權(quán)利要求書： 1.一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，包括大樣品臺和帶燕尾槽的底座，其特征在于，所述電鏡樣品臺還包括小樣品臺和轉(zhuǎn)柄；所述大樣品臺上面和下面分別設(shè)置有若干個圓孔和螺孔；小樣品臺通過其上的螺桿安裝在大樣品臺的螺孔中，小樣品臺螺桿的端部安裝固定在轉(zhuǎn)柄螺孔中；所述帶燕尾槽的底座安裝在大樣品臺下面，燕尾槽槽口朝下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述大樣品臺上開有九個圓孔，沿圓周方向均勻分布8個，大樣品臺中心一個圓孔，每個圓孔的垂直方向的上部是圓孔，下部是螺孔，所述圓孔與螺孔的中心線重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述小樣品臺上部為T形圓臺結(jié)構(gòu)，下部為螺紋結(jié)構(gòu)；下部螺紋與轉(zhuǎn)柄螺孔相配；所述大樣品臺共配置9個小樣品臺。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述轉(zhuǎn)柄為圓柱形，長度方向的中心線開有螺孔，轉(zhuǎn)柄外圓制有滾紋，每小樣品臺配置一個轉(zhuǎn)柄。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述大樣品臺下部安裝有帶燕尾槽的底座，底座避開螺孔位置；底座?蓋中心螺孔的位置處，開有直徑大于轉(zhuǎn)柄的圓孔；所述帶燕尾槽的底座通過螺栓與大樣品臺連接固定；大樣品臺底部的燕尾槽結(jié)構(gòu)與蔡司掃描電鏡的樣品臺連接機(jī)構(gòu)相配合。

說明書： 一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，屬電鏡輔助設(shè)施技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)[0002] 掃描電子顯微鏡和X射線能譜儀已成為檢測物質(zhì)性能的重要手段。[0003] 我國目前已經(jīng)擁有相當(dāng)數(shù)量的掃描電鏡和能譜儀，廣泛用于金屬、陶瓷、高分子、礦產(chǎn)和食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結(jié)構(gòu)分析、微區(qū)成分分析等，是不可替代的設(shè)備。其工作原理是掃描電鏡電子槍發(fā)射出電子束，經(jīng)加速和匯聚后，形成高能電子束，轟擊在樣品表面，產(chǎn)生一系列光電信號，不同信號探測器對其進(jìn)行收集，獲得顯微圖像和能譜。要獲得良好的圖像質(zhì)量和準(zhǔn)確的能譜數(shù)據(jù)，需要調(diào)整合適的加速電壓，電子束電流和工作距離等參數(shù)。一般情況下，工作距離在8mm?10mm左右可以獲得良好的圖像質(zhì)量和準(zhǔn)確的能譜數(shù)據(jù)。[0004] 目前商業(yè)化的掃描電鏡樣品臺結(jié)構(gòu)簡單，多為單一圓盤型結(jié)構(gòu)，例如蔡司EO18的樣品臺。為了確保圖像質(zhì)量以及獲得準(zhǔn)確的能譜數(shù)據(jù)，要求同一批次的待觀測樣品高度相近，然而實際工作中經(jīng)常出現(xiàn)待測試樣品高度不同的情況，不同高度樣品需要分批次測試。掃描電鏡每次在觀測樣品時,都需要抽到一定真空度,換樣時,需要泄真空 ,大概共10分鐘左右時間,樣品臺結(jié)構(gòu)單一,無法調(diào)節(jié)，限制了觀測效率，增加了實驗成本。

