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氧化鋅摻雜的鈦酸鉍鈉-鈷酸鉍壓電薄膜及其制備方法

996   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 05:38:03
本發(fā)明涉及氧化鋅摻雜的鈦酸鉍鈉?鈷酸鉍壓電薄膜及其制備方法,可有效克服鉛基薄膜材料在生產(chǎn)、使用及廢棄的過(guò)程中個(gè)生態(tài)環(huán)境和人類健康帶來(lái)的危害的問(wèn)題,方法是,按照0.97Bi0.5Na0.5TiO3?0.03BiCoO3+x%wtZnO的化學(xué)計(jì)量稱取原料Bi2O3、NaCO3、TiO2、Co2O3和ZnO,以乙醇為介質(zhì)球磨,烘干,700℃預(yù)燒3h,再以乙醇為介質(zhì)球磨,烘干,壓制成坯片,燒結(jié)成BNT?BC?ZnO靶材;將BNT?BC?ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片分別安裝在靶材托和基片托上,調(diào)整靶材和基片的距離,抽真空,加熱基片,在背底真空達(dá)到10?4?Pa、基片溫度500?700℃后,通入氬氣和氧氣,氣壓0.5?5Pa;調(diào)節(jié)濺射功率為50?200W,靶材起輝后,開(kāi)始生長(zhǎng)薄膜,薄膜生長(zhǎng)結(jié)束,原位退火,即成,本發(fā)明材料配方簡(jiǎn)單,易制備,產(chǎn)品質(zhì)量好,環(huán)保。
聲明:
“氧化鋅摻雜的鈦酸鉍鈉-鈷酸鉍壓電薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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