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三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)

1089   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 05:34:50
本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng),通過設(shè)置進(jìn)料管線和卸料管線,并借助真空泵,將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉輸送至分離器中,一方面,實現(xiàn)了廢硅粉的封閉式回收,避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸,保證的硅粉的活性,也降低了閃爆的危險,提高安全性;另一方面,降低人工勞動強度,保護(hù)了職工身體健康;通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進(jìn)行分離,將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內(nèi),避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內(nèi),能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期;該廢硅粉回收系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于操作。
聲明:
“三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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