本實用新型公開了一種半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光液回收處理裝置,其通過過濾器過濾鎢拋光廢液泡沫和微米級的大顆粒,于重力分離罐內(nèi)調(diào)整廢液pH值以生成鐵/鎢氫氧化物膠體顆粒,并通過重力分離罐將廢液中鐵/鎢氫氧化物膠體顆粒及剩余固體顆粒濃縮于重力分離罐的底部;而后,再將濃縮有固體顆粒的濃縮液通入固液分離器,在固液分離器中對濃縮液進(jìn)行潤洗稀釋,以去除鐵/鎢氫氧化物膠體顆粒,稀釋濃縮液中的鐵、鎢離子濃度,并保留分散性好的二氧化硅納米顆粒;最后將稀釋后的廢液通入再生槽進(jìn)行二次稀釋和pH調(diào)整以得到再生拋光液,實現(xiàn)對含鎢拋光廢液的回收處理。
聲明:
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