本實(shí)用新型涉及一種真空氣浮軸承及其性能檢測(cè)裝置,該氣浮軸承包括至少一級(jí)抽氣通道,采用本實(shí)用新型的多級(jí)抽氣結(jié)構(gòu)的真空氣浮軸承,可以把提供給平面氣浮軸承的氣體抽排出真空腔體,將平面氣浮軸承對(duì)真空度的影響減小到可接受的范圍。該檢測(cè)裝置包括真空室;分別與真空室連接的多級(jí)抽氣管路、抽真空管路、進(jìn)氣管路、氮?dú)夤苈?,真空室還連接一真空室真空計(jì),該性能檢測(cè)裝置能夠準(zhǔn)確的評(píng)估該真空氣浮軸承是否符合實(shí)際真空環(huán)境的使用需求,還可判斷該真空氣浮軸承工作時(shí)對(duì)真空環(huán)境的影響。
聲明:
“一種真空氣浮軸承及其性能檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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