本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N衍射光學(xué)元件的性能檢測(cè)系統(tǒng)、方法和裝置,該系統(tǒng)包括:光發(fā)射器件,光發(fā)射器件用于發(fā)射預(yù)定光至衍射光學(xué)元件中;接收設(shè)備,包括接收屏,接收屏位于光發(fā)射器件的一側(cè),預(yù)定光經(jīng)過衍射光學(xué)元件衍射后在接收屏上形成多個(gè)光斑點(diǎn);圖像處理裝置,位于接收屏的遠(yuǎn)離光發(fā)射器件的一側(cè),圖像處理裝置用于獲取接收屏上的多個(gè)光斑點(diǎn)的圖像,并根據(jù)圖像計(jì)算衍射光學(xué)元件的衍射效率、衍射均勻性以及視場(chǎng)角中的至少一個(gè)。該系統(tǒng)根據(jù)獲取的圖像計(jì)算衍射光學(xué)元件的至少一項(xiàng)性能參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)衍射光學(xué)元件的性能的檢測(cè)。
聲明:
“衍射光學(xué)元件的性能檢測(cè)系統(tǒng)、方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)