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硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法

840   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:31:42
本發(fā)明公開了一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法,硅片切割廢砂漿先添加降黏劑,進(jìn)行固液分離得到一級懸浮液和一級固體顆粒,一級固體顆粒再添加降黏劑進(jìn)行二級固液分離,進(jìn)一步除去固體顆粒中的切割液成分,得到二級固體顆粒,二級固體顆粒加水然后依次進(jìn)行超聲清洗、旋流分離,旋流分離得到硅粉懸浮液和碳化硅懸浮液,碳化硅懸浮液依次進(jìn)行離心分離、堿反應(yīng)清洗、離心分離、離心水洗、干燥和干法分級,最后得到可循環(huán)使用的碳化硅產(chǎn)品。旋流分離得到硅粉懸浮液經(jīng)過板框過濾得到硅粉固體顆粒和水,水返回二級固體顆粒使用。二級固液分離得到的懸浮液返回到一級固液分離作為降黏劑使用。
聲明:
“硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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