用于四氯化硅洗凈塔廢氣進(jìn)口裝置,設(shè)洗凈塔和推渣桿,洗凈塔左下側(cè)連接以15?30o傾斜方式插入的四氯化硅廢氣入口管,四氯化硅廢氣入口管外上層連接四氯化硅廢氣管、脈沖清洗裝置、左端連接清理裝置支管,清理裝置支管連接支管盲板;打開四氯化硅四氯化硅廢氣管線入口閥門,95%以上四氯化硅廢氣密度比空氣大而進(jìn)入洗凈塔進(jìn)行中和;打開脈沖清洗裝置閥門,以氮氣對四氯化硅廢氣入口管進(jìn)行吹掃,吹掃時間持續(xù)5秒,可將廢氣入口管的微量殘留吹掃沖洗干凈;如大量廢氣排入廢氣管道,或者脈沖清洗裝置無法工作,作業(yè)人員可以用推渣桿進(jìn)行手動清理;本技術(shù)的有益效果是:提高設(shè)備使用效率,降低對人身以及環(huán)境的危害。
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“用于四氯化硅洗凈塔廢氣進(jìn)口裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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