本實用新型屬于半導體領(lǐng)域,具體涉及一種應用于半導體擴散片生產(chǎn)的微粒廢水處理系統(tǒng),包括依次連接的集水池、PH調(diào)節(jié)池和助凝沉淀池,其中,助凝沉淀池中的上層清液依次抽至催化氧化池、水解酸化池、接觸氧化池和回用收集池,助凝沉淀池底部污泥依次抽至污泥濃縮池和污泥壓濾機。本實用新型所具有的有益效果是:(1)回收水質(zhì)可直接回用作生產(chǎn)洗滌用水、廠區(qū)綠化、消防補充用水等;(2)整個處理過程流程短、占地小、能耗低,易于實現(xiàn)自動化控制,系統(tǒng)運行可靠,運行費用較低,真正實現(xiàn)污水、廢水資源化,增加可利用的水資源,有利于實現(xiàn)廢水無害化,防治水污染。
聲明:
“應用于半導體擴散片生產(chǎn)的微粒廢水處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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