基于掃描探針顯微鏡的材料耐電暈放電老化性能檢測(cè)裝置,涉及一種材料耐電暈放電老化性能檢測(cè)裝置。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的針板電暈放電測(cè)試裝置在檢測(cè)材料放電老化性能時(shí),不能原位的連續(xù)檢測(cè)材料的變化的問(wèn)題。導(dǎo)電紙的另一端與導(dǎo)電懸臂的一端連接;導(dǎo)電懸臂懸掛在壓電陶瓷掃描器的上方;掃描探針顯微鏡的探針固定在導(dǎo)電懸臂的另一端;壓電陶瓷掃描器的上端放置有樣品,掃描探針顯微鏡的探針位于樣品的上方;激光器發(fā)射的激光入射至掃描探針顯微鏡的探針背面,激光經(jīng)掃描探針顯微鏡的探針?lè)瓷渲撂綔y(cè)器;繼電器、計(jì)時(shí)器和電流表均串聯(lián)在保護(hù)電阻和高壓電源之間。本發(fā)明適用于材料耐電暈放電老化性能檢測(cè)。
聲明:
“基于掃描探針顯微鏡的材料耐電暈放電老化性能檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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