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用于沖洗光致抗蝕劑的稀釋劑和處理光致抗蝕劑層的方法

894   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 03:24:18
本發(fā)明提供一種用于沖洗光致抗蝕劑的稀釋劑,其包括50到80重量%的醋酸正丁酯,丙二醇烷基醚,和丙二醇烷基醚醋酸酯。該稀釋劑既對人類無毒害,也不對生態(tài)帶來不利影響,而且沒有不適的氣味。其廢液和與之相關(guān)的廢水容易處理,由此使得這種稀釋劑對環(huán)境友好。本發(fā)明的光致抗蝕劑稀釋劑具有優(yōu)異的沖洗能力。
聲明:
“用于沖洗光致抗蝕劑的稀釋劑和處理光致抗蝕劑層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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