一種電子級水的集成膜過程生產(chǎn)工藝與過程,以自來水為原水,依次經(jīng)過預(yù)處理、一級純水系統(tǒng)、二級純水系統(tǒng)和終端膜過濾精處理四個組成部分而制得電子級超純水。其中,預(yù)處理單元主要含有砂濾、超濾、活性炭吸附和納濾,一級純水系統(tǒng)主要由反滲透、膜脫氣、電去離子、硼選擇性離子交換樹脂等單元組成,二級純水系統(tǒng)主要由紫外燈氧化和拋光混床樹脂組成,終端膜過濾則采用拋光反滲透膜處理。該制水系統(tǒng)可實現(xiàn)高效、清潔、可靠的非化學(xué)再生型的超純水生產(chǎn),不排放環(huán)境危害性廢水,且可有效地去除雜質(zhì)硼,制水系統(tǒng)的成本降低,水利用率得到提高,終端過濾更安全可靠。
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