提供一種用于
多晶硅生產(chǎn)中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置,包括廢液儲罐、高低沸處理精餾塔、脫輕精餾塔、四氯化硅提純塔、混合器以及反歧化裝置,廢液儲罐通過廢液輸送泵與高低沸處理精餾塔連接,高低沸處理精餾塔塔頂與脫輕精餾塔連接,脫輕精餾塔塔頂通過二氯二氫硅輸送泵與混合器連接,高低沸處理精餾塔塔釜與四氯化硅提純塔連接,四氯化硅提純塔塔頂通過四氯化硅輸送泵與混合器連接,混合器與反歧化裝置連接,反歧化裝置與廢液儲罐連接。本實用新型能夠?qū)Χ嗑Ч枭a(chǎn)的廢液中的二氯二氫硅循環(huán)回收轉(zhuǎn)化,有效減少由于廢液外排而造成的價值損失,提高了物質(zhì)的回收利用率,降低廢液處理的危險性,本實用新型能量消耗少,設(shè)備數(shù)量少,制造成本低。
聲明:
“用于多晶硅生產(chǎn)中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)