)值與檢測(cè)位11的坐標(biāo)值相對(duì)應(yīng)時(shí)，則證明該目標(biāo)位置與該檢測(cè)位11相對(duì)應(yīng)。

[0081] 本實(shí)用新型一實(shí)施例還提供一種上述分選機(jī)所包括的芯片移栽裝置100。[0082] 本實(shí)用新型實(shí)施例提供的芯片移栽裝置100及分選機(jī)的工作原理如下：[0083] 托盤(pán)輸送線20將托盤(pán)200從遠(yuǎn)離檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的一端輸送至靠近檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的一端；在第一輸送機(jī)構(gòu)40與第二輸送機(jī)構(gòu)50的輸送作用，以及第一導(dǎo)軌110及第二導(dǎo)軌120的

導(dǎo)向作用下，將吸取機(jī)構(gòu)30輸送至靠近托盤(pán)200的位置，并使吸取機(jī)構(gòu)30的第一吸取件32及

第二吸取件34處于托盤(pán)200的上方；吸取機(jī)構(gòu)30的第四驅(qū)動(dòng)件35調(diào)整第一吸取件32與第二

吸取件34之間的間距；第五驅(qū)動(dòng)件39與第六驅(qū)動(dòng)件310分別驅(qū)動(dòng)第一吸取件32與第二吸取

件34吸取處于托盤(pán)200上的芯片；照相機(jī)314找準(zhǔn)第一吸取件32與第二吸取件34吸取的芯片

在托盤(pán)200上的目標(biāo)位置。

[0084] 第一輸送機(jī)構(gòu)40與第二輸送機(jī)構(gòu)50再次動(dòng)作，將吸取機(jī)構(gòu)30的第一吸取件32與第二吸取件34輸送至檢測(cè)機(jī)構(gòu)10的上方，照相機(jī)314找準(zhǔn)每個(gè)檢測(cè)位11的位置，第五驅(qū)動(dòng)件39

及第六驅(qū)動(dòng)件310分別驅(qū)動(dòng)第一吸取件32與第二吸取件34運(yùn)動(dòng)以將芯片放置于相對(duì)應(yīng)的檢

測(cè)位11進(jìn)行檢測(cè)。

[0085] 以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡(jiǎn)潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存

在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說(shuō)明書(shū)記載的范圍。

[0086] 以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技

術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于

本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專(zhuān)利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。