用于四氯化硅洗凈塔廢氣進口裝置,設洗凈塔和推渣桿,洗凈塔左下側(cè)連接以15?30o傾斜方式插入的四氯化硅廢氣入口管,四氯化硅廢氣入口管外上層連接四氯化硅廢氣管、脈沖清洗裝置、左端連接清理裝置支管,清理裝置支管連接支管盲板;打開四氯化硅四氯化硅廢氣管線入口閥門,95%以上四氯化硅廢氣密度比空氣大而進入洗凈塔進行中和;打開脈沖清洗裝置閥門,以氮氣對四氯化硅廢氣入口管進行吹掃,吹掃時間持續(xù)5秒,可將廢氣入口管的微量殘留吹掃沖洗干凈;如大量廢氣排入廢氣管道,或者脈沖清洗裝置無法工作,作業(yè)人員可以用推渣桿進行手動清理;本技術的有益效果是:提高設備使用效率,降低對人身以及環(huán)境的危害。
聲明:
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