本實用新型提供了一種高純正硅酸乙酯用鋼瓶的處理系統(tǒng),包括:鋼瓶;與鋼瓶相連通的高純水儲罐;與鋼瓶相連通的廢水罐;與鋼瓶相連通的離子交換樹脂儲罐;與鋼瓶相連通的離子交換樹脂回收罐;與鋼瓶相連通的高純保護性氣體儲罐;與鋼瓶相連通的超純水儲罐。與現有技術相比,本實用新型先通過高純水清洗除去鋼瓶中的顆粒,然后再通過離子交換樹脂除去鋼瓶內的金屬離子與氯離子,使得離子含量小于0.1ppb,再通過超純水清洗除去鋼瓶中可能殘留的顆粒,從而使鋼瓶中的金屬離子、水分和顆粒度均達到最佳水平,以適用于高純正硅酸乙酯充裝。
聲明:
“高純正硅酸乙酯用鋼瓶的處理系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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