[0005] 因此，設(shè)計高度可調(diào)節(jié)的樣品臺對于兼顧掃描電鏡測試的準(zhǔn)確性和測試效率是非常必要的。發(fā)明內(nèi)容[0006] 本實用新型的目的是，為了克服現(xiàn)有產(chǎn)品存在的上述缺點，提供一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺?？蓪⒉煌叨鹊臉悠酚谕慌螠y試，提高了測試效率高、降低了實驗成本，同時保證掃描圖像質(zhì)量以及能譜數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。[0007] 本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)方案如下，一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，包括大樣品臺、帶燕尾槽的底座、小樣品臺和轉(zhuǎn)柄；小樣品臺下部螺桿安裝在大樣品臺的螺孔中，小樣品臺的下部螺桿端部安裝固定在轉(zhuǎn)柄螺孔中；所述大樣品臺上的圓孔與螺孔的中心線重合。所述帶燕尾槽的底座通過螺栓安裝固定在大樣品臺下面，燕尾槽槽口朝下。[0008] 所述大樣品臺上開有九個圓孔，沿圓周方向均勻分布8個，大樣品臺中心一個圓孔，每個圓孔的垂直方向的上部是圓孔，下部是螺孔。[0009] 所述小樣品臺上部為T形圓臺結(jié)構(gòu)，下部為螺紋結(jié)構(gòu)；[0010] 所述轉(zhuǎn)柄為圓柱形，長度方向的中心線開有螺孔，轉(zhuǎn)柄螺孔與小樣品臺下部螺桿相匹配。[0011] 通過所述轉(zhuǎn)柄的轉(zhuǎn)動帶動螺桿轉(zhuǎn)動，螺桿轉(zhuǎn)動帶動小樣品臺上升；當(dāng)小樣品臺需要下降時，只需反向轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)柄，則小樣品臺在螺紋作用下，隨之也下降，從而實現(xiàn)小樣品臺在垂直方向上高度的調(diào)整。[0012] 所述大樣品臺下部安裝有帶燕尾槽的底座，底座避開螺孔位置；底座?蓋中心螺孔的位置處，開有直徑大于轉(zhuǎn)柄的圓孔；所述帶燕尾槽的底座通過螺栓與大樣品臺連接固定；大樣品臺底部的燕尾槽結(jié)構(gòu)與蔡司掃描電鏡的樣品臺連接機(jī)構(gòu)相配合。[0013] 本實用新型的有益效果如下，本實用新型用于掃描電鏡的樣品臺，通過帶螺桿的小樣品臺、轉(zhuǎn)柄和大樣品臺的配合，實現(xiàn)轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)柄，帶動小樣品臺下部的螺桿在大樣品臺螺紋孔內(nèi)上下轉(zhuǎn)動，從而使小樣品臺在大樣品臺上實現(xiàn)上升或下降，實現(xiàn)對單個小樣品臺高度調(diào)節(jié)的目的。解決了傳統(tǒng)樣品臺無法在同一批次觀察不同高度樣品的問題，提高實驗效率和準(zhǔn)確性，降低了實驗成本。附圖說明[0014] 圖1為本實用新型掃描電鏡樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖；[0015] 圖2為大樣品臺與帶燕尾槽的底座的位置結(jié)構(gòu)示意圖；[0016] 圖3為大樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖；[0017] 圖4為大樣品臺局部剖視圖；[0018] 圖5為小樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖；[0019] 圖6為轉(zhuǎn)柄的結(jié)構(gòu)示意圖；[0020] 圖中，1是大樣品臺；2是帶燕尾槽的底座；3是小樣品臺；4是轉(zhuǎn)柄；5是螺栓；6是圓孔；7是螺孔。實施方式

[0021] 如圖1和圖3所示，本實施例一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，包括大樣品臺1、帶燕尾槽的底座2、小樣品臺3、轉(zhuǎn)柄4。小樣品臺3通過其下部的螺桿安裝在大樣品臺的螺孔6中；小樣品臺3下部螺桿的端部安裝固定在轉(zhuǎn)柄4的螺孔中；所述大樣品臺上的圓孔6與螺孔7的中心線重合。所述帶燕尾槽的底座2通過螺栓5安裝固定在大樣品臺1下面，燕尾槽槽口朝下。

[0022] 如圖3和圖4所示，本實施例的大樣品臺1上開有九個圓孔，沿圓周方向均勻分布8個，大樣品臺中心一個圓孔，每個圓孔的垂直方向的上部是圓孔6，下部是螺孔7，圓孔6的直徑略大于螺孔7的外徑。[0023] 如圖5所示，本實施例的小樣品臺3為T形圓臺結(jié)構(gòu)，上部為T形圓臺，下部為螺桿結(jié)構(gòu)。[0024] 如圖6所示，本實施例的轉(zhuǎn)柄4為圓柱形，外圓制有滾紋；長度方向的一端中心線開有螺孔，螺孔與小樣品臺3下部的螺桿相配，螺桿一端旋入大樣品臺1的螺孔內(nèi)；小樣品臺3下部的螺桿端部安裝固定在轉(zhuǎn)柄4的螺孔中。[0025] 本實施例一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺配備9個小樣品臺和9轉(zhuǎn)柄，每個小樣品3臺配置一個轉(zhuǎn)柄4；大樣品臺1上的每個螺孔配備一個小樣品臺3。[0026] 本實施例通過所述轉(zhuǎn)柄4的轉(zhuǎn)動帶動小樣品臺的螺桿轉(zhuǎn)動，螺桿轉(zhuǎn)動帶動小樣品臺上升；當(dāng)小樣品臺3需要下降時，只需反向轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)柄4，使小樣品臺的螺桿反向轉(zhuǎn)動，則小樣品臺3在螺紋的作用下，隨之下降，從而實現(xiàn)小樣品臺在垂直方向上高度的調(diào)整。