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硅烷類合成尾氣回收裝置

712   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 03:54:25
本實用新型涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其包括進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器以及進壓縮尾氣緩沖罐；其中，所述進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器、進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接；所述進氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一自動調(diào)節(jié)閥。本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置具有結構簡單、成本低、穩(wěn)定可靠且不會產(chǎn)生新的廢水等諸多優(yōu)點。
聲明：
“硅烷類合成尾氣回收裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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