本實(shí)用新型提供了一種切割中單晶硅的應(yīng)急超聲波清洗裝置,包括控制柜、超聲波發(fā)生器和清洗槽,所述的控制柜與超聲波發(fā)生器連接用于控制超聲波發(fā)生器,所述超聲波發(fā)生器設(shè)置在清洗槽內(nèi)部,所述清洗槽內(nèi)具有單晶硅擱置架,所述單晶硅擱置架底部通過(guò)一個(gè)導(dǎo)軌與清洗槽連接,所述單晶硅擱置架可以在清洗槽內(nèi)滑動(dòng),所述清洗槽底部設(shè)置有排渣孔和排水口。本實(shí)用新型大大提高了超聲清洗的效果,同時(shí)可以對(duì)廢水和廢渣進(jìn)行單獨(dú)排放。解決現(xiàn)有超聲波清洗效果不好,殘?jiān)宄灰椎膯?wèn)題。
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