一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收方法,包括合成爐和硅粉收集罐,具體操作步驟包括,A、在合成爐正常停車后,對(duì)合成爐進(jìn)行置換;B、在置換合格后,將合成爐底部硅粉泄放閥與硅粉收集罐通過(guò)金屬軟管進(jìn)行相連,通過(guò)氮?dú)膺M(jìn)口管線向合成爐通入氮?dú)猓籆、打開硅粉泄放閥,氮?dú)膺B同硅粉被帶入硅粉收集罐,氮?dú)馔ㄟ^(guò)硅粉收集罐頂部布袋過(guò)濾器被放空,使硅粉被收集到硅粉收集罐內(nèi),實(shí)現(xiàn)了硅粉的全部回收使用。本發(fā)明的有益效果如下:本方法工藝簡(jiǎn)單,工藝條件易于實(shí)現(xiàn),且操作方便;再生產(chǎn)中可以將合成爐內(nèi)廢舊硅粉全部回收再使用,同時(shí)回收時(shí)不會(huì)對(duì)人員身體產(chǎn)生粉塵危害。本發(fā)明同時(shí)公開了三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置。
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