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提高三氯氫硅選擇性的方法

970   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:51:18
本發(fā)明提供了一種提高三氯氫硅選擇性的方法,步驟如下:(1)取工廠廢硅粉,把廢硅粉放入塑料燒杯中,倒入氫氟酸并進(jìn)行攪拌,然后進(jìn)行抽濾、洗滌,最后把濾餅放進(jìn)真空烘箱中進(jìn)行烘干;(2)稱(chēng)取步驟1中氫氟酸處理過(guò)的廢硅粉,裝入固定床反應(yīng)器中,然后把固定床反應(yīng)器放進(jìn)管式爐中,通惰性氣體進(jìn)行加熱;(3)固定床反應(yīng)器內(nèi)溫度達(dá)到280℃時(shí),通HCl氣體開(kāi)始反應(yīng),生成物即主產(chǎn)物三氯氫硅和副產(chǎn)物四氯化硅。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:反應(yīng)物之一為工業(yè)固體廢棄物?廢硅粉,大大節(jié)約了成本,實(shí)現(xiàn)固廢資源化。氫氟酸處理大大提高了產(chǎn)物三氯氫硅的選擇性。
聲明:
“提高三氯氫硅選擇性的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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