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一種PVD載板清洗機

954   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:14:05
本實用新型公開了一種PVD載板清洗機，包括自動清洗設備、程式控制柜和遠程終端，所述自動清洗設備包括依次并排設置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水噴淋槽、加熱烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水噴淋槽、加熱烘干槽上方設置有行車機構和廢氣抽排系統(tǒng)，所述行車機構連接一次性承裝多片載板的多片式花籃，所述加熱烘干槽側面設置有計算機程控及遠程系統(tǒng)，所述遠程終端通過程式控制柜和計算機程控及遠程系統(tǒng)控制自動清洗設備。本實用新型通過計算機程序編輯控制準確完成編程中設定的每道清洗動作及流程，以高度自動化程序取代人員操作，具有穩(wěn)定清洗產(chǎn)能及清洗質量，避免人員暴露在危險操作中。
聲明：
“一種PVD載板清洗機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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