本實(shí)用新型涉及
太陽能電池片制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種用于晶體硅太陽能超凈車間擴(kuò)散爐的石英管內(nèi)的廢氣的排廢管。其包括直管,所述直管一端連接有第一半球形管,另一端伸入擴(kuò)散爐廢氣口,所述直管中部還設(shè)有第二半球形管與擴(kuò)散爐廢氣口相連,且第二半球形管的尾部與直管之間存在縫隙,所述第二半球形管的尾部設(shè)置有供氣體輸入的導(dǎo)氣管,所述導(dǎo)氣管與直管之間的夾角α大于等于30°小于等于90°。本實(shí)用新型能夠減少偏磷酸在排廢管處凝結(jié),與傳統(tǒng)的硅片尾氣排廢管相比,解決了排廢管的腐蝕斷裂,增加了排廢管的使用壽命,減少了人員的工作勞動(dòng),有利于提高設(shè)備的正常運(yùn)行率,同時(shí)也有利于降低偏磷酸對(duì)人體的危害。
聲明:
“排廢管” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)