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HMDS涂布設(shè)備

773   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:14:06
本實(shí)用新型公開了一種HMDS涂布設(shè)備,包括殼體,所述殼體內(nèi)構(gòu)成涂布腔,所述涂布腔內(nèi)設(shè)置有加熱件,還包括用于向涂布腔內(nèi)輸送氮?dú)獾牡谝还艿?,用于向涂布腔?nèi)輸送HMDS蒸汽與氮?dú)饣旌蠚怏w的第二管道,用于向涂布腔內(nèi)輸送空氣的第三管道,用于從涂布腔向外排氣的排氣管道和用于對(duì)涂布腔抽真空的抽真空管道,所述抽真空管道上設(shè)置有真空泵,所述第一管道、第二管道、第三管道、排氣管道和抽真空管道分別與涂布腔連通。其保證涂布效果的同時(shí),有效減少HMDS的使用量,避免了廢氣中HMDS對(duì)環(huán)境的危害。
聲明:
“HMDS涂布設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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